TiN altın Metal Orta Frekans Magnetron Püskürtme Kaplama Makinesi / MF Püskürtme Sistemi
Magnetron Püskürtme Vakum Kaplama bir tür PVD İyon Kaplama yüzey işleme yöntemidir. Metaller, cam, seramik, plastik, metal alaşımı: birçok tip malzemede iletken veya iletken olmayan filmlerin üretimi için kullanılabilir. Püskürtme biriktirme kavramı: kaplama malzemesi (ayrıca katot olarak da adlandırılan hedef) ve iş parçaları (anot olarak da adlandırılan alt tabakalar) vakum odasına yerleştirilir ve basınç düşürülür. Püskürtme, hedefi bir voltaj diferansiyasyonunun altına yerleştirerek ve argon iyonları oluşturan argon gazı (kızdırma deşarjı) sokarak başlatılır. Argon iyonları proses hedefine doğru hızlanır ve hedef atomları yer değiştirir. Bu püskürtme atomları daha sonra substrat üzerinde yoğunlaştırılır ve çok ince ve yüksek homojenlik tabakası oluşturur. Kaplama işlemi sırasında, azot, oksjen veya asetilen gibi reaktif gazların hut püskürtme gazına sokulmasıyla çeşitli renkler elde edilebilir.
Magnetron Püskürtme Modelleri: DC Püskürtme, MF Püskürtme, RF Püskürtme
MF Püskürtme nedir?
DC ve RF püskürtme ile karşılaştırıldığında, Orta Frekans püskürtme, özellikle optik kaplamalar, güneş panelleri, çoklu katmanlar gibi yüzeylerde dielektrik ve iletken olmayan film kaplamalarının film birikimi için, kaplamanın seri üretimi için ana ince film püskürtme tekniği haline gelmiştir. , kompozit malzeme filmi vb.
Çok daha hızlı bir biriktirme oranı için MHz yerine kHz ile çalıştırılması nedeniyle RF sıçramasının yerini almaktadır ve ayrıca DC gibi bileşik ince film birikimi sırasında Hedef zehirlenmesini önleyebilir.
MF püskürtme hedefleri her zaman iki setle mevcuttu. İki katot, aralarında ileri geri anahtarlanmış bir AC akımı ile kullanılır, bu da plazmaya damlacıklar oluşturabilen ve düzgün ince film büyümesini önleyebilen arklara yol açan dielektriklerde oluşan yükü azaltmak için hedef yüzeyi her bir geri dönüşle temizler. buna Hedef Zehirlenme diyoruz.
MF Püskürtme Sistemi Performansı
1. Ultimate Vakum Basıncı: 5.0 × 10-6 Torr daha iyi.
2. Çalışma Vakum Basıncı: 1.0 × 10 - 4 Torr.
3. Pompalama Süresi: 1 atm ila 1.0 × 10 - 4 Torr≤ 3 dakika (oda sıcaklığı, kuru, temiz ve boş oda)
4. Metalize malzeme (püskürtme + Ark buharlaşma): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, TiN, TiC, TiAlN, CrN, CrC, vb.
5. işletim modeli: tam otomatik / yarı- otomatik / manuel
MF Püskürtme Sistemi Yapısı
Vakum kaplama makinesi aşağıda listelenen anahtar tamamlanmış sistemi içerir:
1. Vakum Odası
2. Rouhging Vakum Pompalama Sistemi (Yedek Pompa Paketi)
3. Yüksek Vakum Pompalama Sistemi (Manyetik Süspansiyon Moleküler Pompa)
4. Elektrik Kontrol ve İşletim Sistemi
5. Yardımcı Tesis Sistemi (Alt Sistem)
6. Biriktirme Sistemi: MF püskürtme katodu, MF güç kaynağı, isteğe bağlı için Önyargı Güç Kaynağı İyon kaynağı
MF Sputtering System RTSP1212-MF Teknik Belgeler
MODEL | RTSP1212-MF | ||||||
TEKNOLOJİ | MF Magnetron Püskürtme + İyon Kaplama | ||||||
MALZEME | Paslanmaz Çelik (S304) | ||||||
ODA BOYUTU | Φ1250 * H1250mm | ||||||
ODA TİPİ | Silindir, dikey, 1 kapılı | ||||||
Püskürtme Sistemi | İnce siyah film birikimi için özel tasarım | ||||||
MEVDUAT MALZEMESİ | Alüminyum, gümüş, bakır, krom, paslanmaz Çelik, Nikel | ||||||
MEVDUAT KAYNAĞI | 2 set MF Silindirik Püskürtme Hedefleri + 8 Yönlü Katodik Ark Kaynakları | ||||||
GAZ | MFC- 4 yol, Ar, N2, O2, C2H2 | ||||||
KONTROL | PLC (Programlanabilir Mantık Denetleyici) + | ||||||
POMPA SİSTEMİ | SV300B - 1 set (Leybold) | ||||||
WAU1001 - 1 takım (Leybold) | |||||||
D60T- 2sets (Leybold) | |||||||
Turbo Moleküler Pompalar: 2 * F-400/3500 | |||||||
ÖN ARITMA | Önyargı güç kaynağı: 1 * 36 KW | ||||||
GÜVENLİK SİSTEMİ | Operatörleri korumak için çok sayıda güvenlik kilidi | ||||||
SOĞUTMA | Soğuk su | ||||||
GÜÇ ELEKTRİK | 480V / 3 faz / 60HZ (ABD uyumlu) | ||||||
460V / 3 faz / 50HZ (Asya uyumlu) | |||||||
380V / 3 faz / 50HZ (EU-CE uyumlu) | |||||||
AYAK İZİ | L3000 * W3000 * H2000mm | ||||||
TOPLAM AĞIRLIK | 7,0 T | ||||||
AYAK İZİ | (L * G * Y) 5000 * 4000 * 4000 MM | ||||||
DEVİR SÜRESİ | 30 ~ 40 dakika (alt tabaka malzemesine bağlı olarak, substrat geometrisi ve çevre koşulları) | ||||||
MAKSİMUM GÜÇ.. | 155 KW | ||||||
ORTALAMA GÜÇ | 75 KW |
Seçiminiz için daha fazla modelimiz var!
Daha fazla özellik için lütfen bizimle iletişime geçin, Royal Technology size toplam kaplama çözümleri sunmaktan onur duyar.