mikrodalga kablosuz iletişim çip üzerine kaplı Cooper Magnetron Püskürtme Kaplama Tesisi

Seramik Yayılan Yüzey Üzerinde Cooper Magnetron Püskürtme Kaplama Tesisi

DPC süreci - Doğrudan Kaplama Bakır, LED / yarı iletken / elektronik endüstrileri ile uygulanan gelişmiş bir kaplama teknolojisidir. Tipik bir uygulama Seramik Yayılan Yüzeydir.

Geleneksel üretim yöntemleriyle karşılaştırıldığında PVD vakum püskürtme teknolojisi ile Al2O3, AlN, Si, Cam yüzeylerde Cooper iletken film birikimi: DBC LTCC HTCC, özellikleri:

1. Çok daha düşük üretim maliyeti.

2. Üstün termal yönetim ve ısı transfer performansı

3. Doğru hizalama ve desen tasarımı,

4. Yüksek devre yoğunluğu

5. iyi yapışma ve lehimlenebilirlik

Royal teknoloji ekibi, müşterimize DPC sürecini PVD püskürtme teknolojisi ile başarıyla geliştirmeleri için yardımcı oldu.
Gelişmiş performansı nedeniyle, DPC substratları çeşitli uygulamalarda yaygın olarak kullanılmaktadır:

Yüksek ısı radyasyon performansı, Yarıiletken ekipmanı, mikrodalga kablosuz iletişim, askeri elektronik, çeşitli sensör substratları, havacılık, demiryolu taşımacılığı, elektrik gücü, vb.Nedeniyle uzun ömür süresini arttırmak için yüksek parlaklık LED'i

RTAC1215-SP ekipmanı, alt tabakalarda bakır tabakasını alan DPC işlemi için özel olarak tasarlanmıştır. Bu ekipman, yüksek yoğunluklu, yüksek aşınma direnci, yüksek sertlik ve yüksek vakum ortamında güçlü bağlama ile ideal filmi elde etmek için çoklu ark iyon kaplama ve magnetron püskürtme teknikleri ile PVD fiziksel buhar biriktirme prensibini kullanır. Dinlenme DPC süreci için çok önemli bir adımdır.

Bakır Püskürtme Kaplama Makinesi Temel Özellikler

1. 8 yönlendirici ark katotları ve DC Püskürtme Katotları, MF Püskürtme Katotları, İyon kaynak ünitesi ile donatılmıştır.

2. çok katmanlı ve birlikte biriktirme kaplama mevcut

3. Plazma temizleme ön işlemi için iyon kaynağı ve film yapışmasını arttırmak için iyon ışını destekli biriktirme.

4. Seramik / Al2O3 / AlN yüzey ısıtma ünitesi;

5. 1 taraflı kaplama ve 2 taraflı kaplama için alt tabaka döndürme ve devir sistemi.

Bakır Püskürtme Kaplama Makinesi Özellikleri

Verim

1. Ultimate Vakum Basıncı: 5.0 × 10-6 Torr daha iyi.

2. Çalışma Vakum Basıncı: 1.0 × 10 ^{- 4} Torr.

3. Pompalama Süresi: 1 atm ila 1.0 × 10 ^{- 4} Torr≤ 3 dakika (oda sıcaklığı, kuru, temiz ve boş oda)

4. Metalize malzeme (püskürtme + Ark buharlaşma): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr vb.

5. işletim modeli: tam otomatik / yarı- otomatik / manuel

yapı

Vakum kaplama makinesi aşağıda listelenen anahtar tamamlanmış sistemi içerir:

1. Vakum Odası

2. Rouhging Vakum Pompalama Sistemi (Yedek Pompa Paketi)

3. Yüksek Vakum Pompalama Sistemi (Manyetik Süspansiyon Moleküler Pompa)

4. Elektrik Kontrol ve İşletim Sistemi

5. Yardımcı Tesis Sistemi (Alt Sistem)

6. Biriktirme Sistemi

Numuneler

Daha fazla özellik için lütfen bizimle iletişime geçin, Royal Technology size toplam kaplama çözümleri sunmaktan onur duyar.