ITO Roll to Roll Sputtering Vakum Web Kaplama Makinesi / PET Film PVD Sputtering Makinesi
Çok katmanlı depolama gereksinimlerinizi karşılamak için MultiWeb Serisi Roll to Roll Vacuum Sputtering Web Coater'ımızı sunmaktan mutluluk duyuyoruz.
MultiWeb Kaplama aşağıdaki temel özellikleri sağlar:
A. Çeşitli çökme kaynaklarını barındırmak için çok basınçlı bölgelere bölünmüş bir oda.
B. Çok katmanlı kaplama için tek bir ağ geçişinde birden fazla kaynaklı eşzamanlı depolama yetenekleri.
C. Dönüştürülebilir web sarma yönü, vakumu kırmadan sınırsız katmanların çökmesini sağlar.
D. Düzleştirme kaybı olmadan çoklu geçişlere izin vermek için kenar kılavuzlu hassas ağ işleme mekanizmaları (ihtiyaçlı)
E. Çoklu web hızlarının doğru kontrolü için AC Invert web sürücü sistemi.
F. Depozisyon kalınlığını ve tekdüzeliğini kontrol etmek için, hat içi optik ve/veya direnç kalınlığı izleme sistemleri (ihtiyaçsız)
G. Oda, daha derin vakumu sağlamak için düşük gazlama bileşenleri ile SUS304L paslanmazdan yapılmıştır.
H. Turbo-moleküler pompa ve düşük sıcaklıklı kriyogenik bir kombinasyonla, nem veya yağ kirliliği olmadan temiz bir vakum sağlamak için vakum pompalama.
ITO Ruloya Rulo Sputtering Vakum Web Kaplama Makinesi
1Substrat malzemesi: PET, PEN, PES, PI, PC, PA,... Filmler
2Substrat kalınlığı: 15~300μm
3Depozisyon yöntemleri: SiO2 ((Dielectric) için AC Reaktif; ITO (Metal & İletken) için Pulsed DC
4Oksit ileticisi TCO: ITO, AZO, IZO...
5Metal iletken: Al, Cu, Mo, Ag...
6Optik film: Ta2O5, Nb2O5, SiO2, TiO2...
7Yarım iletken: ZnO, InGaZnO...
8İzolatör: SiO2, SiNx, AlOx, AlNx...
9Tekdüzelik: %5
ITO Roll to Roll Sputtering Vacuum Web Coating Machine Açıklama
| Genel özellikler | |||||||
| Vakum oda gövdesinde: tek odalı çok basınçlı bölgeler | |||||||
| Hareketli vagonlar: Web vagonları | |||||||
| Depozisyon Bölgesi: 2 X Sputtering Bölgesi (Farklı: 3 Sputtering Bölgesi) | |||||||
| Sputtering Kaynağı: 2 X Çift Katot Sputter Kaynağı (Önerilmez: 3 Çift Katot Sputter Kaynağı) | |||||||
| Substrat önceden işlemci: Doğrusal iyon kaynağı | |||||||
| Ağ genişliği: 1300mm | |||||||
| Dönüştürme çapı: Φ600mm Max | |||||||
| Dönüşüm Yönü: İki yönlü | |||||||
| Substrat kalınlığı: 15 ~ 300μm | |||||||
| Web hattı hızı:0.5~10M/min | |||||||
| Web gerilimi: 5.0PLI Max 0.5PLI Min | |||||||
| Web hizalanması: ±3mm (bir geçiş) | |||||||
| Yüksek vakum pompası: Turbo pompası | |||||||
| Kaba Vakum Pompası: Kuru pompa ve Blower kombinasyonu | |||||||
| Nem pompası: Polikold Kriyojenik | |||||||
| Depozisyon Kalınlığı Kontrolü: İzleme (Farklı) | |||||||
| a: Optik iletim; b: Eddy Akım Direnişi | |||||||
| Sistem İşlemi: PLC tabanlı bilgisayar sistemi işlemi |
Daha fazla bilgi için lütfen bizimle iletişime geçin. Royal Teknoloji size tam kaplama çözümleri sunmaktan onur duyuyor.
