|
| Marka Adı: | ROYAL |
| Model Numarası: | RTSP1200 |
| Adedi: | 1 Set |
| fiyat: | pazarlık edilebilir |
| Ödeme Şartları: | L/C,D/A,D/P,T/T |
| Tedarik Yeteneği: | Ayda 6 setleri |
Makine modeli: RT1200-FCEV
Teknoloji: PECVD + PVD Magnetron Sputtering ile: Si, Cr, grafit hedefleri, yüksek yoğunlukta dengesiz kapalı manyetik alan üretmek için,Yüksek tekdüzelik ve mükemmel korozyon direnci karbon bazlı film.
Bu...RT1200-FCEVYüksek vakumlu magnetron püskürtme deppozisyon sistemi, Şangay Üniversitesi için inşa ettiğimiz Multi950-R&D modeline atıfta bulunan özel tasarlanmış bir model.
Oktal odasıyla tasarlanmıştır, esnek ve güvenilir performansları çeşitli uygulamalarda yaygın olarak kullanılmaktadır.Grafit, Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS ve diğer birçok ferromanyetik olmayan metal; artı iyon kaynağı birimi,
Plasma kazım performansı ve bazı karbon tabanlı katmanların depolanması için PECVD işlemiyle farklı alt katman malzemelerinin film yapışkanlığını verimli bir şekilde artırır.
Ekipman yapısı:
Dikey yönelim, sekizgen yapı, kolay erişim için 2 kapı açma (ön ve arka).
Ekipman özellikleri:
Çevre dostu sistem, tehlikeli atık yok
Yüksek entegrasyon, modüler tasarım
Endüstriyel seri üretim için ticarileştirilmiş ve standartlaştırılmış
Güçlü yapışma ve yüksek iyonlaşma için son derece verimli iyon kaynağı
Kolay Çalışma: Dokunmatik ekran + PLC kontrolü, tek dokunmatik işlem
Royal Technology'nin yazılımı ile, süreç parametreleri programlanabilir, kaydedilebilir ve yeniden üretilebilir
Yüksek derecede tekdüze çökme için Carousel sisteminin özel tasarımı
Yüksek verimlilik ve istikrar, haftada 7/24 çalışmak
Çeşitli boyutlarda plakalar için esnek, tek veya çift taraflı kaplama için
PVD ve PECVD kaplama film performansları:
Yüzey iletkenliğini iyileştirmek için
Yüksek korozyon direnci
Yüksek aşınma direnci
Yüksek sertlik
Hidrofobik kompozisyon filmi ve diğer fonksiyonel filmler
Bileşik kaplamalar için kullanılabilir: metal ve metal olmayan filmler
Film kalınlığı aralığı 100nm'den 12μm'e kadar, kalınlık toleransı ±5% Güçlü yapışkanlık
Düşük karartıcılıklı parçaların yüzey sertleştirme işlemi
| Modelle | RT1200-FCEV | |||||||||
| Malzeme | Paslanmaz çelik (S304) | |||||||||
| Oda büyüklüğü | Φ1250*1350mm (H) | |||||||||
| Oda tipi | Ön ve arka 2 kapılı yapı, Dikey | |||||||||
| Tek pompa paketi | Döner piston vakum pompası | |||||||||
| Kök vakum pompası | ||||||||||
| Manyetik asılılık moleküler pompa | ||||||||||
| Döner Vane Pompası (Kalan Pompa) | ||||||||||
| Teknoloji | Magnetron Sputtering, iyon kaynağı PECVD | |||||||||
| Güç kaynağı | Sputtering güç kaynağı + Bias güç kaynağı + İyon kaynağı | |||||||||
| Depozito Kaynağı | 2 çift DC/RF Sputtering Katodları + (2 çift yedek kullanarak) + İyon Kaynağı | |||||||||
| Kontrol | PLC + Dokunmatik Ekran | |||||||||
| GAS | Gaz kütle akış ölçerleri (Ar, N2, C2H2, O2) Argon, Azot ve Etin, Oksijen | |||||||||
| Güvenlik Sistemi | Operatörleri ve ekipmanları korumak için sayısız güvenlik kilitleri | |||||||||
| Soğutma | Soğutma suyu | |||||||||
| Temizlik | Parlama Sertifikası/İyon Kaynağı | |||||||||
| Power Max. | 150KW | |||||||||
| Ortalama güç tüketimi | 75KW | |||||||||
Daha fazla bilgi için lütfen bizimle iletişime geçin. Royal Teknoloji size tam kaplama çözümleri sunmaktan onur duyuyor.
