DC Magnetron Püskürtme Kaplama Makinesi / DC Püskürtme Sistemi
Magnetron Püskürtme Modelleri: DC Püskürtme, MF Püskürtme, RF Püskürtme
DC Püskürtme Nedir?
DC Püskürtme esas olarak yüksek iletken filmler için Krom, Titanyum, Alüminyum, Bakır, Paslanmaz Çelik, Nikel, Gümüş, Altın gibi saf metal hedefleri püskürtmek için kullanılır.
DC Püskürtme, kaplama olarak kullanılacak hedef malzemenin iyonize gaz molekülleri ile bombardıman edilerek atomların plazmaya “Püskürtülmesine” neden olduğu bir İnce Film Fiziksel Buhar Biriktirme (PVD) Kaplama tekniğidir.Bu buharlaşmış atomlar daha sonra kaplanacak olan substrat üzerinde ince bir film olarak yoğunlaştıklarında biriktirilir.
DC Püskürtme, PVD metal biriktirme ve elektriksel olarak iletken hedef kaplama malzemeleri için en temel ve ucuz püskürtme türüdür.DC'nin bu işlem için bir güç kaynağı olarak iki önemli avantajı, kontrolün kolay olması ve kaplama için metal biriktirme yapıyorsanız düşük maliyetli bir seçenek olmasıdır.
DC Püskürtme, yarı iletken endüstrisinde moleküler düzeyde mikroçip devreleri oluşturarak yaygın olarak kullanılmaktadır.Mücevher, saat ve diğer dekoratif kaplamaların altın püskürtme kaplamalarında, cam ve optik bileşenlerde yansıtıcı olmayan kaplamalarda ve ayrıca metalize ambalaj plastiklerinde, araba aynalarında, araba aydınlatma reflektörlerinde, araba tekerlek ve göbeklerinde vb. için kullanılır.
DC Magnetron Püskürtme Kaplama MakinasıVerim
1. Nihai Vakum Basıncı: 5.0×10'dan daha iyi-6Torr.
2. Çalışma Vakum Basıncı: 1.0×10-4Torr.
3. Pompalama Süresi: 1 atm'den 1.0×10'a-4Torr≤ 3 dakika (oda sıcaklığı, kuru, temiz ve boş oda)
4. Metalize edici malzeme (püskürtme + Ark buharlaşması): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, TiN, TiC, TiAlN, CrN, CrC, vb.
5. Çalışma Modeli: Tam Otomatik /Yarı-Otomatik/Manuel
DC Magnetron Püskürtme Kaplama Makinesi Yapısı
Vakum kaplama makinesi, aşağıda listelenen anahtar tamamlanmış sistemi içerir:
1. Vakum Odası
2. Rouhging Vakum Pompalama Sistemi (Arka Pompa Paketi)
3. Yüksek Vakumlu Pompalama Sistemi (Manyetik Süspansiyonlu Moleküler Pompa)
4. Elektrik Kontrol ve İşletim Sistemi
5. Yardımcı Tesis Sistemi (Alt Sistem)
6. Biriktirme Sistemi: DC püskürtme katodu, DC güç kaynağı, İsteğe bağlı olarak Bias Güç Kaynağı İyon kaynağı
DC Magnetron Püskürtme Kaplama MakinasıÖzellikler
RTSP1250-DC | |||||||
MODEL | RTSP1250-DC | ||||||
TEKNOLOJİ | Magnetron Püskürtme (DC) + İyon Kaplama | ||||||
MALZEME | Paslanmaz Çelik (S304) | ||||||
ODA BOYUTU | Φ1250*H1250mm | ||||||
ODA TİPİ | Silindir, dikey, 1 kapılı | ||||||
PÜSKÜRTME SİSTEMİ | İnce siyah film birikimi için özel tasarım | ||||||
DEPOLAMA MALZEMESİ | Alüminyum, Gümüş, Bakır, Krom, Paslanmaz Çelik, Nikel, Titanyum | ||||||
YIKAMA KAYNAĞI | Silindirik / Düzlemsel Püskürtme Hedefleri + 7 Yönlendirilmiş Katodik Ark Kaynağı | ||||||
GAZ | MFC- 4 yollu, Ar, N2, O2, C2H2 | ||||||
KONTROL | PLC(Programlanabilir Lojik Kontrolör) + Dokunmatik ekran |
||||||
POMPA SİSTEMİ | SV300B - 1 takım (Leybold) | ||||||
WAU1001 - 1 takım (Leybold) | |||||||
D60T- 2 takım (Leybold) | |||||||
Turbo Moleküler Pompalar: 2* F-400/3500 | |||||||
ÖN TEDAVİ | Önyargılı güç kaynağı: 1*36 KW | ||||||
GÜVENLİK SİSTEMİ | Operatörleri korumak için çok sayıda güvenlik kilidi ve ekipman |
||||||
SOĞUTMA | Soğuk su | ||||||
GÜÇ ELEKTRİK | 480V/3 faz/60HZ (ABD uyumlu) | ||||||
460V/3 faz/50HZ (Asya uyumlu) | |||||||
380V/3 faz/50HZ ( EU-CE uyumlu) | |||||||
AYAK İZİ | L3000*W3000*H2000mm | ||||||
TOPLAM AĞIRLIK | 7,0 T | ||||||
AYAK İZİ | ( L*G*Y) 5000*4000 *4000 MM | ||||||
DEVİR SÜRESİ | 30~40 dakika (alt tabaka malzemesine bağlı olarak, alt tabaka geometrisi ve çevre koşulları) |
||||||
MAKSİMUM GÜÇ.. | 155KW | ||||||
ORTALAMA GÜÇ TÜKETİMİ (YAKLAŞIK) | 75KW |
Seçiminiz için daha fazla modelimiz var!
Daha fazla özellik için lütfen bizimle iletişime geçin, Royal Technology size toplam kaplama çözümleri sunmaktan onur duyar.