Marka Adı: | ROYAL |
Model Numarası: | Multi950 |
Adedi: | 1 Takım |
fiyat: | pazarlık edilebilir |
Ödeme Şartları: | L / C, T / T |
Tedarik Yeteneği: | ayda 5 setleri |
PECVD & Magnetron Optik Filmler Biriktirme Sistemi Çokyüzlü Yapı Vakum Kaplama Makinesi
The Multi950 machine is a customized multiple functions vacuum deposition system for R&D. Multi950 makinesi, Ar-Ge için özelleştirilmiş çok fonksiyonlu vakum biriktirme sistemidir. With half year's discussion with Shanghai University's team leaded by Professor Chen, we finally confirmed the design and configurations to fulfill theirs R&D applications. Şanghay Üniversitesi'nin Profesör Chen liderliğindeki ekibiyle yapılan yarım yıllık tartışma ile, sonunda Ar-Ge uygulamalarını yerine getirmek için tasarım ve konfigürasyonları doğruladık. This system is able to deposit transparent DLC film with PECVD process, hard coatings on tools, and optical film with sputtering cathode. Bu sistem PECVD işlemi ile şeffaf DLC filmi, aletler üzerindeki sert kaplamaları ve püskürtme katotlu optik filmi bırakabilir. Based on this pilot machine design concept, we have developed 3 other coating systems after then: Bu pilot makine tasarım konseptine dayanarak, bundan sonra 3 başka kaplama sistemi geliştirdik:
1. Yakıt Pili Elektrikli Araçlar için Bipolar Plaka Kaplama-FCEV1213,
2. Seramik Doğrudan Kaplama Bakır- DPC1215,
3. Esnek Püskürtme Sistemi - RTSP1215.
These 4 models machine are all with Octal chamber, flexible and reliable performances are extensively used in various applications. Bu 4 model makinenin hepsi Sekiz odalıdır, esnek ve güvenilir performanslar çeşitli uygulamalarda yaygın olarak kullanılmaktadır. It satisfy the coating processes require multi different metal layers: Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS and many other non-feeromagnetic metals; Kaplama işlemlerinin çok farklı metal tabakalar gerektirdiğini karşılar: Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS ve diğer pek çok ücretsiz-manyetik olmayan metaller;
İyon kaynak ünitesi, plazma aşındırma performansı ve bazı karbon bazlı tabakaların biriktirilmesi için PECVD işlemi ile farklı alt tabaka malzemelerine film yapışmasını etkili bir şekilde arttırır.
The Multi950 is the milestone of advanced design coating systems for Royal Tech. Multi950, Royal Tech için gelişmiş tasarım kaplama sistemlerinin kilometre taşıdır. Here, we grateful thanks Shanghai University students and especially Process Yigang Chen, his creative and selfless dedication are unlimited values and inspired our team. Burada, Şanghay Üniversitesi öğrencilerine ve özellikle Process Yigang Chen'e teşekkür ediyoruz, yaratıcı ve özverili özveri sınırsız değerlerdir ve ekibimize ilham kaynağı olmuştur.
2018 yılında, C-60'ın malzeme depolaması olan Pressor Chen ile başka bir proje işbirliğimiz vardı.
Inductive thermal evaporation method. Endüktif termal buharlaşma yöntemi. We heartfully thank Mr. Yimou Yang and Professor Chen's leading and instruction on every innovative project. Bay Yimou Yang ve Profesör Chen'in her yenilikçi projedeki liderliği ve eğitimine yürekten teşekkür ediyoruz.
Avantajları:
Kompakt Ayak İzi,
Standart Modüler Tasarım,
Esnek,
Dürüst,
Sekizli Oda,
İyi erişim için 2 kapılı yapı,
PVD + PECVD süreçleri.
Tasarım özellikleri:
1. Esneklik: Ark ve püskürtme katotları, İyon kaynağı montaj flanşları esnek değişim için standartlaştırılmıştır;
2. Versatility: can deposit variety of base metals and alloys; 2. Çok yönlülük: çeşitli ana metaller ve alaşımlar yayabilir; optical coatings, hard coatings, soft coatings, compound films and solid lubricating films on the metallic and non-metallic materials substrates. metalik ve metalik olmayan malzemeler üzerine optik kaplamalar, sert kaplamalar, yumuşak kaplamalar, bileşik filmler ve katı yağlama filmleri.
3. Düz ileri tasarım: 2-kapı yapısı, kolay bakım için ön ve arka açılış.
Teknik Açıklama:
Açıklama | Çok 950 |
Biriktirme haznesi (mm) Genişlik x Derinlik x Yükseklik |
1050 x 950 x 1350 |
Biriktirme Kaynakları |
1 çift MF püskürtme katodu |
1 çift PECVD | |
8 takım ark katotları | |
Doğrusal İyon Kaynağı | 1 takım |
Plazma Eşitlik Bölgesi (mm) | 50650 x H750 |
atlıkarınca | 6 x φ300 |
Yetkileri (KW) |
Önyargı: 1 x 36 |
MF: 1 x 36 | |
PECVD: 1 x36 | |
Yay: 8 x 5 | |
İyon Kaynağı: 1 x 5 | |
Gaz Kontrol Sistemi | MFC: 4 + 1 |
Isıtma sistemi | 500 ℃, termal çift PID kontrolü ile |
Yüksek Vakum Sürgülü Vana | 2 |
Turbomoleküler pompa | 2 x 2000L / S |
Kök Pompası | 1 x 300L / S |
Döner Kanatlı Pompa | 1 x 90 m³ / s + 1 x 48 m³ / s |
Kapladığı alan (U x G x Y) mm | 3000 * 4000 * 3200 |
Toplam Güç (KW) | 150 |
Daha fazla özellik için lütfen bizimle iletişime geçin, Royal Technology size toplam kaplama çözümleri sunmaktan onur duyar.