Magnetron Sputtering Depozisyon Sistemi

Uygulamalar:

RTSP1213 makinesi, toplu model püskürtme sistemidir, metalik ve metalik olmayan malzemeler üzerine çeşitli sert kaplamalar, yumuşak kaplamalar, bileşik filmler ve katı yağlayıcı filmler bırakabilir. Hidrojen Yakıt Hücresi taşıtları, fotonik ürünler, havacılık ve diğer yeni enerji endüstrileri endüstrilerine uygulanır.

Özellikleri:

Yüzeyin iletkenliğini artırmak;

Yüksek korozyon direnci;

Yüksek aşınma direnci;

Yüksek sertlik

Hidrofobik kompozisyon filmi ve diğer fonksiyonel filmler

Bileşik kaplamalar için kullanılabilir: metalik ve metalik olmayan filmler.

Film kalınlığı 100nm ila 12μm arasında değişir, kalınlık toleransı ±% 5
Güçlü yapışma.

Düşük tavlama parçaları yüzey sertleştirme işlemi.

Tür:

Dikey yönlendirme, çokyüzlü yapı, 2 kapı (ön ve arka)

Özellikleri:

• Çevre dostu sistem, endüstriyel atık su, hava ve gürültü kirliliği yoktur;
• Kolay Kullanım: Dokunmatik ekran + PLC kontrolü ve tek dokunuşla kullanım için eşsiz bir yazılım programı,% 80'den fazla sorun giderme alarmı.
• 10 adede kadar işlem tarifleri giriş ve yedekleme; yüksek tekrarlanabilirlik ve çeşitlilik.
• Yüksek oranda film biriktirme için Carousel sisteminin özel tasarımı.
• Yüksek verimlilik ve yüksek kalite
• 365 gün * 24 saat çalışan kararlı ve güvenilir bir sistem (bakım ve onarım süresi)
• Verimlilik pompa sistemi: İyi bilinen Avrupa marka pompalarıyla maksimum boru hızı için daha kısa vakum boru hatları
• Kompakt tasarım minimum kurulum alanı kaplar.

Teknik özellikler

• Verim

1. Nihai Vakum Basıncı: 8.0 * ^10-5 Pa'dan daha iyi;

• Baz Vakum basıncı: 3.0 * 10 ^{- 4} Pa

3. Pompalama Süresi: atm'den 1.0 × 10 ^{- 3} Pa≤15 dakika (oda sıcaklığı, kuru, temiz ve boş oda)

4. Biriktirme kaynağı: dengeli / dengesiz püskürtme katotları

5. İşletim Modeli: Tam Otomatik / Yarı Otomatik / Elle

6. Isıtma: oda sıcaklığından maks. 450 ℃,

7. Plazma temizleme ve Plazma biriktirmeye yardımcı olur: Anot Doğrusal İyon Kaynağı

8. Manyetik Kapalı - Döngü dosyalandı. (Dengesizlik / denge katotları)

9. Önyargı Kızdırma deşarjı için güç kaynağı.

• yapı

Vakumlu kaplama makinesi aşağıda listelenen anahtar sistemlerini içermektedir:

1. Vakum Odası
1.1 Boyut: İç Çap 1200mm

İç Yükseklik: 1300mm

1.2 Malzeme: Vakum Odası SUS304

Kapı ve flanşlar SUS304

Bölme yapısı güçlendirilmiş: SS41 boyalı çelik, son işlem yüzey boyalı.

Boyalı son işlem yüzey işlemli oda kasası SS41 yumuşak çelik.

1.3 Püskürtme Kalkanı: SUS304

1.4 Görüş Penceresi: oda kapısında - 4 takım (her kapıda 2 adet)

1.5 Vakum Odası Havalandırma Valfi (susturucu dahil)

1.6 Kapı: SUS304 malzemesi

2. Rou ghing Vakum Pompalama Sistemi :

Yağ döner kanatlı vakum pompası + Kök pompası + Tutma Pompası (Leybold)

3. Yüksek Vakum Pompalama Sistemi :

Manyetik Süspansiyonlu Moleküler Pompa (Leybold)

• Sürgülü vanalar - 2 set

4. Elektrik Kontrol ve İşletim Sistemi - PLC + Dokunmatik Ekran

4.1 Ana devre: Yok sigorta şalteri, elektromanyetik şalter, seri tipte C / T

4.2 Püskürtme Güç Kaynağı + İyon kaynaklı güç kaynağı + Önyargı Güç Kaynağı (İleri Enerji)

4.3 Püskürtme biriktirme kontrol sistemi

4.4 İşletim Sistemi: Dokunmatik Ekran + PLC, reçete kontrolü ve veri kaydı, Otomatik kapanma, otomatik tahliye, otomatik kaplama

4.5 Ölçüm Sistemi

Vakum Basıncı: Vakum Ölçer: Pirani + Penning Ölçer + Tüm seri vakum ölçeri - Avrupa markası

Sıcaklık ölçüm cihazı: Termokupl
MFC: Kütle Akış Kontrol Cihazı (4 yollu), dijital ekran modu - Avrupa markası

4.6 Alarm Sistemi: Basınçlı hava basıncı, Soğutma suyu akışı, Yanlış çalışma

4.7 Güç Yükü Göstergesi: Gerilim göstergesi ve yük akımı göstergesi

5 . Biriktirme Sistemi

5.1 Biriktirme kaynağı: Sıçrama katotları, İyon kaynağı - Avrupa markası

5.2 Biriktirme malzemesi: Karbon hedefi

6. Alt Sistem

6.1 Hava Sıkıştırılmış Valf Kontrol Sistemi

6.2 Soğutma Suyu Sistemi: Su akış borusu ve şalt vanası sistemi

7. Çalışma Ortamı

Basınçlı Hava: 5 ~ 8kg / cm2

Soğutma Suyu: Su Giriş Sıcaklığı: 20 ~ 25 ℃, 200 Litre / dak,
Su Giriş Basıncı: 2 ~ 3 kg / cm2,

Güç: 3 Faz 380V 50Hz (60Hz), 75kVA, ortalama güç tüketimi: 40KW

Kurulum Alanı: (L * W * H) 3000 * 4000 * 3200mm

Egzoz: Mekanik pompalar için havalandırma

Neden biz?

1. Gelişmiş üretim makineleri (frezeleme, kaynak, kesme, vakum sızıntısı testi), standart üretim prosedürleri ve sıkı testlerle bir araya getirildiğinde Royal Technology'nin yüksek kaliteli, güvenilir ve düşük maliyetli kaplama sistemleri üretmesini sağlar.

2. Kalite, hizmet ve zamanında teslimat, Kraliyet teknolojisinin işinin temel ilkeleridir. Basit bileşenleri profesyonel üreticilere dış kaynak sağlama stratejisi, kilit parça ve bileşenlerin Ar-Ge, üretimine odaklanmamızı sağlıyor.

3. Sıkı kalite kontrol politikaları ve sıkı kalifiye tedarikçi seçimi, Royal Technology müşterilerinin en gelişmiş ve en yüksek kalitede ekipmanı en uygun maliyetle almalarını sağlar.

Daha fazla özellik için lütfen bizimle iletişime geçin, size toplam kaplama çözümleri sunmaktan onur duyarız.

Doldurulmuş broşürü indirmek için lütfen buraya tıklayınız: Ar & Ge vakumlu kaplama makinesi - PECVD + PVD mevduat ...