PECVD İnce Film Kaplama Makinesi, İyon Kaynaklı Plazma Geliştirilmiş PVD Biriktirme Sistemi
Neden biz?
Standartlaştırılmış üretim prosedürleri ve sıkı testlerle birleştirilen gelişmiş üretim makineleri (frezeleme, kaynak, kesme, vakum sızıntı testi), Royal Technology'nin yüksek kaliteli, güvenilir ve düşük maliyetli kaplama sistemleri üretmesini sağlar.
Kalite, hizmet ve zamanında teslimat, Royal teknolojisinin işinin temel ilkeleridir.Basit bileşenleri profesyonel üreticilere açık bir şekilde dış kaynak sağlama stratejisi, dikkatimizi önemli parçalara ve bileşenlere yönelik Ar-Ge, üretime odaklamamıza olanak tanır.
Sıkı kalite kontrol politikaları ve nitelikli tedarikçilerin titiz seçimi, Royal Technology müşterilerinin en gelişmiş, en yüksek kaliteli ekipmanı en uygun maliyetle almasını sağlar.
Temel teknoloji, yakıt olarak hidrojen ve oksijen arasındaki elektrokimyasal reaksiyon yoluyla yakıt hücresi güç modülü ile elektrik enerjisinin nasıl üretileceğidir.
Güç modülünün en önemli parçası olan hidrojen yakıt hücresi, ulaştırma organizasyonlarından bilim adamları, mühendisler, profesörler ve dünya çapındaki araç üreticileri binlerce test yapmış ve sonunda uygun işlemeyi bulmuştur.
% 100 çevre dostu bir teknoloji ve araçlardır.
Makinemiz RTSP1200 modeli, bu uygulama için özel olarak tasarlanmış ve geliştirilmiştir.Shanghai Jiaotong Unversity ve SAIC Motor Corporation Limited Company ile işbirliği yaptık.
PECVD (Plazma Geliştirilmiş Kimyasal Buhar Biriktirme) Teknolojisine sahip Hidrojen Yakıt Hücresi Güç Modülü Püskürtme Sistemi, yüksek homojenlikte, güçlü yapışma özelliğine sahip SiC ince filmleri biriktirir.
Hidrojen yakıt hücresi püskürtme makinesi, iyon kaynağı, dengeli / düzensiz püskürtme katotları içerir;istikrarlı ve büyük hacimli vakumlu pompalama sistemi ile.
Hidrojen Yakıt Hücresi Güç Modülü Püskürtme Sistemi Özellikleri
| MODEL | RTSP1200 | |||||||||
| MALZEME | Paslanmaz Çelik (S304) | |||||||||
| HAZNE BOYUTU | Φ1200 * 1300mm (H) | |||||||||
| ODA TİPİ | Ön ve arka 2 kapılı yapı, Dikey | |||||||||
| TEK POMPA PAKETİ | Döner Pistonlu Vakum Pompası | |||||||||
| Kökler Vakum Pompası | ||||||||||
| Manyetik Süspansiyonlu Moleküler Pompa | ||||||||||
| Döner Kanatlı Pompa (Tutma Pompası) | ||||||||||
| TEKNOLOJİ | Magnetron Püskürtme, İyon Kaynağı PECVD | |||||||||
| GÜÇ KAYNAĞI | Püskürtme güç kaynağı + Önyargı Güç kaynağı + İyon Kaynağı | |||||||||
| BİRİKİM KAYNAĞI | 2 çift DC / RF Püskürtme Katotları + (2 çift yedek kullanılarak) + İyon Kaynağı | |||||||||
| KONTROL | PLC + Dokunmatik Ekran | |||||||||
| GAZ | Gaz Kütle Akış Ölçerler (Ar, N2, C2H2, O2) Argon, Azot ve Etin, Oksijen | |||||||||
| GÜVENLİK SİSTEMİ | Operatörleri ve ekipmanı korumak için çok sayıda güvenlik kilidi | |||||||||
| SOĞUTMA | Soğutma suyu | |||||||||
| TEMİZLİK | Kızdırma Deşarjı / İyon Kaynağı | |||||||||
| MAKSİMUM GÜÇ. | 150KW | |||||||||
| ORTALAMA GÜÇ TÜKETİMİ | 75KW |
|||||||||
Özel olarak tasarlanmış raf ve jig sistemi, bir alt tabakaya uygun yükleme / boşaltma için tamamen dışarı hareket edebilir.
Daha fazla özellik için lütfen bizimle iletişime geçin, Royal Technology size eksiksiz kaplama çözümleri sunmaktan onur duyar.
