Altın, gümüş ve bakır Seramik PVD Sputtering Depolama Makinesi,

Au Gold Sputtering Deposition Equipment, Silver/Gold PVD Deposition Machine, İletici Film PVD Sputtering Sistemi 

Özet:DPC işlemi- Doğrudan Plating Bakır, LED / yarı iletken / elektronik endüstrilerde uygulanan gelişmiş bir kaplama teknolojisidir.Alüminyum oksit (Al2O3) üzerinde kuperi ileten film çökmesi, AlN substratları geleneksel üretimle karşılaştırıldığında PVD vakum püskürtme teknolojisiyle

yöntemleri: DBC LTCC HTCC, çok daha düşük üretim maliyeti yüksek özelliğidir.

Royal teknoloji ekibi müşterimize PVD püskürtme teknolojisiyle DPC işlemini başarılı bir şekilde geliştirmeye yardımcı oldu.

Anahtar kelimeler:Seramik mühürleme parçaları, DPC süreci, Bakır PVD Sputtering sistemi, LED Keramik Çipler Cooper Plating ile, Al₂O.₃, AlN Keramik devreler, Al2O3 plakaları LED üzerinde, Yarım iletkenler

UygulamalarDPC:

· HBLED

· Güneş konsantratör hücreleri için substratlar

· Otomobil motor kontrolü de dahil olmak üzere güç yarı iletken ambalajı

· Hibrit ve elektrikli otomobil güç yönetimi elektronikleri

· RF için paketler

· Mikrodalga cihazları

DPC Teknolojisi Performansı

Çeşitli substrat malzemeleri: Seramik (Al3O2, AlN), Cam ve Si

• Çok daha düşük üretim maliyeti.
• Mükemmel ısı yönetimi ve ısı transferi performansı
• Doğru hizalama ve desen tasarımı
• Güçlü metalleşme yapışkanlığı

Özellikleri:

• Her döngüde 2,2 m2'ye kadar yüksek çaplı seramik substrat;
• Güçlü bir ısıtıcı cihaz ve plazma kaynağı temizlemesi ile güçlü yapışkanlık;
• Kompakt tasarım ve yükseltme ve bakım çalışmaları için kolay erişim.
• Tam otomatik, PLC + dokunmatik ekran, tek dokunmatik kontrol sistemi.
• Yüksek verimlilik, daha az güç tüketimi, üretim maliyetinde en fazla %50 tasarruf.

Teknik özellikler

• Performans

1Son Vakum Basıncı: 9.0*10'dan daha iyi^-5Baba!

• Temel vakum basıncı: 3.0*10^-2Baba.

3. Pompalama Zamanı: atm'den 1.0×10'a^-3Pa≤15 dakika (oda sıcaklığı, kuru, temiz ve boş oda)

4Depozisyon kaynağı: Gencoa magnetron püskürtürme katotlar, yönlendirilmiş yay katotlar, iyon kaynağı

5İşlem modeli: Tam otomatik / Yarım otomatik / El ile

6Isıtma: oda sıcaklığından en fazla 500°C'ye kadar,

9PECVD ve PA PVD işlemleri için iyon kaynağı.

• Yapı

Vakum kaplama makinesi aşağıda listelenen anahtar tamamlanmış sistemi içerir:

1Vakum odası.

1.1 Boyut: İç çapı: 1200 mm

İç yüksekliği: 1500 mm

1.2 Malzeme: Vakum odası SUS304

Kapı ve flensler SUS304

Oda güçlendirme yapısı: SS41 hafif çelik, boyalı bitirme yüzey işlemi ile.

Oda şasi SS41, boyalı bitirme yüzey işlemi ile hafif çelik.

1.3 Oda Kalkanı: SUS304

1.4 Pencere: 2 kapıda

1.5 Vakum Odası Havalandırma Valfi (sessizleyici dahil)

1.6 Kapı: SUS304 malzemesi

2- Sıfır.GingVakum pompalama sistemi:

Yağ döner yelkenli vakum pompası + tutma pompası
 

3Yüksek vakum pompalama sistemi: Manyetik asılılıklı moleküler pompa - 2 set

4Elektrikli Kontrol ve İşletim Sistemi- PLC + Dokunmatik Ekran İşletim Sistemi:

Tedarikçiler:

PLC: Mitsubishi + Dokunmatik Ekran (Çin'de yapıldı)

Elektronik bileşenler: Schneider, OMRON.

Güvenlik Koruma Sistemi:Operatörleri ve ekipmanları (su, gaz akımı, sıcaklık vb.) korumak için sayısız güvenlik kilitleri

Kaplama Süreçleri SistemiSüreç Otomasyon ve Kontrol.

4.1 Ana devre: Sigorta olmayan kesiciler, elektromanyetik anahtarlar, seri tipinde C/T

4.2 Güç kaynağı: DC/MF püskürtme gücü + DC Arc gücü + Bias Güç kaynağı

4.3 Depozisyon kontrol sistemi

4.4 Çalışma sistemi: Dokunmatik ekran + PLC, tarif kontrolü ve veri kaydı, Otomatik kapatma, Otomatik tahliye, Otomatik kaplama

4.5 Ölçüm Sistemi

Vakum basıncı: Vakum ölçer: Pirani + Penning ölçer + Tam yelpazede vakum ölçer -- Avrupa markası

Sıcaklık ölçüm cihazı: Termokop
MFC: Kütle Akış Kontrolörü (4 yol ),

4.6 Alarm sistemi: basınçlı hava basıncı, soğutma suyu akışı, yanlış çalışması

4.7 Güç yükü göstergesi: Voltaj göstergesi ve yük akımı göstergesi

5Depolama Sistemi

5.1 Depozisyon kaynağı: Sputtering katotlar + Yay kaynakları + İyon kaynağı

5.2 Depozisyon malzemesi: Bakır, Alüminyum, Krom, Gümüş, Altın, SS, Titanyum vb.
 

6.Alt Sistemi

6.1 Sıkıştırılmış hava valf kontrol sistemi

6.2 Soğutma Su Sistemi:Su akış borusu ve anahtar valf sistemi

7Çalışma ortamı

Sıkıştırılmış hava: 5~8kg/cm2

Soğutma suyu: Suya girme sıcaklığı: 20 ~ 25 °C, 200 litre/dakika,
Su basıncı: 2~3 kg/cm2,

Güç: 3 Faz 380V 50Hz ((60Hz), 130kVA, ortalama güç tüketimi: 60KW

Kurulum alanı: (L*W*H) 4400*3200*2950mm

Egzoz: Mekanik pompalar için havalandırma

Daha fazla bilgi için lütfen bizimle iletişime geçin. Royal Teknoloji size tam kaplama çözümleri sunmaktan onur duyuyor.