|
| Marka Adı: | ROYAL |
| Model Numarası: | RTSP1200 |
| Adedi: | 1 set |
| fiyat: | pazarlık edilebilir |
| Ödeme Şartları: | L/C, T/T |
| Tedarik Yeteneği: | Ayda 10 set |
Magnetron Sputtering, tantalum, titanyum, volfram gibi ateşe dayanıklı metaller yatırmak için yaygın olarak kullanılır.,Niobium, çok yüksek bir depolama sıcaklığı gerektirir, ve değerli metaller: Altın ve Gümüş ve ayrıca bakır, alüminyum, nikel, krom vb. gibi daha düşük erime noktası metallerinin birikimi için de kullanılır.
Tantalum en çok elektronikte kullanılır.endüstriErozyona karşı iyi direnci nedeniyle koruyucu bir kaplama olarak.
Sputtered Tantalum ince filminin uygulanmaları:
1Mikroelektronik endüstrisi, filmlerin reaktif olarak püskürtülebilmesi ve böylece direnç direnç ve sıcaklık katsayısı kontrol edilebilmesi için;
5Yarım iletken endüstrisi, mikroelektronik yongalar
Teknik Avantajlar
Royal Technology'nin standartlaştırılmış Tantalum püskürtme deppozisyon sistemi: RTSP1000
| Ana yapılandırmalar | |
| Modelle | RTSP1200 |
| Teknoloji |
Pulslu DC magnetron püskürtmesi Katodik yay kaplama (seçimsel olarak, kaplama işlemi ile belirlenir), iyon ışını kaynağı |
| Oda malzemeleri | Paslanmaz çelik (S304) |
| Oda büyüklüğü | Φ1200*1300mm (H) |
| Oda tipi | D şekli, silindirli oda |
| Dönüş RAK & JIG SYSTEM | Uydu yönlendirme veya merkezi yönlendirme sistemi |
| Elektrik kaynakları |
DC Sputtering Güç kaynağı: 2 ~ 4 set İyon Kaynağı: 1 set |
| Depolama malzemesi | Ta, Ti/Cr/TiAl, Au, Ag, Cu vb. |
| Depozito Kaynağı | Yassı Sputtering Katodları + Dairesel Yay Katodları |
| Kontrol | PLC ((Programlanabilir Mantık Denetleyicisi) + IPC (El + Otomatik + Yarım Otomatik Çalışma Modelleri) |
| Pompa Sistemi | Döner Vane Pompası: SV300B 1 set (Leybold) |
| Kök pompası: WAU1001 1 set (Leybold) | |
| Tutuklama pompası: D60C 1 set (Leybold) | |
| Manyetik asılılık moleküler pompa: MAG2200 2 sest (Leybold) |
|
| Gaz kütle akış kontrolörü | 2 kanal: Ar ve N2 |
| Vakum ölçer | Inficon veya Leybold |
| Güvenlik Sistemi | Operatörleri ve ekipmanı korumak için sayısız güvenlik kilitleri |
| Isıtma | Isıtmalar: 20KW. En yüksek sıcaklık: 450°C. |
| Soğutma | Endüstriyel soğutucu (soğuk su) |
| Power Max. | 100KW (yaklaşık.) |
| Ortalama güç tüketimi | 45 KW (yaklaşık) |
| Brüt Ağırlık | T (yaklaşık) |
| Ayak izi | (L*W*H) 4000*4000*3600 MM |
| Elektrik Gücü |
AC 380V/3 faz/50HZ / 5 hattı |
Daha fazla uygulama ve özellik için lütfen bizimle iletişime geçin.
