|
| Marka Adı: | ROYAL |
| Model Numarası: | Multi950 |
| Adedi: | 1 Takım |
| fiyat: | pazarlık edilebilir |
| Ödeme Şartları: | L / C, T / T |
| Tedarik Yeteneği: | Ayda 26 setleri |
Royal Teknoloji Multi950
PVD + PECVD Vakum Depozisyon Makinesi
he Multi950 makinesi, araştırma ve geliştirme için özel bir çok fonksiyonlu vakum çökme sistemidir.
Profesör Chen tarafından yönetilen Şangay Üniversitesi'nin ekibiyle yoğun görüşmelerden sonra, sonunda araştırma ve geliştirme uygulamalarını yerine getirmek için tasarımı ve yapılandırmayı onayladık.Bu sistem, PECVD işlemiyle şeffaf DLC filmi depolayabilir.Bu pilot makine tasarım konseptine dayanarak daha sonra 3 başka kaplama sistemi geliştirdik:
1Yakıt hücresi ile çalışan elektrikli araçlar için bipolar plaka kaplama- FCEV1213
2Keramik Doğrudan Kaplanmış Bakır- DPC1215
3Esnek Sputtering Sistemi- Bakır PCB Altın Plating Sistemi
Bu 3 makinenin hepsi, çeşitli uygulamalarda esnek ve güvenilir performanslar sağlayan Sekizgenli bir odaya sahiptir.,Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS ve diğer birçok demir manyetik olmayan metal.Plasma kazım performansıyla farklı alt katman malzemelerinde filmlerin yapışmasını verimli bir şekilde arttırır ve, bazı karbon tabanlı katmanların depolanması için PECVD işlemi.
Multi950, Royal Technology için ileri tasarım kaplama sistemlerinin dönüm noktasıdır.Şangay Üniversitesi öğrencilerine ve profesör Yigang Chen'e, yaratıcılığı ve özverisiyle onları yönlendirdiği için teşekkür ederim., değerli bilgilerini en son teknolojiye dönüştürebildik.
2018 yılında, Profesör Chen ile başka bir proje işbirliği yaptık.
İndüktif termal buharlaşma yöntemi ile C-60 malzemesinin çökmesi.
Bay Yimou Yang ve Profesör Chen bu yenilikçi projelerin temelini oluşturdular.
Teknik Avantajlar
Tasarım Özellikleri
1Esneklik: Yay ve püskürtme katotlar, Ion kaynağı montaj flensleri esnek değişim için standartlaştırılmıştır
2Çok yönlülük: Çeşitli basit metaller ve alaşımlar; optik kaplamalar, sert kaplamalar, yumuşak kaplamalar,Metal ve metal olmayan malzemelerin substratları üzerindeki bileşik filmler ve katı yağlandırma filmleri
3Düz ileri tasarım: 2 kapılı yapı, kolay bakım için ön ve arka açılış
Teknik özellikler
Model: Multi-950
Depolama odası (mm)
Çap x Yükseklik: φ950 x 1350
Depozisyon Kaynakları: 1 çift MF püskürtürme katodları
1 çift PECVD
8 adet yay katodu seti
1 set doğrusal iyon kaynağı
Plasma Tekdüzelik Bölgesi (mm): φ650 x H750
Karusel: 6 xφ300
Güçler (KW) Bias: 1 x 36
MF püskürtme gücü (KW): 1 x 36
PECVD (KW): 1 x36
Yay (KW): 8 x 5
İyon Kaynağı (KW): 1 x 5
Gaz Kontrol Sistemi MFC: 4 + 1
Isıtma Sistemi: 18KW, 500°C'ye kadar, termal çift PID kontrolü ile
Yüksek Vakum Kapı Valfi: 2
Turbo moleküler pompa: 2 x 2000L/S
Kök pompası: 1 x 300L/S
Rotary Vanes Pompası: 1 x 90 m3/h + 1 x 48 m3/h
Parça (L x W x H) mm: 3000 * 4000 * 3200
Toplam Güç (KW): 150
Şekil
Yapım tarihi: 2015
Yer: Şangay Üniversitesi, Çin
