Indium-Tin-Oksit kaplama,Yüksek Kaliteli PET Substratlar Üzerine ITO-Kaplamalar, ITO Düşün Film Vakum Kaplama Ekipmanı
PET ITO İnce Film Vakum Kaplama Ekipmanı, cam ve PET malzemelerinde yüksek şeffaf ITO filmi üretmek için magentron püskürtme teknolojisi ile.
PET ITO İnce Film Vakum Kaplama Ekipmanı Standart uygulama: PET, yüksek kaliteli bir cam substrat, elektronik ekran, ITO kaplı mikroskop slaytı, Şeffaf koruyucu cam, iletken cam, çözme filmi, buz çözme filmi kaplama,
PET ITO İnce Film Vakum KaplamaEkipman yapılandırmaları:
1) DC Sputtering Kaynakları: Cu, Al, ITO
2) MF Sputtering Kaynakları
3) Turbo Moleküler pompa + Destek Pompa grubu
4) ITO film kalitesini iyileştirmek için yüksek yoğunluklu manyetik alan, hedef kullanım oranı > 30%
5) Cu, Al, Si kullanım oranı hedefleri > 35%
6) Depozisyon Hızı: 30nm m/min ~ 40nm m/min
7) Sputtering Tekdüzelik Alanı: 350mm
PET ITO İnce Film Vakum KaplamaEkipmanStandart Spesifikasyonlar
| Model | Boyut ((mm) | Substrate Jigs (Qty) |
Çöplükleme Güç ((kVA) |
Çöplükleme Hedefler (Qty.) |
Çöplükleme Katod |
MFC | Not: |
| MSC800 | Φ800xH800 | 1 | 2*50 DC | 4 | Silindir | 3 | ITO kaplama |
| MSC1616 | Φ1600xH1600 | 6,8 | 2*36 DC | 2 | Dikdörtgen | 2 | 2 kapılı |
PET ITO İnce Film Vakum KaplamaEkipmanKaplama Örnekleri
Daha fazla bilgi için lütfen bizimle iletişime geçin. Royal Teknoloji size tam kaplama çözümleri sunmaktan onur duyuyor.
