DPC Seramik Yayılan Altyapı PVD Vakum Kaplama Makinesi

DPC işlemi- Doğrudan Plating Bakır, LED / yarı iletken / elektronik endüstrilerde uygulanan gelişmiş bir kaplama teknolojisidir.

Geleneksel üretim yöntemleriyle karşılaştırıldığında, Al2O3, AlN, Si, Cam substratları üzerinde PVD vakum püskürtme teknolojisiyle Cooper iletken film çökümü: DBC LTCC HTCC, özellikleri:

1Çok daha düşük üretim maliyeti.

2- Mükemmel ısı yönetimi ve ısı transferi performansı

3- Kesin bir hizalama ve desen tasarımı,

4. Yüksek devre yoğunluğu

5. İyi yapışkanlık ve solderability

Royal teknoloji ekibi müşterimize PVD püskürtme teknolojisiyle DPC işlemini başarılı bir şekilde geliştirmeye yardımcı oldu.
Gelişmiş performansı nedeniyle, DPC substratları çeşitli uygulamalarda yaygın olarak kullanılır:

Yüksek parlaklıklı LED, uzun ömürünü artırır.ısı radyasyonuPerformans, Yarım iletken ekipman, mikrodalga kablosuz iletişim, askeri elektronik, çeşitli sensör substratları, havacılık, demiryolu taşımacılığı, elektrik enerjisi vb.

RTAC1215-SP ekipmanı, sadece DPC işlemi için tasarlanmıştır.Yüksek yoğunlukta ideal film elde etmek için çoklu yaylı iyon kaplama ve magnetron püskürtme teknikleri ile, yüksek aşınma direnci, yüksek sertlik ve yüksek vakum ortamında güçlü bağlanma.

Bakır püskürtme kaplama makinesi Ana özellikler

1. 8 direksiyon yay katodu ve DC Sputtering katodu, MF Sputtering katodu, iyon kaynağı ünitesi ile donatılmıştır.

2. Çok katmanlı ve ortak çökme kaplama mevcut

3Plasma temizleme öncesi işleme ve film yapışkanlığını artırmak için iyon ışını desteklenmiş deppozisyon için iyon kaynağı.

4Seramik/ Al2O3/AlN substrat ısıtma ünitesi;

5Substrat dönme ve devrim sistemi, tek taraflı kaplama ve iki taraflı kaplama için.

Bakır püskürtme kaplama makinesinin özellikleri

Performans

1Son Vakum Basıncı: 5.0×10'dan daha iyi^-6Torr.

2Çalışma vakum basıncı: 1.0×10^-4Torr.

3Pompalama süresi: 1 atm'den 1.0×10'a^-4Torr≤ 3 dakika (oda sıcaklığı, kuru, temiz ve boş oda)

4Metalize edici malzeme (sputtering + arc buharlaşması): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr vb.

5İşlem modeli: Tam otomatik / Yarım otomatik / El ile

Yapı

Vakum kaplama makinesi aşağıda listelenen anahtar tamamlanmış sistemi içerir:

1Vakum odası.

2Çarpıcı vakum pompalama sistemi (geri pompa paketi)

3Yüksek Vakum Pompalama Sistemi (Manyetik Asılılıklı Moleküler Pompa)

4Elektrikli Kontrol ve Çalışma Sistemi

5Yardımcı Tesis Sistemi (Alt Sistemi)

6Depolama Sistemi

Örnekler

Daha fazla bilgi için lütfen bizimle iletişime geçin. Royal Teknoloji size tam kaplama çözümleri sunmaktan onur duyuyor.