| MODEL | RTAC1618 | ||
| MALZEME | Paslanmaz Çelik (S304) | ||
| ODA BOYUTU | 001600 * 1800mm (Y) | ||
| POMPA SİSTEMİ | Döner Pistonlu Vakum Pompası (Mekanik) | ||
| Döner Kanatlı Vakum Pompası (Tutma) | |||
| Vakum Pompası Kökleri | |||
| Difüzyon Pompası | |||
| TEKNOLOJİ | İyon Kaplama (Çok ark kaynakları) | ||
| TİPİK HEDEFLER | Krom, Titanyum, Zirkonyum, TiAl | ||
| GAZ | Gaz Kütle Akış Ölçerler (Ar, N2,) Argon, Azot | ||
| KONTROL | PLC (Programlanabilir Mantık Denetleyici) | ||
| GÜVENLİK SİSTEMİ | Operatörleri ve ekipmanları korumak için çok sayıda güvenlik kilidi | ||
| SOĞUTMA | Recyle Soğutma Suyu | ||
| ISITMA | Isıtıcı, 300 ℃ 'ye kadar | ||
| MAKSİMUM GÜÇ. | 150KW (Yaklaşık) | ||
| ORTALAMA GÜÇ TÜKETİMİ | 70KW (Yaklaşık) | ||
Seramik Duvar PVD Kaplama Ekipmanı , Titanyum, Krom gibi katı metalleri katodik ark kaynağı ile buharlaştırmak ve yüksek vakum ortamında Nano ince film oluşturmak için iyonize metalleri ürün yüzeyinde yoğunlaştırmak için iyon kaplama teknolojisini kullanır. Reaktif gaz ile: Çeşitli renkler üretmek için azot.
Seramik Duvar PVD Kaplama Ekipmanları:
1. Vakum odası dikey bir açık kapı, 304 paslanmaz çelik üretmektedir, chamber1400mm-Φ2000mm vakum odası iç çapı;
2. Vakum sistemi ile Döner kanatlı pompa, Kök pompa ve Yağ Difüzyon Pompaları veya Moleküler Pompa Anayasası;
3. Kaplama sistemi, püskürtme güç kaynağını kontrol etmek için 1-2 ara frekans manyetizması kullanır, hedefi kontrol etmek için 1-2 çift dengeli olmayan manyetizmaya sahiptir ve 14-40 ark kaynağı vardır.
4. Yüksek verimlilik darbe önyargı güç kaynağı;
5. Gazlaştırma sistemi yurt içinde üretilen veya ithal gaz kütle akış ölçer, gaz akış miktarı kontrol (gösteri) ölçer kullanır;
6. elektrik kontrollü sistem kurulması elektrik devresi aşırı, su kaynağını keser, acousto-optik alarm cihazı ölür;
7. kontrol sistemi (dokunmatik- ekran + plc), gerçek zamanlı ekran ayrıntılı parametre, tamamen otomatik kontrol tüm üretim süreci, ve otomatik bellek teknolojik parametre.
Diğer özelleştirilmiş makine boyutları, belirtilen ürün boyutları ve kapasite talebine göre kullanılabilir.
model | RTAC-1008 | RTAC-1012 | RTAC-1215 | RTAC-1416 | 1618-RTAC | ||||||
| Oda iç boyutu | 1000x800mm | 1000x1200mm | 1200x1500mm | 1400x1600mm | 1600x1600mm | ||||||
| Güç kaynağı türü | Ark güç kaynağı, filaman güç kaynağı, darbe önyargı güç kaynağı | ||||||||||
| Vakum odasının yapısı | Dikey ön kapı yapısı, arka hava egzoz sistemi ve çift katmanlı su soğutma odası | ||||||||||
| Vakum odası malzemesi | paslanmaz çelik 304 / 316L | ||||||||||
| Mükemmel vakum | 6.0x10-4Pa (boşaltma, temiz, kurutma odası) | ||||||||||
| Vakum Pompalama Hızı | atmosferden 8.0 * 10-3Pa ≤15 dakikaya kadar | ||||||||||
| Vakum pompalama sistemi | Difüzyon pompası veya moleküler pompa + Kök pompası + Mekanik pompa + Tutma pompası (belirli model müşteri ihtiyaçlarına göre seçilebilir) | ||||||||||
| Ark kaynağı | 6 adet veya 8 adet | 8 adet veya 10 adet | 10 adet veya 12 adet | 14 adet veya 16 adet | 16 adet veya 18 adet | ||||||
| Önyargı güç kaynağı | 20KW / set | 20KW / set | 30KW / set | 40KW / set | 50kW / seti | ||||||
| Sürüş Modeli | Gezegensel devrim ve dönüş, değişken frekans hız regülasyonu (kontrol edilebilir ve ayarlanabilir) | ||||||||||
| Isıtma sistemi | Kontrol edilebilir ve oda sıcaklığından 450 ° C'ye kadar ayarlanabilir (PID sıcaklık kontrolü) | ||||||||||
| MFC | 3 yollu veya 4 yollu proses gaz akış kontrol ve görüntüleme sistemi, seçici otomatik gazlama sistemi | ||||||||||
| Soğutma sistemi | Su sirkülasyonu soğutma modu, soğutma suyu kulesi veya endüstriyel su soğutucu veya derin soğutma sistemi. (Müşteriler tarafından sağlanan) | ||||||||||
| Kontrol modu | Manuel / otomatik entegrasyon modu, dokunmatik ekran kullanımı, PLC veya bilgisayar kontrolü | ||||||||||
| Toplam güç | 30KW | 35kW | 45KW | 60KW | 75KW | ||||||
| Alarm ve koruma | Alarm su sıkıntısı, aşırı akım ve aşırı gerilim, açık devre ve pompaların, hedeflerin vb. Diğer anormal koşulları ve ilgili koruyucu önlemleri ve elektrik kilitleme işlevini yürüt | ||||||||||
| Ekipman alanı | W2.5m * L3.5m | W3m * L4M | W4m * L5m | W4.5m * L6m | W5m * L7m | ||||||
| Diğer teknik parametreler | Su Basıncı ≥0.2MPa, Su Sıcaklığı ≤25 ° C, Hava Basıncı 0.5-0.8MPa | ||||||||||
| Uyarılar | Kaplama ekipmanının özel konfigürasyonu, kaplama performansının proses gereksinimlerine göre tasarlanabilir | ||||||||||
Daha fazla özellik için lütfen bizimle iletişime geçin, Royal Technology size toplam kaplama çözümleri sunmaktan onur duyar.
