Mangetron Sputtering Coater RTSP1215, bakır, alüminyum, plastik, metal devre kartı iletken film tabakası kaplaması için kullanılır. Nano ince filmi yüzeylerde yoğunlaştırabilir. Ag püskürtme hariç, Ni, Au, Ag, Al, Cr, SS316L'yi de bırakabilir.
RTSP1215 makinesi, PVD film birikiminden önce ve plazma bombardımanı temizliği için 1 set Anot Katmanı İyon kaynağı olmadan önce 2 çift MF püskürtme katodu ile kurulur.
İyon kaynağı Gencoa firmasından orijinaldir, özellikleri:
1. Standart püskürtme basınçlarında toplanmış bir plazma ışını üretmek için optimize edilmiş manyetik alanlar
2. sabit akım ve gerilim korumak için gaz için Otomatik düzenleme - çoklu gaz otomatik kontrol
3. Alt tabakayı kontaminasyondan korumak ve uzun ömürlü bileşenler sağlamak için grafit anot ve katot
4. Tüm iyon kaynaklarında RF standart elektrik yalıtımı
Anot ve katot 5. In-doğrudan soğutma - parçaların hızlı geçiş
6. düşük voltaj operasyonu için birden fazla manyetik tuzakları sağlamak için katot parçaları Kolay geçiş, veya bir odaklanmış ışın
7. her zaman aynı akımı korumak için gaz ayar geribildirim ile voltaj regüle güç kaynağı
RTSP1215 Püskürtme Kaplama Ekipmanları Uygulamaları:
1. Mevcut yüzeylerde: Plastik, Polimer, Cam ve seramik levhalar, Paslanmaz çelik, Bakır levha, Alüminyum levha vb.
2. Nano film üretmek için: TiN, TiC, TiCN, Cr, CrC, CrN, Cu, Ag, Au, Ni, Al vb.
RTSP1215 Püskürtme Kaplama Ekipmanları Tasarım Özellikleri:
1. Sağlam tasarım, sınırlı oda alanı için iyi
Bakım ve onarım için 2. Kolay erişim
3. yüksek verim için Hızlı pompalama sistemi
4. CE standart elektrik muhafaza, UL standart da mevcuttur.
5. Doğru imalat işçiliği
6. istikrarlı çalışan garanti yüksek kaliteli film üretimi.
Anahtar özellik, Royal'ın müşterinin taleplerinden gelen çeşitli talepleri karşılamak için mevcut olan özelleştirilmiş işletim ve kontrol programı ve yazılımıdır. Kontrol sistemi PLC + Dokunmatik ekran:
PLC uzaktan izleme ve kontrol (Yerel Alan Ağı)
1) Uzaktan kumanda Takım Görüntüleme Programı
2) PLC programı yedekleme + HMI programı yedekleme
3) PC işletim ortamı
Sistem: Pencere 2000 / Pencere XP / Pencere 7
Ekran Piksel: 1920 * 1080
yapılandırmalar
| MODEL | RTSP1215 |
| MALZEME | Paslanmaz Çelik (S304) |
| ODA BOYUTU | Φ1200 * 1500mm (Y) |
| ODA TİPİ | 1 kapılı yapı, Dikey |
| TEK POMPA PAKETİ | Vakum Pompası Döner Kanatlı |
| Vakum Pompası Kökleri | |
| Manyetik Süspansiyon Moleküler Pompa | |
| İki kademeli döner kanatlı vakum pompası | |
| TEKNOLOJİ | MF Magnetron Püskürtme, Lineer İyon Kaynağı |
| GÜÇ KAYNAĞI | Püskürtme güç kaynağı + Önyargı Güç kaynağı + İyon Kaynağı |
| MEVDUAT KAYNAĞI | 2 çift MF Püskürtmeli Katot + İyon Kaynağı |
| KONTROL | PLC + Dokunmatik Ekran |
| GAZ | Gaz Kütle Akış Ölçerler (Ar, N2, C2H2, O2) Argon, Azot ve Etin, Oksijen |
| GÜVENLİK SİSTEMİ | Operatörleri ve ekipmanları korumak için çok sayıda güvenlik kilidi |
| SOĞUTMA | Soğutma suyu |
| TEMİZLİK | Kızdırma Deşarjı / İyon Kaynağı |
| MAKSİMUM GÜÇ. | 120kW |
| ORTALAMA GÜÇ TÜKETİMİ | 70kW |
Daha fazla özellik için lütfen bizimle iletişime geçin, Royal Technology size toplam kaplama çözümleri sunmaktan onur duyar.
