Alüminyum Oksit PVD Kaplama Makinesi, Doğrudan Kaplama Bakır Ürünleri, Çok Arklı Vakum Kaplama Ekipmanı

Anahtar Kelimeler: Doğrudan Kaplama alüminyum ürünler, PECVD işlemi, DLC film, Elmas Benzeri Karbon Film, Püskürtme Optik film, Gencoa Magnetron Püskürtme Katot, İyon Kaynağı, PA PVD

RTAC950-SP Tasarım Özellikleri:

• Esneklik: ark ve püskürtme kaynakları, lineer iyon kaynağı cihazları montaj flanşları esnek değişim için standartlaştırılmıştır
• Çok yönlülük: çeşitli ana metaller ve alaşımlar, optik kaplamalar, yumuşak kaplamalar için kullanılabilir. Metalik ve metalik olmayan malzemeler alt tabakalarında bileşik filmler ve katı yağlama filmleri
• Düz tasarım: 2 kapılı yapı, kolay bakım için ön ve arka açıklık

Teknik özellikler

• Verim

1. Ultimate Vakum Basıncı: 8.0 * 10-4 Pa daha iyi;

• Temel Vakum basıncı: 3.0 * 10-2 Pa

3. Pompalama Süresi: atm ila 1.0 × 10-3 Pa≤15 dakika (oda sıcaklığı, kuru, temiz ve boş oda)

4. Biriktirme kaynağı: Gencoa magnetron püskürtme katotları, yönlendirilmiş ark katotları, İyon kaynağı

5. işletim modeli: tam otomatik / yarı- otomatik / manuel

6. Isıtma: oda sıcaklığından maks. 500 ℃,

9. PECVD ve PA PVD işlemi için iyon kaynağı.

• yapı

Vakum kaplama makinesi aşağıda listelenen anahtar tamamlanmış sistemi içerir:

1. Vakum Odası
1.1 Boyut: İç Derinlik 950mm

İç Yükseklik: 1350mm

1.2 Malzeme: Vakum Odası SUS304

Kapı ve flanşlar SUS304

Odası güçlendirmek yapısı: SS41 yumuşak çelik, boyalı kaplama yüzey işleme ile.

Boyalı kaplama yüzey işlemine sahip oda şasisi SS41 yumuşak çelik.

1.3 Oda Kalkanı: SUS304

1.4 Görünüm Penceresi: oda kapılarında -2

1.5 Vakum Odası Havalandırma Valfi (susturucu dahil)

1.6 Kapı: 2 takım, ön ve arka, SUS304 malzeme

2. Kaba Vakum Pompalama Sistemi:
Yağ döner kanatlı vakum pompası + Tutma Pompası

3. Yüksek Vakum Pompalama Sistemi:

Turbo Moleküler Pompa - 2 set

4. Elektrik Kontrol ve İşletim Sistemi-PLC + Dokunmatik EkranOperasyon Sistemi:

Tedarikçiler:

PLC: Mitsubishi, Model: FX-IN60MR-001 SERİSİ

Elektronik Bileşenler: SCHNEIDER, OMRON.

Güvenlik Koruma Sistemi: Operatörleri ve ekipmanları korumak için çok sayıda güvenlik kilidi (su, mevcut gaz, sıcaklık vb.)

Kaplama Süreçleri Sistemi : Süreç Otomasyonu ve Kontrolü. 3 ay boyunca otomatik olarak hafızaya kaydedilir. Özel kaplama tarifleri verileri: hedef çalışma akımı / voltajı, Kütle Akışı, Vakum basıncı, sıcaklık, kaplama süreleri kaplama kalitesini artırmak için bir analiz için kaydedilir.

4.1 Ana devre: Yok sigorta kesici anahtarı, elektromanyetik anahtar, seri tip C / T

4.2 Güç Kaynağı: MF püskürtme gücü + DC Ark gücü + Önyargı Güç Kaynağı

4.3 Biriktirme kontrol sistemi

4.4 İşletim Sistemi: Dokunmatik Ekran + PLC, reçete kontrolü ve veri kaydı, Otomatik kapanma, otomatik tahliye, otomatik kaplama

4.5 Ölçüm Sistemi

Vakum Basıncı: Vakum Ölçer: Pirani + Penning ölçer + Tam aralıklı vakum ölçer - Avrupa markası

Sıcaklık ölçüm cihazı: Termokupl
MFC: Kütle Akış Kontrolörü (4 yol),

4.6 Alarm Sistemi: Basınçlı hava basıncı, Soğutma suyu akışı, Yanlış çalışma

4.7 Güç Yükü Göstergesi: Gerilim göstergesi ve yük akımı göstergesi

5 . Biriktirme Sistemi

5.1 Biriktirme kaynağı: Püskürtme katotları + Ark kaynakları + İyon Kaynağı

5.2 Biriktirme malzemesi: ITO, Titanyum, Krom, Alüminyum, Paslanmaz Çelik, TiAl vb.

6. Alt Sistem

6.1 Hava Basınçlı Valf Kontrol Sistemi

6.2 Soğutma Suyu Sistemi: Su akış borusu ve anahtar vana sistemi

7. Çalışma Ortamı

Basınçlı Hava: 5 ~ 8kg / cm2

Soğutma Suyu: Su Giriş Sıcaklığı: 20 ~ 25 ℃, 200 Litre / dak,
Su Giriş Basıncı: 2 ~ 3 kg / cm2,

Güç: 3 Faz 380V 50Hz (60Hz), 130kVA, ortalama güç tüketimi: 60KW

Kurulum Alanı: (L * G * Y) 4400 * 3200 * 2950mm

Egzoz: Mekanik pompalar için havalandırma

Daha fazla özellik için lütfen bizimle iletişime geçin, Royal Technology size toplam kaplama çözümleri sunmaktan onur duyar.