December 11, 2017
Genel bilgi
1. kaplama işlemi, biriktirme filminin bileşimi ve özelliklerini değiştirmek ve kontrol etmek için biriktirme filminin eşzamanlı veya periyodik enerjik parçacık bombardımanı kullanır.
Depolama malzemesi ya buharlaştırma, püskürtme, ark buharlaştırma ya da diğer buharlaştırma kaynağı ile buharlaştırılabilir.
3. Bombardıman için kullanılan enerjik parçacıklar genellikle atıl veya reaktif bir gazın iyonları veya biriktirici maddenin iyonlarıdır (film iyonları).
4. İyon kaplama, bombardıman için iyonların plazmadan çıkarıldığı bir plazma ortamında yapılabilir
İyon Kaplamanın Avantajları
1. Enerjik parçacık bombardımanı ile biriken filmin yüzeyine önemli enerji verilir.
2. Yüzey kapsamı, gaz saçılması ve "püskürterek yeniden biriktirme" etkileri nedeniyle vakum buharlaştırma ve püskürtme biriktirme üzerinde geliştirilebilir.
3. Kontrollü bombardıman, yapışma, yoğunluk, artık film stres, optik özellikler gibi film özelliklerini değiştirmek için kullanılabilir.
4. Film özellikleri, gaz dağılımı, "püskürtme / yeniden biriktirme" ve "atomik vurma" etkilerine bağlı olarak püskürtme biriktirme ve vakumla buharlaştırmayla karşılaştırıldığında, biriktirme malzemesinin akışının "oluşma açısı" na daha az bağımlıdır.
5. Bombardıman, "bombardıman-arttırılmış kimyasal reaksiyonlar" ile film maddesinin kimyasal bileşimini iyileştirmek ve büyümekte olan yüzeyden reaksiyona girmemiş türlerin püskürtülmesi için kullanılabilir.
6. Bazı uygulamalarda, plazma reaktif türlerin "etkinleştirilmesi" için kullanılabilir ve reaktif çökelme sürecine (reaktif iyon kaplama) yardımcı olmak için daha kolay emilen yeni kimyasal türler yaratabilir.
İyon Kaplamanın Dezavantajları
1. Kontrol etmek için birçok işleme değişkeni vardır.
2. Yüzey üzerinde film mülkiyetinde değişikliklere neden olan, substrat yüzeyi üzerinde düzgün iyon bombardımanı elde etmek genellikle zordur.
3. Yüzey ısıtması aşırı olabilir.
4. Bazı koşullar altında bombardıman gazı büyüyen film içine dahil edilebilir.
5. Bazı koşullar altında, bombardıman tarafından aşırı gergin basınç filmi gerilmesi meydana gelebilir.
6. İyon kaplama, bileşik materyallerin katı kaplamalarını, yapışkan metal kaplamaları, yüksek yoğunluklu optik kaplamaları ve kompleks yüzeylerde konformal kaplamaları biriktirmek için kullanılır.
7. Kaplama yüzeyini etkileyebilecek damlacıklar.
