|
| Marka Adı: | ROYAL |
| Model Numarası: | RTAS1215 |
| Adedi: | 1 Set |
| fiyat: | pazarlık edilebilir |
| Ödeme Şartları: | L / C, D / A, D / P, T / T |
| Tedarik Yeteneği: | Ayda 6 setleri |
AlN Chips Bakır Sputtering Deposisyon Sistemi, Alüminyum Nitrür PVD Bakır Sputtering Makinesi
Performans
1Son Vakum Basıncı: 5.0×10'dan daha iyi-6Torr.
2Çalışma vakum basıncı: 1.0×10-4Torr.
3Pompalama süresi: 1 atm'den 1.0×10'a-4Torr≤ 3 dakika (oda sıcaklığı, kuru, temiz ve boş oda)
4Metalize edici malzeme (sputtering + arc buharlaşması): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr vb.
5İşlem modeli: Tam otomatik / Yarım otomatik / El ile
Yapı
Vakum kaplama makinesi aşağıda listelenen anahtar tamamlanmış sistemi içerir:
1Vakum odası.
2Çarpıcı vakum pompalama sistemi (geri pompa paketi)
3Yüksek Vakum Pompalama Sistemi (Manyetik Asılılıklı Moleküler Pompa)
4Elektrikli Kontrol ve Çalışma Sistemi
5Yardımcı Tesis Sistemi (Alt Sistemi)
6Depolama Sistemi
Bakır püskürtme kaplama makinesi Ana özellikler
1. 8 direksiyon yay katodu ve DC Sputtering katodu, MF Sputtering katodu, iyon kaynağı ünitesi ile donatılmıştır.
2. Çok katmanlı ve ortak çökme kaplama mevcut
3Plasma temizleme öncesi işleme ve film yapışkanlığını artırmak için iyon ışını desteklenmiş deppozisyon için iyon kaynağı.
4Seramik/ Al2O3/AlN substrat ısıtma ünitesi;
5Substrat dönme ve devrim sistemi, tek taraflı kaplama ve iki taraflı kaplama için.
Cooper Magnetron Sputtering Kaplama Tesisi, Seramik İşındırıcı Substrata
DPC işlemi- Doğrudan Plating Bakır, LED / yarı iletken / elektronik endüstrilerde uygulanan gelişmiş bir kaplama teknolojisidir.
Geleneksel üretim yöntemleriyle karşılaştırıldığında, Al2O3, AlN substratları üzerinde PVD vakum püskürtme teknolojisi ile Cooper iletkenlik film çökmesi: DBC LTCC HTCC,Çok daha düşük üretim maliyeti yüksek özelliğidir.
Royal teknoloji ekibi müşterimize PVD püskürtme teknolojisiyle DPC işlemini başarılı bir şekilde geliştirmeye yardımcı oldu.
RTAC1215-SP makine, sadece Keramik yongalar, seramik devreler üzerinde bakır ileten film kaplama için tasarlanmıştır.
Daha fazla bilgi için lütfen bizimle iletişime geçin. Royal Teknoloji size tam kaplama çözümleri sunmaktan onur duyuyor.
