Kapalı alan dengesiz magnetron püskürtmeli biriktirme sistemi, Dengesiz Magnetron Püskürtme İyon Kaplama
Dengesiz ve kapalı alan magnetron süreçleri, düzlemsel magnetronların tüm avantajlarına sahiptir.Ek avantajlar ve dezavantajlar şunlardır:
Dengesiz ve kapalı alan magnetron püskürtme, magnetron püskürtme süreçleriyle elde edilebilen devrim niteliğinde özellikler.Geliştirilmiş ince film tribolojik, korozyon direnci ve optik özellikleri ile bu teknoloji ne kadar başarılı olursa olsun, magnetron teknolojisindeki gelişmeler daha yeni başlamıştı.Sonraki Blog Döner ve silindirik magnetron işlemlerine ve bunun sonucunda ortaya çıkan ince film uygulamalarına geçiyoruz.
--- Yukarıdaki MakaledenPETE R MARTIN
Kraliyet teknolojisi, özellikle nadir ve pahalı metallerin püskürtülmesi için yüksek verimli ve yüksek hedef kullanımlı püskürtme katotları geliştirdi: Au Gold, Ta Tantalum, Ag gümüş metal filmleri biriktirme.Yüksek tekdüzelikli filmin biriktirme sistemi, Elektronik parçalar, yüksek film tekdüzeliği gerektiren tıbbi alet bileşenleri, çoklu katman biriktirme gibi çeşitli endüstrilere hizmet vermektedir.
RTSP1000 makinesi, Royal teknolojisi tarafından geliştirilmiş standart bir makinedir.Kesme/şekillendirme aletleri, kalıplar, tıbbi aletler, elektronik bileşenler, otomotiv endüstrileri ile kapsamlı olarak uygulanır.
RTSP1000 Ana Konfigürasyonlar ve Teknik Parametreler | ||||||||
MODEL | RTSP1000 | |||||||
TEKNOLOJİ | MF magnetron püskürtme + iyon kaynağı plazma temizleme | |||||||
ODA MALZEMESİ | Paslanmaz Çelik (S304) | |||||||
ODA BOYUTU | Φ1000*800mm (Y) | |||||||
ODA TİPİ | D şekli | |||||||
DÖNDÜRME RAF & JIG SİSTEMİ | 6 uydu Maks.ağırlık: 500kgs | |||||||
GÜÇ KAYNAKLARI |
miktarPüskürtme Oranı: 2*24 KW Güç Kaynağı Sapması: 1*20W İyon Kaynağı Güç kaynağı 1*5KW |
|||||||
DEPOLAMA MALZEMESİ | Ti/Cr/TiAl /Ta/Cu/Au/Karbon vb. | |||||||
YIKAMA KAYNAĞI | 2 çift (4 adet) Düzlemsel Püskürtme Katotları + 1 Doğrusal İyon Kaynağı Tekdüzelik Alanı: ±10~15% |
|||||||
KONTROL | PLC(Programmable Logic Controller) + Dokunmatik Ekran (manuel+otomatik+yarı otomatik çalışma modelleri) | |||||||
POMPA SİSTEMİ | Döner Kanatlı Pompa: SV300B - 1 set (Leybold) | |||||||
Kök Pompası: WAU1001- 1 set (Leybold) | ||||||||
Tutma Pompası: D60C- 1 takım (Leybold) | ||||||||
Manyetik Süspansiyonlu Moleküler Pompa - 1 set (Leybold) | ||||||||
GAZ KİTLE AKIŞ DENETLEYİCİ | 4 kanal, Made in China, Seven Star (CS serisi, ) dijital model | |||||||
VAKUM MONOMETRESİ | Model: ZDF-X-LE, Çin'de Üretilmiştir: ZDF-X-LE | |||||||
DOĞRUSAL İYON KAYNAĞI | 1 adet Ön işlem, plazma temizleme + destekli biriktirme | |||||||
GÜVENLİK SİSTEMİ | Operatörleri ve ekipmanı korumak için çok sayıda güvenlik kilidi | |||||||
ISITMA | Isıtıcılar: 30KW.Maks.sıcaklık.: 450 ℃ | |||||||
SOĞUTMA | Endüstriyel Chiller (Soğuk Su) | |||||||
MAKSİMUM GÜÇ. | 100KW (Yaklaşık) | |||||||
ORTALAMA GÜÇ TÜKETİMİ | 45 KW (Yaklaşık) | |||||||
BRÜT AĞIRLIK | T (Yaklaşık) | |||||||
AYAK İZİ | ( L*G*Y) 4000*4000 *3200 MM | |||||||
GÜÇ ELEKTRİK | AC 380V/3 faz/50HZ / 5 hat |
Yüksek hedef kullanımı düzlemsel püskürtme birikimi: lütfen BURAYA TIKLAYIN videoyu izlemek için
Doğrusal İyon Kaynaklı Plazma Temizleme ve Yardımlı Biriktirme: lütfen BURAYA TIKLAYIN videoyu izlemek
Daha fazla özellik için lütfen bizimle iletişime geçin, Royal Technology size toplam kaplama çözümleri sunmaktan onur duyar.