PVD Vakum Kaplama Makinesi / Magnetron Püskürtme Kaplama Makinesi, metalurjik pvd kaplama makinesi
Bu makine endüstriyel üretim vakum kaplama sistemine uygundur . Büyük boyutlu düz ark iyonu buharlaşma kaynağı sağlar ve TiN, TiCN, AlTiN ve müşterinin ihtiyaçlarına göre her türlü diğer özel film gibi ark buharlaştırma teknolojisi ile yüksek performanslı sert metal filmi kaplayabilir.
DLC kaplama (elmas benzeri karbon), elmas (SP3) ve grafit (SP2) kombinasyonudur. DLC'nin fiziksel ve kimyasal özellikleri elmas ve grafitin ortasıdır.
Özellikler
MODEL | RTAS1000 | |||||||
TEKNOLOJİ | ark kaplama + magnetron püskürtme + iyon kaynağı | |||||||
ODA MALZEMESİ | Paslanmaz Çelik (S304) | |||||||
ODA BOYUTU | Φ1000 * 1000mm (Y) | |||||||
ODA TİPİ | Normal oktahedron hazne, 2 kapılı | |||||||
DÖNÜŞ RAFI & JİJ SİSTEMİ | 6 (8) uydu, Maks. ağırlık: 400kgs | |||||||
GÜÇ KAYNAKLARI | Adet. Püskürtme: 2 * 24 KW Güç Kaynağının Yanlılığı: Seçenek için 1 * 24W AE güç kaynağı İyon Kaynağı Güç kaynağı 2 set, seçenek için AE güç kaynağı | |||||||
MEVDUAT MALZEMESİ | Ti, Zr, TiAl, Cu, Au | |||||||
MEVDUAT KAYNAĞI | 2 çift (4 adet) Püskürtme Katotları + 6 yay Kaplama Alanı: Dia800mm * H550mm; | |||||||
KONTROL | PLC (Programlanabilir Mantık Denetleyici) + Dokunmatik Ekran (manuel + otomatik + yarı otomatik çalışma modelleri) | |||||||
POMPA SİSTEMİ | Döner Kanatlı Pompa: SV300B - 1 set (Leybold) | |||||||
Kök Pompası: WAU1001-1 set (Leybold) | ||||||||
Tutma Pompası: D60C-1set- (Leybold) | ||||||||
Magnetrik Rotor Süspansiyon Moleküler Pompası: MAG2200 - 2 set (Leybold) | ||||||||
GAZ KİTLE AKIŞ KONTROL CİHAZI | 3 kanal, Made in America (MKS markası) | |||||||
VAKUM MONOMETRESİ | Model: ZDF-X-LE, Çin malı | |||||||
Doğrusal İyon Kaynağı | 2 adet Ön işlem, plazma temizleme + destekli biriktirme | |||||||
GÜVENLİK SİSTEMİ | Operatörleri ve ekipmanları korumak için çok sayıda güvenlik kilidi | |||||||
ISITMA | Isıtıcılar: 20KW. Maks. sıcaklık: 400 ℃ | |||||||
SOĞUTMA | Endüstriyel Soğutucu (Soğuk Su) | |||||||
MAKSİMUM GÜÇ. | 100KW (Yaklaşık) | |||||||
ORTALAMA GÜÇ TÜKETİMİ | 45 KW (Yaklaşık) | |||||||
BRÜT AĞIRLIK | T (Yaklaşık) | |||||||
AYAK BASKI | (L * G * Y) 4000 * 4000 * 4000 MM | |||||||
GÜÇ ELEKTRİK | AC 380V / 3 faz / 50HZ |