|
| Marka Adı: | ROYAL |
| Model Numarası: | RTSP |
| Adedi: | 1 Set |
| Tedarik Yeteneği: | ayda 10 Set |
Tantalum PVD Sputtering Kaplama Makinesi, DC Magnetron Sputtering ile depolanmış Tantalum filmleri, PVD Tantalum Plating
Tantalum, erozyona karşı iyi direnci nedeniyle elektronik endüstride ve birçok endüstride koruyucu bir kaplama olarak en yaygın olarak kullanılır.
Sputtered tantalum filmleri yaygın olarak kullanılır.
1Mikroelektronik endüstrisi, filmlerin reaktif olarak püskürtülebilmesi ve böylece direncin dirençliliği ve sıcaklık katsayısı kontrol edilebilmesi nedeniyle;
2Yüksek biyolojik uyumluluk özelliği için vücut implantları gibi tıbbi aletler;
3. termowelller, valf gövdeleri ve bağlayıcılar gibi korozyona dayanıklı parçaların kaplamaları;
Sputtered tantalum da kullanılabilir kaplama sürekli, kusurlu ve altyapıya yapışan ise etkili bir korozyon direnci bariyer olarak kullanılır korumak için tasarlanmıştır.
RTAS1000 Teknik Avantajlar
1. Plug-in Hızlı kurulum için entegre tasarım sistemi
2Siemens PLC,CPU; Endüstriyel PC işletim ve kontrol donanımı ile
3Uzaktan izleme ve teşhis için kullanılabilir.
4Esnek, yükseltmeye hazır
5Hızlı bir şekilde çökme için birden fazla katot.
Makinenin daha fazla faydası:
Sağlam tasarım, istikrarlı kalite, hızlı döngü, hızlı döngü süresi, yüksek çökme hızı
| Ana yapılandırmalar | |
| Model | RTAS1000 |
| Teknoloji | DC magnetron püskürtme + Katodik yay kaplama |
| Oda malzemeleri | Paslanmaz çelik (S304) |
| Oda büyüklüğü | Φ1000*1000mm (H) |
| Oda tipi | D şekli, silindirli oda |
| Dönüş RAK & JIG SYSTEM | Uydu yönlendirme veya merkezi yönlendirme sistemi |
| Elektrik kaynakları | DC Sputtering Güç kaynağı: 2~4 set Bias Güç kaynağı: 1 set Arc Güç kaynağı: 11 set |
| Depolama malzemesi | Ti/Cr/TiAl, Ta, Au, Ag, Cu vb. |
| Depozito Kaynağı |
Yassı Sputtering Katodları + Dairesel Yay Katodları Not: Silindirik DC sputter kullanılabilir. |
| Kontrol | PLC ((Programlanabilir Mantık Denetleyicisi) + Dokunmatik Ekran (manual + otomatik + yarı otomatik çalışma modelleri) |
| Pompa Sistemi | Rotary Vane Pump: SV300B - 1 set (Leybold) |
| Kök pompası: WAU1001 - 1 set (Leybold) | |
| Tutma pompası: D60C - 1 set (Leybold) | |
| Manyetik asılılık moleküler pompa: MAG2200 - 2 sest (Leybold) | |
| Gaz kütle akış kontrolörü | 4 kanal, Çin'de yapılmış, Seven Star (CS serisi, ) dijital model (Ar, N2, O2, C2H2) |
| Vakum ölçer | Model: ZDF-X-LE, Çin'de yapıldı |
| Güvenlik Sistemi | Operatörleri ve ekipmanı korumak için sayısız güvenlik kilitleri |
| Isıtma | Isıtmalar: 20KW. En yüksek sıcaklık: 450°C. |
| Soğutma | Endüstriyel soğutucu (soğuk su) |
| Power Max. | 100KW (yaklaşık.) |
| Ortalama güç tüketimi | 45 KW (yaklaşık) |
| Brüt Ağırlık | T (yaklaşık) |
| Ayak izi | (L*W*H) 4000*4000*3600 MM |
| Elektrik Gücü | AC 380V/3 faz/50HZ / 5 hattı |
Silindrik püskürtme katotları Planar püskürtme katotlar
Daha fazla bilgi için lütfen bizimle iletişime geçin. Royal Teknoloji size tam kaplama çözümleri sunmaktan onur duyuyor.
Broşürü indirin, lütfen buraya tıklayın:Magnetron Sputtering Depozisyon Sistemi.pdf
Magnetron Sputtering Depozisyon sistemi uygulaması...
