Seramik Yayılan Cooper Püskürtme Sistemi / Bakır Püskürtme Ekipmanını Doğrudan Kaplama Seramik Cipsler
Cooper Magnetron Seramik Yayılan Yüzey Üzerine Püskürtme Kaplama Tesisi
DPC süreci - Doğrudan Kaplama Bakır, LED / yarı iletken / elektronik endüstrileriyle uygulanan gelişmiş bir kaplama teknolojisidir.Tipik bir uygulama Seramik Yayılan Substrattır.
PVD vakumlu püskürtme teknolojisi ile Al2O3, AlN, Si, Cam yüzeyler üzerine Cooper iletken film biriktirme, geleneksel üretim yöntemlerine kıyasla: DBC LTCC HTCC, özellikler:
1. Çok daha düşük üretim maliyeti.
2. Olağanüstü ısı yönetimi ve ısı transferi performansı
3. Doğru hizalama ve desen tasarımı,
4. Yüksek devre yoğunluğu
5. İyi yapışma ve lehimlenebilirlik
Royal teknoloji ekibi, müşterimize DPC sürecini PVD püskürtme teknolojisiyle başarılı bir şekilde geliştirmesi için yardımcı oldu.
Gelişmiş performansı nedeniyle, DPC substratları çeşitli uygulamalarda yaygın olarak kullanılmaktadır:
Yüksek olması nedeniyle uzun ömür süresini uzatmak için yüksek parlaklıkta LED Isı radyasyonu performans, Yarı iletken ekipman, mikrodalga kablosuz iletişim, askeri elektronik, çeşitli sensör yüzeyleri, havacılık, demiryolu taşımacılığı, elektrik gücü vb.
RTAC1215-SP ekipmanı, substratlar üzerinde bakır tabakasını alan DPC işlemi için özel olarak tasarlanmıştır.Bu ekipman, yüksek vakum ortamında yüksek yoğunluk, yüksek aşınma direnci, yüksek sertlik ve güçlü bağlama ile ideal filmi elde etmek için çok arklı iyon kaplama ve magnetron püskürtme teknikleriyle PVD fiziksel buhar biriktirme prensibini kullanır.Dinlenme DPC süreci için çok önemli bir adımdır.
Bakır Püskürtme Kaplama Makinesi Temel Özellikler
1. 8 yönlendirmeli ark katodu ve DC Püskürtme Katotları, MF Püskürtme Katotları, İyon kaynağı ünitesi ile donatılmıştır.
2. Çok katmanlı ve birlikte biriktirme kaplaması mevcuttur
3. Plazma temizleme ön işlemi için iyon kaynağı ve film yapışmasını artırmak için iyon ışını destekli biriktirme.
4. Seramik / Al2O3 / AlN substratlar ısıtma ünitesi;
5. 1 taraflı kaplama ve 2 taraflı kaplama için alt tabaka döndürme ve devir sistemi.
Bakır Püskürtme Kaplama Makinesi Özellikleri
Verim
1. Nihai Vakum Basıncı: 5.0 × 10'dan daha iyi-6 Torr.
2. Çalışma Vakum Basıncı: 1.0 × 10-4 Torr.
3. Pompalama Süresi: 1 atm'den 1,0 × 10'a-4 Torr≤ 3 dakika (oda sıcaklığında, kuru, temiz ve boş hazne)
4. Metalleştirme malzemesi (püskürtme + Ark buharlaşması): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr vb.
5. Çalışma Modeli: Tam Otomatik / Yarı Otomatik / Manuel
Yapısı
Vakumlu kaplama makinesi, aşağıda listelenen anahtar tamamlanmış sistemi içerir:
1. Vakum Odası
2. Yönlendirmeli Vakum Pompalama Sistemi (Yedek Pompa Paketi)
3. Yüksek Vakumlu Pompalama Sistemi (Manyetik Süspansiyonlu Moleküler Pompa)
4. Elektrik Kontrol ve İşletim Sistemi
5. Yardımcı Tesis Sistemi (Alt Sistem)
6. Biriktirme Sistemi
Al2O3, Bakır Kaplama Örnekleriyle AlN substratları
Daha fazla özellik için lütfen bizimle iletişime geçin, Royal Technology size eksiksiz kaplama çözümleri sunmaktan onur duyar.
