Yüksek Performanslı Vakumlu Metal Biriktirme Ekipmanı, Termal Pota ile CsI vakumlu metalleştirici
Anahtar Kelimeler: yüksek çözünürlük, CsI: T1;ince sintilatör filmler;X-ışını görüntüleme;vakum biriktirme yöntemi, biriktirme sonrası karbon tabakası
X-ray Görüntüleme cihazları için CsI ince film biriktirme, yüksek kalitede görüntüleme sağlamak için ekrandaki CsI'yi buharlaştırmaya yönelik gelişmiş bir tekniktir.Yüksek çözünürlük performansı ile güvenlik kontrolü ve denetimi, yüksek enerji fiziği konuları, nükleer enerji alanlarının fiziği vb. alanlarda da yaygın olarak kullanılmaktadır.
RTEP0913 termal buharlaştırma kaplama sistemi, yüksek vakumlu basınç ortamında X-ray görüntülemede CsI film biriktirme için geliştirilmiştir.Kalınlığı 2 μm ila 14 μm arasında değişen CsI T1 sintilatörleri.Karbon tabakası filmi, yüksek çözünürlükleri iyileştirmek için biriktirme sonrası olarak düşünülebilir.
sezyum iyodür (CSI T1) Vakum biriktirme verim ve karakterizasyonları
Tip:
benDikey yönlendirme, Silindir, 1 kapılı, önden açılır.
TasarımÖzellikleri:
benUltra yüksek nihai vakum basıncı: 9.0*10'a kadar-5Pa;
benİyi bir yapışma için hızlı ısıtma cihazları;
ben Tehlikeli materyallerden kaçınmak için uygun yüksek vakum pompası seçimi ve pompalama sistemi havada maruz;
benSağlam, kompakt ve sağlam kaplama sistemi;
benYüksek stabilite, 960 saat kesintisiz çalışma.
benInficon Film Kalınlığı Kontrol Cihazı, film kalınlığını satır içi olarak izlemek için.
benCsI biriktirme için özel pota tasarımı ve seçimi.
benYüzey kaplama, maks.boyut: 500*500mm
benGelişmiş raf tasarımı konseptleri, parti başına 2 parça alt tabaka yükleyebilir ve üretim çıktısını büyük ölçüde iyileştirebilir.
Teknik özellikler:
benVerim
1.Nihai Vakum Baskı yapmak: daha iyi 9.0*10-5Pa;
2.Çalışma Vakum Basıncı: 6.0*10-4baba~9.0*10-4Pa;
Baz Vakum basıncı: 3.0*10-4baba
3. Pompalama aşağı Zaman: 1 atm'den 2.0×10-3 baba≤25dakika (oda sıcaklığı, kuru, temiz ve boş hazne)
4. Biriktirme kaynağı: kuvars pota termal buharlaşma
5. Çalışma Modeli:Tam otomatikotomatik olarak /Yarı Otomatik/ Manuel
6. Isıtma: oda sıcaklığından maks.1000 ℃,
TFT cam alt tabaka ısınma süresi: 0~250℃<40dakika;
7. CsI biriktirme oranı: 0~100nm/sn
8. CsI: T1 film kalınlığı: 600μm'ye kadar
benYapı
Vakum kaplama makinesi, aşağıda listelenen anahtar tamamlanmış sistemi içerir:
1. Vakum Odası
1.1 Boyut: İç Çap 900mm
İç Yükseklik: 1300mm
1.2Malzeme: Vakum Odası SUS304
Kapı ve flanşlar SUS304
Oda güçlendirme yapısı: SS41 yumuşak çelik, boyalı yüzey işlemeli.
Gövde kasası SS41 yumuşak çelik, boyalı yüzey işlemeli.
1.3 Buharlaşma Şalan: SUS304
1.4 Görünüm Penceresi: üzerindeoda kapısı
1.5 Vakum Odası Havalandırma Valfi (susturucu dahil)
1.6 Kapı: SUS304 malzemesi
2. Rouhırıltı Vakum Pompalama Sistemi:
Yağ döner kanatlı vakum pompası + kök pompası (Almanya Pfeiffer)
3.Yüksek Vakum Pompalama Sistemi:
Manyetik Süspansiyonlu Moleküler Pompa ( Almanya Pfeiffer )
4. Elektrik Kontrol ve İşletim Sistemi- PLC+ Dokunmatik Ekran
4,1 milyonain devresi: Sigortasız kesici şalter, elektromanyetikdeğiştirmek, Seri tipte C/T
4.2 Buharlaşma Gücü
4.3 Buharlaşma Kontrol Sistemi
4.4İşletim Sistemi: Dokunmatik Ekran +PLC, reçete kontrolü ve veri kaydı, Otomatik kapanma, otomatik tahliye, otomatik kaplama
4.5 ölçüm sistem
Vakum basıncı : Vakum monometresi: Pirani + Penning göstergesi + Tam aralıklı vakum ölçer
Sıcaklık ölçüm cihazı: Termokupl
Film kalınlığı kontrolörü: Inficon marka, SQC-310
4.6 Alarm Sistemi: Basınçlı hava basıncı , Soğutma suyu akışı, Bayan-operasyon
4.7 Güç Yük Göstergesi: Gerilim göstergesi ve yük akımı göstergesi
5.Biriktirme Sistemi
5.1 Biriktirme kaynağı: kuvars pota
5.2 Biriktirme malzemesi: CsI, Karbon
6. Alt Sistem
6.1 Hava Basınçlı Valf Kontrol Sistemi
6.2 Soğutma Suyu Sistemi: Su akış borusu ve şalter valf sistemi
Çalışma ortamı
Basınçlı Hava: 5~8kg/cm2
Soğutma Suyu: Su Girişi Sıcaklığı: 20~25℃, 200 Litre/dk,
Su Giriş Basıncı: 2~3 kg/cm2,
Güç: 3 Faz 380V 50Hz(60Hz), 65kVA, ortalama güç tüketimi: 30KW
Kurulum Alanı: (L*W*H) 3000*200*2300mm
Egzoz: Havalandırma mekanik pompas
Daha fazla özellik için lütfen bizimle iletişime geçin, Royal Technology size toplam kaplama çözümleri sunmaktan onur duyar.
