|
| Marka Adı: | ROYAL |
| Model Numarası: | RT1000-Ta |
| Adedi: | 1 takım |
| fiyat: | pazarlık edilebilir |
| Ödeme Şartları: | L/C,T/T |
| Tedarik Yeteneği: | ayda 5 takım |
Magnetron Sputtering, tantalum, titanyum, volfram gibi ateşe dayanıklı metaller yatırmak için yaygın olarak kullanılır.,Niobium, çok yüksek depolama sıcaklıklarını gerektirir, ve değerli metaller: Altın ve Gümüş ve aynı zamanda bakır, alüminyum, nikel, krom vb. gibi düşük erime noktaları olan metallerin birikimi için de kullanılır.
Tantalum en çok elektronikte kullanılır.endüstriErozyona karşı iyi direnci nedeniyle koruyucu bir kaplama olarak.
Sputtered Tantalum ince filmlerinin uygulanmaları:
1Mikroelektronik endüstrisi, filmlerin reaktif olarak püskürtülebilmesi ve böylece direncin dirençliliği ve sıcaklık katsayısı kontrol edilebilmesi nedeniyle;
Teknik Avantajlar
Royal Technology'nin standartlaştırılmış tantalum püskürtme deppozisyon sistemi:
| Ana yapılandırmalar | |
| Modelle | RT1000-Ta |
| Teknoloji |
Pulslu DC magnetron püskürtmesi Katodik yay kaplama (seçimsel olarak, kaplama işlemi ile belirlenir) |
| Oda malzemeleri | Paslanmaz çelik (S304) |
| Oda büyüklüğü | Φ1000*1000mm (H) |
| Oda tipi | D şekli, silindirli oda |
| Dönüş RAK & JIG SYSTEM | Uydu yönlendirme veya merkezi yönlendirme sistemi |
| Elektrik kaynakları |
DC Sputtering Güç kaynağı: 2 ~ 4 set İyon Kaynağı: 1 set |
| Depolama malzemesi | Ta, Ti/Cr/TiAl, Au, Ag, Cu vb. |
| Depozito Kaynağı | Yassı Sputtering Katotlar + Dairesel Yay Katotlar |
| Kontrol | PLC ((Programlanabilir Mantık Denetleyicisi) + IPC (El + Otomatik + Yarım Otomatik Çalışma Modelleri) |
| Pompa Sistemi | Döner Vane Pompası: SV300B 1 set (Leybold) |
| Kök pompası: WAU1001 1 set (Leybold) | |
| Tutma pompası: D60C ¢ 1 set (Leybold) | |
| Manyetik asılılık moleküler pompa: MAG2200 2 sest (Leybold) |
|
| Gaz kütle akış kontrolörü | 2 kanal: Ar ve N2 |
| Vakum ölçer | Inficon veya Leybold |
| Güvenlik Sistemi | Operatörleri ve ekipmanı korumak için sayısız güvenlik kilitleri |
| Isıtma | Isıtmalar: 20KW. En yüksek sıcaklık: 450°C. |
| Soğutma | Endüstriyel soğutucu (soğuk su) |
| Power Max. | 100KW (yaklaşık.) |
| Ortalama güç tüketimi | 45 KW (yaklaşık) |
| Brüt Ağırlık | T (yaklaşık) |
| Ayak izi | (L*W*H) 4000*4000*3600 MM |
| Elektrik Gücü |
AC 380V/3 faz/50HZ / 5 hattı |
İçeride:
2018 yılında inşa edildi.
Yer: Çin
Daha fazla uygulama ve özellik için lütfen bizimle iletişime geçin.
