Magnetron Püskürtme Kaynakları Özellikler
Temel Özellikler
1. Sonlu elemanlar manyetik alan tasarımı
2. Soğutma suyundan mıknatıs izole edilmiştir.
3. DC / MF ve RF Güçleri ile uyumlu
4. Yüksek hedef kullanımı
5. Ayarlanabilir çıkarma yönü
6. Yüksek güç yoğunluğu ve mükemmel tekdüzelik
7. Dengeli ve dengesiz mod seçimi
Maksimum Püskürtme Gücü | |
Dolaylı Soğutulmuş hedef | > 20 Watt / cm 2 (DC) |
> 7 Watt / cm2 (RF) | |
Boşaltma Gerilimi / | 100 ila 1500 volt |
Deşarj akımı | > 0,05 amps / cm2 |
İşletme basıncı | 0,05 ila 5 Pa |
Hedef kullanım | >% 35 |
Hedef | |
Form | Dikdörtgen / Düzlemsel |
Kalınlık | 6 mm ~ 16 mm |
Genişlik | 125mm |
Kurulum | İç dış |
Daha fazla özellik için lütfen bizimle iletişime geçin, Royal Technology toplam kaplama özümleri sunmaktan onur duyar