Özel talebinizi karşılamak için özelleştirme
Üretim maliyetinizi düşürmek için standardizasyon
-- Uygulamalara Daha Fazla Odaklanıyoruz
2-MultiTech- DLC IPG siyah film kaplamaları.pdfDaha fazla bilgi için lütfen broşürü buradan indirin
MF Püskürtme Nedir?
DC ve RF püskürtme ile karşılaştırıldığında, Orta Frekans püskürtme, özellikle optik kaplamalar, güneş panelleri, çoklu katmanlar gibi yüzeylerde dielektrik ve iletken olmayan film kaplamaların film kaplaması için seri kaplama üretimi için ana ince film püskürtme tekniği haline geldi. , kompozit malzeme filmi vb.
Çok daha hızlı bir biriktirme oranı için MHz yerine kHz ile çalıştığı için RF püskürtmenin yerini alıyor ve ayrıca DC gibi bileşik ince film biriktirme sırasında Hedef zehirlenmesini önleyebilir.
MF püskürtme hedefleri her zaman iki küme ile mevcuttu.Dielektrikler üzerinde biriken yükü azaltmak için hedef yüzeyi temizleyen, plazmaya damlacıklar saçabilen ve düzgün ince film büyümesini önleyen ark oluşumuna neden olan, aralarında ileri geri geçişli bir AC akımı ile iki katot kullanılır--- buna Hedef Zehirlenme diyoruz.
Biriktirme Kaynakları
Katı metal hedefin buharlaşması için Yönlendirilmiş Dairesel Ark kaynakları;
Grafit ince film tabakası biriktirme için 2/4/6 çift MF silindir püskürtme katotları;
Ön arıtma için plazma alanını oluşturmak üzere iyon bombardımanı için Bias Güç Kaynağı;
Anot Doğrusal İyon Kaynağı Birimi (isteğe bağlı) PACVD ve PECVD işleme;
Su moleküler yoğuşması için Cryopump (Polycold) (opsiyonel için)
Diğer Modüller
1. Vakum Odası
2. Rouhging Vakum Pompalama Sistemi (Arka Pompa Paketi)
3. Yüksek Vakumlu Pompalama Sistemi (Manyetik Süspansiyonlu Moleküler Pompa)
4. Elektrik Kontrol ve İşletim Sistemi
5. Yardımcı Tesis Sistemi (Alt Sistem)
6. Biriktirme Sistemi: MF püskürtme katodu, MF güç kaynağı, İsteğe bağlı olarak Bias Güç Kaynağı İyon kaynağı
Kaplama Makinesi Performansı
1. Nihai Vakum Basıncı: 5.0×10'dan daha iyi-6Torr.
2. Çalışma Vakum Basıncı: 1.0×10-4Torr.
3. Pompalama Süresi: 1 atm'den 1.0×10'a-4Torr≤ 3 dakika (oda sıcaklığı, kuru, temiz ve boş oda)
4. Metalize edici malzeme (püskürtme + Ark buharlaşması): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, TiN, TiC, TiAlN, CrN, CrC, vb.
5. Çalışma Modeli: Tam Otomatik /Yarı-Otomatik/Manuel
| Tanım | RT1000-DLC |
RT1000-IPG |
RT1250-SİYAH |
RT1612-SİYAH |
| Teknik Avantajlar |
Hızlı kurulum için Plug-in Entegre sistem |
Daha yüksek hacim |
||
| Başlıca Uygulamalar |
Tıbbi aletler, mücevherler, saat parçaları üzerinde siyah DLC kaplamalar. |
Orta ve daha büyük iş parçaları: SS çatal bıçak takımı, kapı kolları, banyo armatürleri, otomotiv bileşenleri, spor, ev aletleri, mutfak gereçleri ve spektral çerçeveler vb. | ||
| biriktirme odası |
φ1000 * Y1000mm |
φ1250 * H1250mm |
φ1600 * H1250mm |
|
|
Yük Çapı |
6*φ250mm |
8*φ270mm 10*φ230mm |
10*φ300mm 16*φ200mm |
|
| Yük Yüksekliği (Etkili) |
650mm | 900mm | 900mm | |
| Biriktirme Katotları | 5 ark + 4 çift MF silindir püskürtme |
Seçenek A: 8 ark + 1 set DC düzlemsel püskürtme; |
7 ark + 3 (veya 4) çift MF silindir püskürtme | 12 ark + 4 (veya 6) çift MF silindir püskürtme |
| İşletim ve Kontrol Sistemi |
Siemens PLC + Endüstriyel Bilgisayar + RoyalTech.Operasyon Programı |
|||
Bu konfigürasyonlar, belirli bir gelişmekte olan pazar ve yeni özel kaplamalar için standarttır, istek üzerine özelleştirilmiş konfigürasyonlar ve modifikasyonlar mevcuttur.
Vakum Sistemi Kurulum Programı Devreye Alma
Daha fazla özellik için lütfen bizimle iletişime geçin, Royal Technology size toplam kaplama çözümleri sunmaktan onur duyar.
