Orta Frekans Magnetron Püskürtme Kaplama Makinesi / MF Püskürtme Sistemi
Magnetron Püskürtmeli Vakum Kaplama, PVD İyon Kaplama yüzey işlem maddesinin bir türüdür. Birçok malzeme üzerinde iletken veya iletken olmayan filmlerin üretimi için kullanılabilir: metaller, cam, seramik, plastik, metal alaşımı. Püskürtme biriktirme konsepti: kaplama malzemesi (katot adı da verilir) ve iş parçaları (substratlar, anot olarak da adlandırılır) vakum odacığına yerleştirilir ve basınç azaltılır. Püskürtme, hedefi bir gerilim farkı altına yerleştirerek ve argon iyonlarını (glow deşarjı) oluşturan Argon gazı vermek suretiyle başlatılır. Argon iyonları işlem hedefine doğru ivme kazanır ve hedef atomları yerlerine alır. Bu püskürtme atomları daha sonra alt katman üzerinde yoğuşturulur ve çok ince ve yüksek düzgünlük tabakası oluştururlar. Kaplama işlemi sırasında, azot, oksijen veya asetilen gibi reaktif gazları yüksek püskürtme gazına sokarak çeşitli renkler elde edilebilir.
Magnetron Püskürtme Modelleri: DC Sputtering, MF Sputtering, RF Sputtering
MF Sputtering nedir?
DC ve RF püskürtme ile karşılaştırıldığında, Orta Frekanslı püskürtme, özellikle optik kaplamalar, güneş panelleri, çok katmanlı yüzeyler gibi dielektrik ve iletken olmayan film kaplamalarının film biriktirilmesi için, kaplamanın seri üretimi için ana ince bir film püskürtme tekniği haline geldi. , kompozit malzeme filmi vb.
Çok daha hızlı bir birikim oranı için MHz yerine kHz ile çalıştırıldığı için RF fışkırtmanın yerini alıyor ve ayrıca DC gibi bileşik ince film birikimi sırasında Hedef zehirlenmeyi önleyebiliyor.
MF püskürtme hedefleri daima iki takımla varoldu. İki katot, plazma içine damla damla köpürtülebilen ve üniform ince film büyümesini önleyebilen arkleşmeye yol açan dielektrikler üzerindeki şarj oluşumunu azaltmak için her dönüş ile hedef yüzeyini temizleyen AC akım ile birlikte kullanılır hedef zehirlenme adı da buydu.
MF Püskürtme Sistemi Performansı
1. Ultimate Vakum Basıncı: 5.0 × 10 - 6 Torr'dan daha iyi.
2. Çalışma Vakum Basıncı: 1.0 × 10 - 4 Torr.
3. Pompalama Süresi: 1 atm'den 1.0 × 10 - 4 Torr ≤ 3 dakika (oda sıcaklığı, kuru, temiz ve boş oda)
4. Metalleştirme malzemesi (püskürtme + ark buharlaştırma): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, TiN, TiC, TiAlN, CrN, CrC, vs.
5. Çalışma Modeli: Tam Otomatik / Yarı Otomatik / Manuel
MF Püskürtme Sistemi Yapısı
Vakum kaplama makinesi aşağıda listelenen anahtar teslim sistemi içerir:
1. Vakum Odası
2. İlerleyen Vakum Pompa Sistemi (Destek Pompası Paketi)
3. Yüksek Vakum Pompalama Sistemi (Manyetik Süspansiyon Moleküler Pompa)
4. Elektriksel Kontrol ve Çalışma Sistemi
5. Yardımcı Tesis Sistemi (Alt Sistem)
6. Biriktirme Sistemi: MF sputtering katot, MF güç kaynağı, Bias Güç Kaynağı İsteğe bağlı iyon kaynağı
MF Püskürtme Sistemi RTSP1212-MF Özellikler
| MODEL | RTSP1212-MF | ||||||
| TEKNOLOJİ | MF Magnetron Püskürtme + İyon Kaplama | ||||||
| MALZEME | Paslanmaz Çelik (S304) | ||||||
| ODALI BOYUT | Φ1250 * H1250mm | ||||||
| ODA TİPİ | Silindir, dikey, 1 kapılı | ||||||
| YILDIZ ISITMA SİSTEMİ | İnce siyah film birikimi için özel tasarım | ||||||
| YERLEŞME MALZEMESİ | Alüminyum, Gümüş, Bakır, Krom, Paslanmaz Çelik, Nikel | ||||||
| ÖĞRETİM KAYNAKLARI | 2 takım MF Silindirik Püskürtme Hedefleri + 8 Yönlü Katodik Ark Kaynağı | ||||||
| GAZ | MFC-4 yolu, Ar, N2, O2, C2H2 | ||||||
| KONTROL | PLC (Programlanabilir Lojik Kontrol Cihazı) + | ||||||
| POMPA SİSTEMİ | SV300B - 1 set (Leybold) | ||||||
| WAU1001 - 1 setler (Leybold) | |||||||
| D60T-2 setleri (Leybold) | |||||||
| Turbo Moleküler Pompalar: 2 * F-400/3500 | |||||||
| ÖN ARITMA | Önyargı güç kaynağı: 1 * 36 KW | ||||||
| GÜVENLİK SİSTEMİ | Operatörleri korumak için çok sayıda güvenlik kilitleri | ||||||
| SOĞUTMA | Soğuk su | ||||||
| GÜÇ ELEKTRİKLİ | 480V / 3 faz / 60HZ (ABD uyumlu) | ||||||
| 460V / 3 faz / 50HZ (Asya uyumlu) | |||||||
| 380V / 3 faz / 50HZ (EU-CE uyumlu) | |||||||
| AYAK İZİ | L3000 * W3000 * H2000mm | ||||||
| TOPLAM AĞIRLIK | 7.0 T | ||||||
| AYAK İZİ | (L * G * Y) 5000 * 4000 * 4000 MM | ||||||
| DEVİR SÜRESİ | 30 ~ 40 dakika (tabaka malzemesine bağlı olarak, alt tabaka geometrisi ve çevresel koşullar) | ||||||
| MAKSİMUM GÜÇ.. | 155 KW | ||||||
ORTALAMA GÜÇ TÜKETİM (YÜRÜRLÜK) | 75 KW |
Seçiminiz için daha fazla modelimiz var!
Daha fazla özellik için lütfen bizimle iletişime geçin, Royal Technology size toplam kaplama özümleri sunmaktan onur duyar.
