Hidrofobik Kompozisyon Filmi, PECVD Püskürtme Makinesi İçin Yüksek Yoğunluklu Magnetron Püskürtme Kaplama Sistemi

Uygulamalar:

RTSP1213 makinesi bir parti modeli püskürtme sistemidir, metalik ve metalik olmayan malzeme yüzeyleri üzerinde çeşitli sert kaplamalar, yumuşak kaplamalar, bileşik filmler ve katı yağlama filmleri biriktirebilir. Hidrojen Yakıt Hücresi araçları, fotonik ürünleri, havacılık ve diğer yeni enerji endüstrileri endüstrilerine uygulanır.

Özellikleri:

Yüzeyin iletkenliğini geliştirmek için;

Yüksek korozyon direnci;

Yüksek aşınma direnci;

Yüksek sertlik

Hidrofobik kompozisyon filmi ve diğer fonksiyonel filmler

Bileşik kaplamalar için kullanılabilir: metalik ve metalik olmayan filmler.

Film kalınlığı 100nm ila 12μm arasında değişir, kalınlık toleransı ±% 5
Güçlü yapışma.

Düşük temperleme parçaları yüzey sertleştirme işlemi.

Tür:

Dikey yönlendirme, polyhedron yapısı, 2 kapılı (ön ve arka)

Özellikler:

• Çevre dostu sistem, endüstriyel atık su, hava ve ses kirliliği;
• Kolay Kullanım: Dokunmatik ekran + PLC kontrolü ve tek dokunuşlu işlem için benzersiz bir yazılım programı,% 80'den fazla sorun giderme alarmı.
• En fazla 10 işleme tarifleri giriş ve yedekleme; yüksek tekrarlanabilirlik ve çeşitlilik.
• Film biriktirme yüksek homojenliği için özel tasarım Carousel sistemi.
• Yüksek verimlilik ve yüksek kalite
• 365 gün * 24 saat çalışan, güvenilir ve güvenilir bir sistem (bakım ve onarım mola süresi)
• Verimli pompalama sistemi: İyi bilinen Avrupa marka pompalarla maksimum borulama hızı için daha kısa vakum boru hatları
• Kompakt tasarım, minimum kurulum alanını kaplar.

Teknik özellikler

• performans

1. Ultimate Vakum Basıncı: 8.0 * 10 ^-5 Pa'dan daha iyi;

• Baz Vakum basıncı: 3.0 * 10 ^{- 4} Pa

3. Pompalama zamanı: atm ila 1,0 × 10 ^{- 3} Pa≤15 dakika (oda sıcaklığı, kuru, temiz ve boş oda)

4. Biriktirme kaynağı: dengeli / dengesiz püskürtmeli katotlar

5. Çalışma Modeli: Tam Otomatik / Yarı Otomatik / Manuel

6. Isıtma: oda sıcaklığından maks. 450 ℃,

7. Plazma temizleme ve Plazma yardımcı biriktirme: Anot Lineer İyon Kaynağı

8. Manyetik Kapalı - Döngü dosyalandı. (Dengesizlik / denge katotları)

9. Kızdırma boşaltma için Önyargı Güç kaynağı.

• yapı

Vakum kaplama makinesi, aşağıda listelenen anahtar tamamlanmış sistemi içerir:

1. Vakum Odası
1.1 Boyutu: İç Çap 1200mm

Iç yükseklik: 1300mm

1.2 Malzeme: Vakum Odası SUS304

Kapı ve flanşlar SUS304

Odası güçlendirmek yapısı: boyalı kaplama yüzey işleme ile SS41 hafif çelik.

Odacıklı şasi SS41 hafif çelik boyalı yüzey işlemesi ile.

1.3 Sıçrama Kalkanı: SUS304

1.4 Görünüm Penceresi: odacık kapısında - 4 set (her kapıda 2)

1.5 Vakum Odası Havalandırma Vanası (susturucu dahil)

1.6 Kapı: SUS304 malzemesi

2. Rou ghing Vakum Pompalama Sistemi :

Yağ döner kanatlı vakum pompası + Kökler pompa + Holding Pompası (Leybold)

3. Yüksek Vakum Pompalama Sistemi :

Manyetik Süspansiyon Moleküler Pompası (Leybold)

• Kapı vanaları - 2 takım

4. Elektrik Kontrol ve İşletim Sistemi - PLC + Dokunmatik Ekran

4.1 Ana devre: Yok tip sigorta şalteri, elektromanyetik şalter, seri tip C / T

4.2 Sıçrama Güç Kaynağı + İyon kaynağı güç kaynağı + Önyargı Güç Kaynağı (Gelişmiş Enerji)

4.3 Serpme biriktirme kontrol sistemi

4.4 İşletim Sistemi: Dokunmatik Ekran + PLC, reçete kontrolü ve veri kaydı, Otomatik kapanma, otomatik tahliye, otomatik kaplama

4.5 Ölçme Sistemi

Vakum Basıncı: Vakum Ölçer: Pirani + Penning ölçer + Tam aralıklı vakum ölçer - Avrupa markası

Sıcaklık ölçüm cihazı: Termokupl
MFC: Kütle Akış Denetleyicisi (4 yol), dijital ekran modu - Avrupa markası

4.6 Alarm Sistemi: Basınçlı hava basıncı, Soğutma suyu akışı, Yanlış kullanım

4.7 Güç Yük Göstergesi: Gerilim göstergesi ve yük akımı göstergesi

5 . Biriktirme Sistemi

5.1 Depozisyon kaynağı: Sputtering katotları, İyon kaynağı - Avrupa markası

5.2 Biriktirme malzemesi: Karbon hedef

6. Alt Sistem

6.1 Hava Sıkıştırmalı Valf Kontrol Sistemi

6.2 Soğutma Suyu Sistemi: Su akış borusu ve anahtar vana sistemi

7. çalışma ortamı

Sıkıştırılmış Hava: 5 ~ 8kg / cm2

Soğutma Suyu: Su İçinde Sıcaklık: 20 ~ 25 ℃, 200 Litre / dak,
Su-In Basıncı: 2 ~ 3 kg / cm2,

Güç: 3 Faz 380V 50Hz (60Hz), 75kVA, ortalama güç tüketimi: 40KW

Kurulum Alanı: (L * W * H) 3000 * 4000 * 3200mm

Egzoz: Mekanik pompalar için havalandırma

Daha fazla özellik için lütfen bizimle iletişime geçin, Royal Technology size toplam kaplama çözümleri sunmaktan onur duyar.