Magnetron Püskürtme, tantal, titanyum, tungsten gibi refrakter metalleri biriktirmek için yaygın olarak kullanılır., çok yüksek biriktirme sıcaklıkları gerektiren niyobyum, ve değerli metaller: Altın ve Gümüş olup ayrıca bakır, alüminyum, nikel, krom vb. gibi düşük erime noktalı metallerin biriktirilmesinde de kullanılır.
Tantal en çok elektronikte kullanılır. sanayi Erozyona karşı iyi direnci nedeniyle koruyucu bir kaplama olarak.
Sputtered Tantal ince film uygulamaları:
1. Mikroelektronik endüstrisi, filmler reaktif olarak püskürtülebilir ve böylece direnç ve sıcaklık direnci katsayısı kontrol edilebilir;
Teknik Avantajlar
Royal Technology'nin standartlaştırılmış Tantal püskürtme biriktirme sistemi:
Ana Konfigürasyonlar | |
MODEL | RTAS1000 |
TEKNOLOJİ |
Darbeli DC magnetron püskürtme Katodik ark kaplama (seçenek için kaplama işlemi ile belirlenir) |
ODA MALZEMESİ | Paslanmaz Çelik (S304) |
ODA BOYUTU | Φ1000*1000mm (Y) |
ODA TİPİ | D şekli, silindirik oda |
DÖNDÜRME RAF & JIG SİSTEMİ | Uydu sürüşü veya merkezi sürüş sistemi |
GÜÇ KAYNAKLARI |
DC Püskürtme Güç Kaynağı: 2~4 takım İyon Kaynağı: 1 takım |
DEPOLAMA MALZEMESİ | Ta, Ti/Cr/TiAl, Au, Ag, Cu vb. |
YIKAMA KAYNAĞI | Düzlemsel Püskürtme Katotları + dairesel ark katotları |
KONTROL | PLC(Programlanabilir Lojik Kontrolör) + IPC (manuel+otomatik+yarı otomatik çalışma modelleri) |
POMPA SİSTEMİ | Döner Kanatlı Pompa: SV300B – 1 set (Leybold) |
Kök Pompası: WAU1001 – 1 set (Leybold) | |
Tutma Pompası: D60C – 1 set (Leybold) | |
Manyetik Süspansiyon Moleküler Pompa: MAG2200 – 2 sest (Leybold) |
|
GAZ KİTLE AKIŞ DENETLEYİCİ | 2 kanal: Ar ve N2 |
VAKUM MONOMETRESİ | Inficon veya Leybold |
GÜVENLİK SİSTEMİ | Operatörleri ve ekipmanları korumak için çok sayıda güvenlik kilidi |
ISITMA | Isıtıcılar: 20KW.Maks.sıcaklık.: 450 ℃ |
SOĞUTMA | Endüstriyel Chiller (Soğuk Su) |
MAKSİMUM GÜÇ. | 100KW (Yaklaşık) |
ORTALAMA GÜÇ TÜKETİMİ | 45 KW (Yaklaşık) |
BRÜT AĞIRLIK | T (Yaklaşık) |
AYAK İZİ | ( U*G*Y) 4000*4000 *3600 MM |
ELEKTRİK GÜCÜ |
AC 380V/3 faz/50HZ / 5 hat |
Site içi:
İnşa Süresi: 2018
Yer: Çin
Daha fazla uygulama ve özellik için lütfen bizimle iletişime geçin.