Deneysel Magnetron Püskürtme Kaplama Ünitesi / Dikey Taşınabilir Küçük Boy Kaplama Kaplama Makinesi
Royal Technology, üniversite eğitimi ve bilimsel araştırma ve geliştirme için, farklı film büyümesini incelemek için Ultra-Yüksek Vakum kaplama sistemleri tasarladı ve sağladı; ticari endüstrilerimizle birlikte daha yenilikçi NANO ince filmler üretti. Müşterilerimiz arasında: Çin Şanghay Üniversitesi, İngiltere Machanster Üniversitesi, Pekin Bilim Üniversitesi vb.
Deneysel Theraml Evaporasyon Vakum Kaplama Üniteleri: İletken filmler, yarı iletkenli ince film, optik ince film ve taramalı elektron mikroskopu (SEM) oluşturmak için dirençli termal buharlaştırma kaplaması ve Elektron -Bam Gun buharlaştırma teknikleriyle. İsteğe Bağlı Cihazlar: İyon kaynağı veya plazma temizleme öncesi iyon kaynağı üniteleri, plazma yardımı ile biriktirme, yüksek kalitede metal filmler, kompozit film, organik filmler vb. Üretebilir Ar-Ge uygulamalarını tamamen tatmin edebilir. Esnek tasarımı ve çoklu birikim kaynakları araştırmacılar tarafından memnuniyetle karşılanmaktadır.
Experimetal Magnetron Püskürtmeli Vakum Kaplama Üniteleri: Ar-Ge amaçlı DC, MF, RF sputtering katotları, tek katmanlı, dielektrik film, bileşik film, yarı iletken, çok katmanlı, kompozit film ve dielektrik filmler vb. Alabilirler.
Experimetal Magnetron Püskürtmeli Vakum Kaplama Üniteleri Teknik Performans:
1 Ultimate Vakum Basıncı: 5.0 × 10-6 Torr'dan daha iyi.
2. Çalışma Vakum Basıncı: 1.0 × 10-4 Torr.
3. Pompalama Süresi: 1 atm'den 1.0 × 10-4 Torr ≤ 3 dakika (oda sıcaklığı, kuru, temiz ve boş oda)
4. Metalleştirme malzemesi (püskürtme) Al, Cr, Sn, Ti, SS, Cu ... vb.
5. Çalışma Modeli: Tam Otomatik / Yarı Otomatik / Manuel
Experimetal Magnetron Püskürtmeli Vakum Kaplama Üniteleri Yapısı
1. Vakum Odası
2. İlerleyen Vakum Pompa Sistemi (Destek Pompası Paketi)
3. Yüksek Vakum Pompa Sistemi (Difüzyon Pompası)
4. Elektriksel Kontrol ve Çalışma Sistemi
5. Yardımcı Tesis Sistemi (Alt Sistem)
6. Biriktirme Sistemi
Daha fazla özellik için lütfen bizimle iletişime geçin, Royal Technology size toplam kaplama özümleri sunmaktan onur duyar.
