DLC sert kaplama makinesi / DLC PECVD kaplama ekipmanları / Elmas gibi Karbon vakum PVD kaplama sistemi
Elmas-benzeri-Karbon kaplamalar, zorlu aşındırıcı ve yapışkan aşınma koşullarının bulunduğu yüksek temas basıncına, aralıklı yağlamaya veya kuru kayma ve yuvarlanma ortamlarına maruz kaldığı, zorlu otomotiv, demir dışı malzeme işleme ve endüstri mühendisliği ortamlarında kullanılır. DLC kaplamalar, aynı zamanda, geliştirilmiş tribolojik koruma özelliklerine sahip koyu siyah, yansıma önleyici ve biyo-uyumlu bir yüzey sağlamak için çeşitli tıbbi ve dental aletler ve implantlar üzerine yaygın olarak uygulanır.
Bu makine endüstriyel üretim vakum kaplama sistemine uygundur . Büyük boyutlu bir düz ark iyon buharlaşma kaynağı sağlar ve yüksek performanslı sert metal filmi ark gibi TiN, TiCN, AlTiN ve müşterinin ihtiyaçlarına göre her türlü özel film gibi ark buharlaşma teknolojisi ile kaplayabilir.
DLC kaplama (elmas benzeri karbon), elmas (SP3) ve grafit (SP2) kombinasyonudur. DLC'nin fiziksel ve kimyasal özellikleri, elmas ve grafitinkine aittir.
DLC kaplama özellikleri
DLC İnce Film Kaplama Makinesi Özellikleri
| MODEL | RTSP1010 | |||||||
| TEKNOLOJİ | PECVD proses-magnetron püskürtme + iyon kaynağı | |||||||
| ODA MALZEMESİ | Paslanmaz Çelik (S304) | |||||||
| CHAMBER SIZE | 0001000 * 1000mm (H) | |||||||
| CHAMBER TİPİ | Düzenli oktahedron odası, 2 kapılı | |||||||
| ROTASYON RAF VE JIG SİSTEMİ | 6 (8) uydu, Maks. ağırlık: 400kgs | |||||||
| GÜÇ KAYNAKLARI | Adet. Sputtering: 2 * 24 KW Güç Kaynağı Önyargı: 1 * 24W AE güç kaynağı seçeneği için İyon Kaynağı Güç kaynağı 2 set, seçenek için AE güç kaynağı | |||||||
| DEPOLAMA MALZEMESİ | Cr / C | |||||||
| DEPOZYON KAYNAĞI | 2 çift (4 adet) Sputtering Katotları + 2 İyon Kaynağı Kaplama Alanı: Dia800mm * H550mm; Tekdüzelik Alanı: ±% 10 ~ 15 | |||||||
| KONTROL | PLC (Programlanabilir Mantık Denetleyici) + Dokunmatik Ekran (manuel + otomatik + yarı otomatik işlem modelleri) | |||||||
| POMPA SİSTEMİ | Döner Kanatlı Pompa: SV300B - 1 set (Leybold) | |||||||
| Kök Pompa: WAU1001 - 1 set (Leybold) | ||||||||
| Tutma Pompası: D60C-1set- (Leybold) | ||||||||
| Mıknatıslı Rotor Süspansiyon Moleküler Pompası: MAG2200 - 2 takım (Leybold) | ||||||||
| GAZ KÜRE AKIŞ KONTROLÜ | Amerika'da yapılan 3 kanal (MKS marka) | |||||||
| VAKUM MONOMETRESİ | Model: ZDF-X-LE, Çin'de Üretilmiştir | |||||||
| Doğrusal İyon Kaynağı | 2 adet Ön işlem, plazma temizleme + destekli biriktirme | |||||||
| GÜVENLİK SİSTEMİ | Operatörleri ve ekipmanları korumak için çeşitli güvenlik kilitleri | |||||||
| ISITMA | Isıtıcılar: 20KW. Maks. Sıcaklık: 400 ℃ | |||||||
| SOĞUTMA | Endüstriyel Chiller (Soğuk Su) | |||||||
| MAKSİMUM GÜÇ. | 100KW (Yaklaşık) | |||||||
| ORTALAMA GÜÇ TÜKETİMİ | 45 KW (Yaklaşık) | |||||||
| BRÜT AĞIRLIK | T (Yaklaşık) | |||||||
| AYAK BASKI | (L * W * H) 4000 * 4000 * 4000 MM | |||||||
| GÜÇ ELEKTRİK | AC 380V / 3 faz / 50Hz | |||||||
Daha fazla özellik için lütfen bizimle iletişime geçin, Royal Technology size toplam kaplama çözümleri sunmaktan onur duyar.
