Seramik Üzerine DPC Direkt Bakır Kaplama, Al2O3 / AlN Devre Kartları Bakır Kaplama Makinesi

DPC Keramik üzerine doğrudan bakır kaplama, Al2O3 / AlN Devre Taburları Bakır Depozisyon Makinesi

Performans

1Son Vakum Basıncı: 5.0×10'dan daha iyi^-6Torr.

2Çalışma vakum basıncı: 1.0×10^-4Torr.

3Pompalama süresi: 1 atm'den 1.0×10'a^-4Torr≤ 3 dakika (oda sıcaklığı, kuru, temiz ve boş oda)

4Metalize edici malzeme (sputtering + arc buharlaşması): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr vb.

5İşlem modeli: Tam otomatik / Yarım otomatik / El ile

Yapı

Vakum kaplama makinesi aşağıda listelenen anahtar tamamlanmış sistemi içerir:

1Vakum odası.

2Çarpıcı vakum pompalama sistemi (geri pompa paketi)

3Yüksek Vakum Pompalama Sistemi (Manyetik Asılılıklı Moleküler Pompa)

4Elektrikli Kontrol ve Çalışma Sistemi

5Yardımcı Tesis Sistemi (Alt Sistemi)

6Depolama Sistemi

Bakır püskürtme kaplama makinesi Ana özellikler

1. 8 direksiyon yay katodu ve DC Sputtering katodu, MF Sputtering katodu, iyon kaynağı ünitesi ile donatılmıştır.

2. Çok katmanlı ve ortak çökme kaplama mevcut

3Plasma temizleme öncesi işleme ve film yapışkanlığını artırmak için iyon ışını desteklenmiş deppozisyon için iyon kaynağı.

4Seramik/ Al2O3/AlN substrat ısıtma ünitesi;

5Substrat dönme ve devrim sistemi, tek taraflı kaplama ve iki taraflı kaplama için.

Cooper Magnetron Sputtering Kaplama Tesisi, Seramik İşındırıcı Substrata

DPC işlemi- Doğrudan Plating Bakır, LED / yarı iletken / elektronik endüstrilerde uygulanan gelişmiş bir kaplama teknolojisidir.

Geleneksel üretim yöntemleriyle karşılaştırıldığında, Al2O3, AlN substratları üzerinde PVD vakum püskürtme teknolojisi ile Cooper iletkenlik film çökmesi: DBC LTCC HTCC,Çok daha düşük üretim maliyeti yüksek özelliğidir.

Royal teknoloji ekibi müşterimize PVD püskürtme teknolojisiyle DPC işlemini başarılı bir şekilde geliştirmeye yardımcı oldu.

RTAC1215-SP makine, sadece Keramik yongalar, seramik devreler üzerinde bakır ileten film kaplama için tasarlanmıştır.

PVD kaplama nasıl çalışır?

Katı metal, yüksek vakum ortamında buharlaştırılır veya iyonlaşır ve elektrikle iletken malzemelere saf bir metal veya metal alaşım filmleri olarak depolanır.metal buharına oksijen veya karbonhidrat bazlı bir gaz eklenir., metal buhar akışı gazlarla kimyasal olarak reaksiyona girerken nitrit, oksit veya karbid kaplamalar oluşturur.PVD kaplama, buharlaşmış malzemenin, başka türlü odada bulunan herhangi bir kirletici ile reaksiyona girmemesi için özel bir reaksiyon odasında yapılmalıdır..

PVD kaplama işlemi sırasında, süreç parametreleri yakından izlenir ve kontrol edilir, böylece elde edilen film sertliği, yapışkanlık, kimyasal direnç, film yapısı,ve diğer özellikler her seferde tekrarlanabilir.Kullanım direncini artırmak, sürtünmeyi azaltmak, görünümü iyileştirmek ve diğer performans geliştirmelerini elde etmek için çeşitli PVD kaplamaları kullanılır.

Titanyum, krom, zirkonyum, gümüş, altın, alüminyum, bakır, paslanmaz çelik gibi yüksek saflıkta malzemeleri depolamak için,PVD kaplamanın fiziksel işlemi, birkaç farklı PVD kaplama yönteminden birini kullanır., şunları içerir:

Yay buharlaşması

Termal buharlaşma

DC/MF püskürtme (iyon bombardımanı)

İyon ışını çökmesi

İyon kaplama

Geliştirilmiş püskürtme

Daha fazla bilgi için lütfen bizimle iletişime geçin. Royal Teknoloji size tam kaplama çözümleri sunmaktan onur duyuyor.