Marka Adı: | ROYAL |
Model Numarası: | RTSP1000-IPG |
Adedi: | 12 setleri |
fiyat: | pazarlık edilebilir |
Ödeme Şartları: | L / C, D / A, D / P, T / T |
Tedarik Yeteneği: | Ayda 6 setleri |
Saat kasası.MF Sputtering Sistemi / Grafit PVD Depozisyon Vakum Kaplama Tesisi
Saat kasası MF Sputtering sistemiGenel grafit, jet siyah, mavi renk vb dekorasyonlar için entegre çoklu çökme kaynakları makinesi metal parçalar, paslanmaz çelik nesneler.Özellikle yüksek kaliteli lüks ürünler için kullanılır.: elektronik: akıllı telefon, kamera, dizüstü bilgisayar, golf, kaşık, çatal, bıçak, kapı kolu, musluklar; parmak yüzükleri, kolye, küpeler, bilezikler vs. mücevherler.
Saat kasası MF Sputtering Sistemi çoklu deppozisyon kaynaklarına sahiptir:
Katı metal hedefin buharlaşması için yönlendirilmiş dairesel yay kaynakları;
Grafit ince film katmanı çökmesi için 2 çift MF beyazlatılmamış püskürtme katodu;
Ön işleme plasma alanını oluşturmak için iyon bombardımanı için önyargı güç kaynağı;
Anod Doğrusal İyon Kaynağı Birimi (özlü olarak) PACVD ve PECVD işleme;
Su moleküler yoğunlaşması için kriyo pompa (polikold) (ihtiyaç duyulmaz)
MF Sputtering nedir?
DC ve RF püskürtme ile karşılaştırıldığında, Orta Frekans püskürtme, kaplamaların seri üretimi için ana ince film püskürtme tekniği haline geldi.Özellikle optik kaplamalar gibi yüzeylere dielektrik ve iletken olmayan film kaplamalarının film çökmesi için, güneş panelleri, çok katmanlı, kompozit malzeme filmi vb.
Çok daha hızlı bir çökme hızı için MHz yerine kHz ile çalıştığı için RF püskürtmenin yerini alıyor ve ayrıca DC gibi bileşik ince film çökmesi sırasında Hedef zehirlenmesini önleyebilir.
MF püskürtme hedefleri her zaman iki setle var olmuştur. Two cathodes are used with an AC current switched back and forth between them which cleans the target surface with each reversal to reduce the charge build up on dielectrics that leads to arcing which can spew droplets into the plasma and prevent uniform thin film growth--- which is what we called Target Poisoning.
MF Sputtering Sistemi Performansı
1Son Vakum Basıncı: 5.0×10'dan daha iyi-6Torr.
2Çalışma vakum basıncı: 1.0×10-4Torr.
3Pompalama süresi: 1 atm'den 1.0×10'a-4Torr≤ 3 dakika (oda sıcaklığı, kuru, temiz ve boş oda)
4Metalize edici malzeme (sputtering + arc buharlaşması): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, TiN, TiC, TiAlN, CrN, CrC vb.
5İşlem modeli: Tam otomatik / Yarım otomatik / El ile
MF Sputtering Sistemi Yapısı
Vakum kaplama makinesi aşağıda listelenen anahtar tamamlanmış sistemi içerir:
1Vakum odası.
2Çarpıcı vakum pompalama sistemi (geri pompa paketi)
3Yüksek Vakum Pompalama Sistemi (Manyetik Asılılıklı Moleküler Pompa)
4Elektrikli Kontrol ve Çalışma Sistemi
5Yardımcı Tesis Sistemi (Alt Sistemi)
6Depozisyon Sistemi: MF püskürtürme katodu, MF güç kaynağı, İsteğe bağlı olarak Bias güç kaynağı
Metal Grafit Dekorasyon MF Sputtering Sistemi boyutları:
Odanın İç Boyutu: Diyası 1200 mm ~ 1600 mm
Oda İç Yüksekliği: 1250mm ~ 1300mm
Özel makine boyutları da 3 boyutlu ürünlerin speküler talebine göre mevcuttur.
MF Sputtering Sistemi RTAC1250-SPMF Özellikleri
Model | RTAC1250-SPMF | ||||||
Teknoloji | MF Magnetron Sputtering + İyon Kaplama | ||||||
Malzeme | Paslanmaz çelik (S304) | ||||||
Oda büyüklüğü | Φ1250*H1250mm | ||||||
Oda tipi | Silindir, dikey, 1 kapılı | ||||||
Çöplükleme Sistemi | Yalnızca ince siyah film çöküşü için tasarlanmış | ||||||
Depolama malzemesi | Alüminyum, Gümüş, Bakır, Krom, Paslanmaz Çelik, Nikel |
||||||
Depozito Kaynağı | 2 set MF Silindrik Sputtering Hedefleri + 8 Yönlendirilmiş Katodik Yay Kaynakları + İyon Kaynağı İsteğe bağlı olarak | ||||||
GAS | MFC- 4 yol, Ar, N2, O2, C2H2 | ||||||
Kontrol | PLC ((Programlanabilir Mantık Denetleyicisi) + | ||||||
Pompa Sistemi | SV300B - 1 set (Leybold) | ||||||
WAU1001 - 1 set (Leybold) | |||||||
D60T- 1 set (Leybold) | |||||||
Turbo Moleküler Pompalar: 2* F-400/3500 | |||||||
Tedavinin Öncesinde | Bias güç kaynağı: 1*36 KW | ||||||
Güvenlik Sistemi | Operatörleri korumak için çok sayıda güvenlik kilitleri | ||||||
Soğutma | Soğuk Su | ||||||
Elektrik Gücü | 480V/3 faz/60HZ (ABD uyumlu) | ||||||
460V/3 faz/50HZ (Asya uyumlu) | |||||||
380V/3 faz/50HZ (AB-CE uyumlu) | |||||||
Ayak izi | L3000*W3000*H2000mm | ||||||
Toplam ağırlık | 7.0 T | ||||||
Ayak izi | (L*W*H) 5000*4000*4000 MM | ||||||
DENEM DÜZENLERİ | 30~40 dakika (substrat malzemesine bağlı olarak, Substrat geometri ve çevresel koşullar) |
||||||
Power Max... | 155 KW | ||||||
Ortalama Güç |
75 KW |
Daha fazla bilgi için lütfen bizimle iletişime geçin. Royal Teknoloji size tam kaplama çözümleri sunmaktan onur duyuyor.