|
| Marka Adı: | ROYAL |
| Model Numarası: | RTAS1250 |
| Adedi: | 10 takım |
| fiyat: | pazarlık edilebilir |
| Ödeme Şartları: | L/C, D/A, D/P, T/T |
| Tedarik Yeteneği: | Ayda 6 Takım |
TiN altın Metal Orta Frekanslı Magnetron Sputtering Kaplama Makinesi / MF Sputtering Sistemi
Magnetron Sputtering Vacuum Coating, bir tür PVD Ion Plating yüzey işleme yöntemidir.cam, seramik, plastik, metal alaşımları. püskürtme çöküntüsü kavramı: kaplama malzemesi (hedef, aynı zamanda katot olarak da adlandırılır) ve iş parçaları (substratlar,Anod olarak da adlandırılır) vakum odasına yerleştirilir ve basınç azaltılır.Sputtering, hedefi bir voltaj diferansiyeline yerleştirerek ve argon iyonları oluşturan argon gazı (parlak boşaltma) ile başlatılır.Argon iyonları süreç hedefine doğru hızlanır ve hedef atomları yerinden oynatır.Bu sıvı atomları daha sonra substrat üzerinde yoğunlaşır ve çok ince ve yüksek tekdüzelik katmanı oluşturur.Ya da acetilenin kaplama işlemi sırasında sputter gazlarına dönüştürülmesi..
Magnetron Sputtering Modelleri: DC Sputtering, MF Sputtering, RF Sputtering
MF Sputtering nedir?
DC ve RF püskürtme ile karşılaştırıldığında, Orta Frekans püskürtme, kaplamaların seri üretimi için ana ince film püskürtme tekniği haline geldi.Özellikle optik kaplamalar gibi yüzeylere dielektrik ve iletken olmayan film kaplamalarının film çökmesi için, güneş panelleri, çok katmanlı, kompozit malzeme filmi vb.
Çok daha hızlı bir çökme hızı için MHz yerine kHz ile çalıştığı için RF püskürtmenin yerini alıyor ve ayrıca DC gibi bileşik ince film çökmesi sırasında Hedef zehirlenmesini önleyebilir.
MF püskürtme hedefleri her zaman iki setle var olmuştur. Two cathodes are used with an AC current switched back and forth between them which cleans the target surface with each reversal to reduce the charge build up on dielectrics that leads to arcing which can spew droplets into the plasma and prevent uniform thin film growth--- which is what we called Target Poisoning.
MF Sputtering Sistemi Performansı
1Son Vakum Basıncı: 5.0×10'dan daha iyi-6Torr.
2Çalışma vakum basıncı: 1.0×10-4Torr.
3Pompalama süresi: 1 atm'den 1.0×10'a-4Torr≤ 3 dakika (oda sıcaklığı, kuru, temiz ve boş oda)
4Metalize edici malzeme (sputtering + ark buharlaşması): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, TiN, TiC, TiAlN, CrN, CrC vb.
5İşlem modeli: Tam otomatik / Yarım otomatik / El ile
MF Sputtering Sistemi Yapısı
Vakum kaplama makinesi aşağıda listelenen anahtar tamamlanmış sistemi içerir:
1Vakum odası.
2Çarpıcı vakum pompalama sistemi (geri pompa paketi)
3Yüksek Vakum Pompalama Sistemi (Manyetik Asılılıklı Moleküler Pompa)
4Elektrikli Kontrol ve Çalışma Sistemi
5Yardımcı Tesis Sistemi (Alt Sistemi)
6Depozisyon Sistemi: MF püskürtürme katodu, MF güç kaynağı, İsteğe bağlı olarak Bias güç kaynağı
MF Sputtering Sistemi RTSP1212-MF Özellikleri
| Model | RTSP1212-MF | ||||||
| Teknoloji | MF Magnetron Sputtering + İyon Kaplama | ||||||
| Malzeme | Paslanmaz çelik (S304) | ||||||
| Oda büyüklüğü | Φ1250*H1250mm | ||||||
| Oda tipi | Silindir, dikey, 1 kapılı | ||||||
| Çöplükleme Sistemi | Yalnızca ince siyah film çöküşü için tasarlanmış | ||||||
| Depolama malzemesi | Alüminyum, Gümüş, Bakır, Krom, Paslanmaz Çelik, Nikel |
||||||
| Depozito Kaynağı | 2 set MF Silindrik Sputtering Hedefleri + 8 Yönlendirilmiş Katodik Yay Kaynakları | ||||||
| GAS | MFC- 4 yol, Ar, N2, O2, C2H2 | ||||||
| Kontrol | PLC ((Programlanabilir Mantık Denetleyicisi) + | ||||||
| Pompa Sistemi | SV300B - 1 set (Leybold) | ||||||
| WAU1001 - 1 set (Leybold) | |||||||
| D60T- 2set (Leybold) | |||||||
| Turbo Moleküler Pompalar: 2* F-400/3500 | |||||||
| Tedavinin Öncesinde | Bias güç kaynağı: 1*36 KW | ||||||
| Güvenlik Sistemi | Operatörleri korumak için çok sayıda güvenlik kilitleri | ||||||
| Soğutma | Soğuk Su | ||||||
| Elektrik Gücü | 480V/3 faz/60HZ (ABD uyumlu) | ||||||
| 460V/3 faz/50HZ (Asya uyumlu) | |||||||
| 380V/3 faz/50HZ (AB-CE uyumlu) | |||||||
| Ayak izi | L3000*W3000*H2000mm | ||||||
| Toplam ağırlık | 7.0 T | ||||||
| Ayak izi | (L*W*H) 5000*4000*4000 MM | ||||||
| DENEM DÜZENLERİ | 30~40 dakika (substrat malzemesine bağlı olarak, Substrat geometri ve çevresel koşullar) |
||||||
| Power Max... | 155 KW | ||||||
|
Ortalama Güç |
75 KW |
Seçiminiz için daha fazla modelimiz var!
Daha fazla bilgi için lütfen bizimle iletişime geçin. Royal Teknoloji size tam kaplama çözümleri sunmaktan onur duyuyor.
