Mavi metal parçalar MF Püskürtme Sistemi , metal parçalar, paslanmaz çelik nesneler üzerindeki genel grafit, jet siyahı, mavi renk vb. Özellikle üst sınıf lüks ürünler için kullanılır: elektronik: akıllı telefon, kamera, dizüstü bilgisayar, golf, kaşık, çatal, bıçak, kapı kolu, musluklar; parmak yüzük, kolye, kulak yüzük, bilezik vb.
Mavi metal parçalar MF Püskürtme Sisteminin birden fazla biriktirme kaynağı vardır:
Katı metal hedefinin buharlaştırılması için Yönlendirilmiş Dairesel Ark kaynakları;
Grafit ince film tabakası birikimi için 2 çift MF dengesiz püskürtme katotları;
Ön arıtma için plazma alanını oluşturmak üzere iyon bombardımanı için Önyargı Güç Kaynağı;
Anot Doğrusal İyon Kaynak Ünitesi (isteğe bağlı) PACVD ve PECVD işleme;
Su moleküler yoğunlaşması için Cryopump (Polycold) (isteğe bağlı)
MF Püskürtme nedir?
DC ve RF püskürtme ile karşılaştırıldığında, Orta Frekans püskürtme, özellikle optik kaplamalar, güneş panelleri, çoklu katmanlar gibi yüzeylerde dielektrik ve iletken olmayan film kaplamalarının film birikimi için, kaplamanın seri üretimi için ana ince film püskürtme tekniği haline gelmiştir. , kompozit malzeme filmi vb.
Çok daha hızlı bir biriktirme oranı için MHz yerine kHz ile çalıştırılması nedeniyle RF sıçramasının yerini almaktadır ve ayrıca DC gibi bileşik ince film birikimi sırasında Hedef zehirlenmesini önleyebilir.
MF püskürtme hedefleri her zaman iki setle mevcuttu. İki katot, aralarında ileri geri anahtarlanmış bir AC akımı ile kullanılır, bu da plazmaya damlacıklar oluşturabilen ve düzgün ince film büyümesini önleyebilen arklara yol açan dielektriklerde oluşan yükü azaltmak için hedef yüzeyi her bir geri dönüşle temizler. buna Hedef Zehirlenme diyoruz.
MF Püskürtme Sistemi Performansı
1. Ultimate Vakum Basıncı: 5.0 × 10-6 Torr daha iyi.
2. Çalışma Vakum Basıncı: 1.0 × 10 - 4 Torr.
3. Pompalama Süresi: 1 atm ila 1.0 × 10 - 4 Torr≤ 3 dakika (oda sıcaklığı, kuru, temiz ve boş oda)
4. Metalize malzeme (püskürtme + Ark buharlaşma): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, TiN, TiC, TiAlN, CrN, CrC, vb.
5. işletim modeli: tam otomatik / yarı- otomatik / manuel
MF Püskürtme Sistemi Yapısı
Vakum kaplama makinesi aşağıda listelenen anahtar tamamlanmış sistemi içerir:
1. Vakum Odası
2. Rouhging Vakum Pompalama Sistemi (Yedek Pompa Paketi)
3. Yüksek Vakum Pompalama Sistemi (Manyetik Süspansiyon Moleküler Pompa)
4. Elektrik Kontrol ve İşletim Sistemi
5. Yardımcı Tesis Sistemi (Alt Sistem)
6. Biriktirme Sistemi: MF püskürtme katodu, MF güç kaynağı, isteğe bağlı için Önyargı Güç Kaynağı İyon kaynağı
Mavi metal parçalar Dekorasyon MF Püskürtme Sistemi boyutları:
Hazne İç Ölçüsü: Dia 1200 mm ~ 1600mm
Hazne İç Yüksekliği: 1250mm ~ 1300mm
3D ürünlerinin spekülatif talebine göre özelleştirilmiş makine boyutları da mevcuttur.
MF Sputtering System RTAC1250-SPMF Teknik Belgeler
| MODEL | RTAC1250-SPMF | ||||||
| TEKNOLOJİ | MF Magnetron Püskürtme + İyon Kaplama | ||||||
| MALZEME | Paslanmaz Çelik (S304) | ||||||
| ODA BOYUTU | Φ1250 * H1250mm | ||||||
| ODA TİPİ | Silindir, dikey, 1 kapılı | ||||||
| Püskürtme Sistemi | İnce siyah film birikimi için özel tasarım | ||||||
| MEVDUAT MALZEMESİ | Alüminyum, gümüş, bakır, krom, paslanmaz Çelik, Nikel | ||||||
| MEVDUAT KAYNAĞI | 2 takım MF Silindirik Püskürtme Hedefleri + 8 Yönlü Katodik Ark Kaynakları + Iyon Kaynağı Isteğe bağlı Için | ||||||
| GAZ | MFC- 4 yol, Ar, N2, O2, C2H2 | ||||||
| KONTROL | PLC (Programlanabilir Mantık Denetleyici) + | ||||||
| POMPA SİSTEMİ | SV300B - 1 set (Leybold) | ||||||
| WAU1001 - 1 takım (Leybold) | |||||||
| D60T- 1 set (Leybold) | |||||||
| Turbo Moleküler Pompalar: 2 * F-400/3500 | |||||||
| ÖN ARITMA | Önyargı güç kaynağı: 1 * 36 KW | ||||||
| GÜVENLİK SİSTEMİ | Operatörleri korumak için çok sayıda güvenlik kilidi | ||||||
| SOĞUTMA | Soğuk su | ||||||
| GÜÇ ELEKTRİK | 480V / 3 faz / 60HZ (ABD uyumlu) | ||||||
| 460V / 3 faz / 50HZ (Asya uyumlu) | |||||||
| 380V / 3 faz / 50HZ (EU-CE uyumlu) | |||||||
| AYAK İZİ | L3000 * W3000 * H2000mm | ||||||
| TOPLAM AĞIRLIK | 7,0 T | ||||||
| AYAK İZİ | (L * G * Y) 5000 * 4000 * 4000 MM | ||||||
| DEVİR SÜRESİ | 30 ~ 40 dakika (alt tabaka malzemesine bağlı olarak, substrat geometrisi ve çevre koşulları) | ||||||
| MAKSİMUM GÜÇ.. | 155 KW | ||||||
ORTALAMA GÜÇ TÜKETİM (YAKLAŞIK) | 75 KW |
Daha fazla özellik için lütfen bizimle iletişime geçin, Royal Technology size toplam kaplama çözümleri sunmaktan onur duyar.
