Çinko alaşımlı kapı kolu Magnetron Püskürtme Vakum Kaplama Üniteleri: DC, MF, Ar-Ge amaçlı RF püskürtme katotları tek katmanlı, dielektrik film, bileşik film, yarı iletken, çoklu katmanlar, kompozit film ve dielektrik filmler vb.

Çinko alaşımlı kapı kolu Magnetron Püskürtme Vakum Kaplama Üniteleri Teknik Performans:

1 Ultimate Vakum Basıncı: 5.0 × 10-6 Torr'dan daha iyi.

2. Çalışma Vakum Basıncı: 1.0 × 10-4 Torr.

3. Pompalama Süresi: 1 atm ila 1.0 × 10-4 Torr≤ 3 dakika (oda sıcaklığı, kuru, temiz ve boş oda)

4. Metalleştirme malzemesi (püskürtme) Al, Cr, Sn, Ti, SS, Cu… vb.

5. işletim modeli: tam otomatik / yarı- otomatik / manuel

Çinko alaşımlı kapı kolu Magnetron Püskürtme Vakum Kaplama Üniteleri Yapısı

1. Vakum Odası

2. Rouhging Vakum Pompalama Sistemi (Yedek Pompa Paketi)

3. Yüksek Vakum Pompalama Sistemi (Difüzyon Pompası)

4. Elektrik Kontrol ve İşletim Sistemi

5. Yardımcı Tesis Sistemi (Alt Sistem)

6. Biriktirme Sistemi