Laboratuvar İnce Film Magnetron Sputtering Kaplama Makinesi / Taşınabilir İnce Film Sputtering Kaplama Sistemi
Royal Technology, üniversite eğitimi ve bilimsel araştırma ve geliştirme için çeşitli Ultra-Yüksek-Vakumlu kaplama sistemleri tasarladı ve sağladı, farklı film büyümelerini incelemek, ticari endüstrilerimiz ile daha yenilikçi NANO ince filmler üretmek için tasarlandı. Müşterilerimiz gibi: Shanghai Üniversitesi Çin, İngiltere Machanster Üniversitesi, Pekin Bilim Üniversitesi, Yarıiletken, Güneş Pili, Yakıt hücresi, Bilimsel kuruluşlar havacılık araştırma ve yüksek enerji fizik departmanı vb.
Laboratuvar İnce Film Magnetron Sputtering Kaplama Makinesi: DC, MF, Ar-Ge amaçlı RF püskürtme katot tek katmanlı, dielektrik film, bileşik film, yarı iletken, çoklu katmanlar, kompozit film ve dielektrik filmler vb.
Laboratuvar İnce Film Magnetron Sputtering Kaplama Makinası Teknik Performansı:
1 Ultimate Vakum Basıncı: 5.0 × 10-6 Torr'dan daha iyi.
2. İşletim Vakum Basıncı: 1.0 × 10-4 Torr.
3. Pompalama Süresi: 1 atm ila 1.0 × 10-4 Torr≤ 3 dakika (oda sıcaklığı, kuru, temiz ve boş oda)
4. Metalize edici malzeme (püskürtme) Al, Cr, Sn, Ti, SS, Cu… vb.
5. Çalışma Modeli: Tam Otomatik / Yarı Otomatik / Manuel
Laboratuvar İnce Film Magnetron Sputtering Kaplama Makinesi Yapısı
1. Vakum Odası
2. Vakum Pompalama Sistemi (Yedekleme Pompası Paketi)
3. Yüksek Vakumlu Pompalama Sistemi (Difüzyon Pompası)
4. Elektrik Kontrol ve İşletim Sistemi
5. Yardımcı Program Tesisi (Alt Sistem)
6. Biriktirme Sistemi
Laboratuvar İnce Film Magnetron Sputtering Kaplama Sistemi, daha fazla çalışma uygulaması için ark katot ve buharlaşma kaynakları ile birleştirilebilir.
