ITO Film Kaplama Makinesi, Banyo Tipi ITO Film Magnetron Sputtering Coater / Cam ITO Depozisyon Makinesi
ITO Film Kaplama MakinesiStandart uygulama: PET, cam, ITO kaplama katmanları oluşturmak için.
Makine Yapım Zamanı: 2012, Çin.
Uygulama: AR filmi, ITO filmi.
Çalışma parçaları:
Boyut: 300mm*100mm
PET kalınlığı: 0.175mm+/-0.05mm
* ITO Filminin kalınlığı:185nm+/-5nm
Yaprak direnci: 6~8ohm/sq
ITO Film Kaplama MakinesiTeknik yapılandırmalar:
1) DC Sputtering Kaynakları: Cu, Al, ITO
2) MF Sputtering Kaynakları
3) Turbo Moleküler pompa + Destek Pompa grubu
4) ITO film kalitesini iyileştirmek için yüksek yoğunluklu manyetik alan, hedef kullanım oranı > 30%
5) Cu, Al, Si kullanım oranı hedefleri > 35%
6) Depozisyon Hızı: 30nm m/min ~ 40nm m/min
7) Sputtering Tekdüzelik Alanı: 350mm
Daha fazla bilgi için lütfen bizimle iletişime geçin. Royal Teknoloji size tam kaplama çözümleri sunmaktan onur duyuyor.
