AlN Cips Bakır Püskürtme Depostion Sistemi, Alüminyum Nitrür PVD Bakır Püskürtme Makinesi
Verim
1. Nihai Vakum Basıncı: 5.0 × 10'dan daha iyi-6 Torr.
2. Çalışma Vakum Basıncı: 1.0 × 10-4 Torr.
3. Pompalama Süresi: 1 atm'den 1,0 × 10'a-4 Torr≤ 3 dakika (oda sıcaklığında, kuru, temiz ve boş oda)
4. Metalleştirme malzemesi (püskürtme + Ark buharlaşması): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr vb.
5. Çalışma Modeli: Tam Otomatik / Yarı Otomatik / Manuel
Yapısı
Vakumlu kaplama makinesi, aşağıda listelenen anahtar tamamlanmış sistemi içerir:
1. Vakum Odası
2. Yönlendirmeli Vakum Pompalama Sistemi (Yedek Pompa Paketi)
3. Yüksek Vakumlu Pompalama Sistemi (Manyetik Süspansiyonlu Moleküler Pompa)
4. Elektrik Kontrol ve İşletim Sistemi
5. Yardımcı Tesis Sistemi (Alt Sistem)
6. Biriktirme Sistemi
Bakır Püskürtme Kaplama Makinesi Temel Özellikler
1. 8 yönlendirmeli ark katodu ve DC Püskürtme Katotları, MF Püskürtme Katotları, İyon kaynağı ünitesi ile donatılmıştır.
2. Çok katmanlı ve birlikte biriktirme kaplaması mevcuttur
3. Plazma temizleme ön işlemi için iyon kaynağı ve film yapışmasını artırmak için iyon ışını destekli biriktirme.
4. Seramik / Al2O3 / AlN substrat ısıtma ünitesi;
5. 1 taraflı kaplama ve 2 taraflı kaplama için alt tabaka döndürme ve devir sistemi.
Cooper Magnetron Seramik Radyasyonlu Yüzey Üzerine Püskürtme Kaplama Tesisi
DPC süreci - Doğrudan Kaplama Bakır, LED / yarı iletken / elektronik endüstrileriyle uygulanan gelişmiş bir kaplama teknolojisidir.Tipik bir uygulama Seramik Yayılan Substrattır.
PVD vakumlu püskürtme teknolojisi ile Al2O3, AlN substratları üzerine Cooper iletken film biriktirme, geleneksel üretim yöntemlerine kıyasla: DBC LTCC HTCC, çok daha düşük üretim maliyeti, yüksek özelliğidir.
Royal teknoloji ekibi, PVD püskürtme teknolojisi ile DPC sürecini başarılı bir şekilde geliştirmesi için müşterimize yardımcı oldu.
RTAC1215-SP makinesi, Seramik yongalar, seramik devre kartı üzerine Bakır iletken film kaplama için özel olarak tasarlanmıştır.
Daha fazla özellik için lütfen bizimle iletişime geçin, Royal Technology size eksiksiz kaplama çözümleri sunmaktan onur duyar.
