Multi950 makine özellikleri:
Kompakt Ayak İzi,
Standart Modüler Tasarım,
Esnek,
Dürüst,
Sekizinci Oda
İyi erişim için 2 kapılı yapı,
PVD + PECVD işlemleri.
Tasarım özellikleri:
1. Esneklik: Ark ve püskürtme katotları, İyon kaynaklı montaj flanşları esnek değişim için standardize edilmiştir;
2. Çok yönlülük: çeşitli metal ve alaşım çeşitlerini biriktirebilir; metalik ve metalik olmayan malzemelerin yüzeylerinde optik kaplamalar, sert kaplamalar, yumuşak kaplamalar, bileşik filmler ve katı yağlayıcı filmler.
3. Düz ileri tasarım: 2 kapılı yapı, kolay bakım için ön ve arka açıklık.
Multi950 makinesi Ar-Ge için özelleştirilmiş çoklu fonksiyon vakum biriktirme sistemidir. Shanghai Üniversitesi'nin Profesör Chen liderliğindeki ekibiyle yaptığı yarı yılın tartışmasıyla, sonunda AR-GE uygulamalarını yerine getirmek için tasarım ve yapılandırmaları onayladık. Bu sistem, PECVD işlemli şeffaf DLC filmi, aletlerde sert kaplamalar ve püskürtme katodu bulunan optik filmi biriktirebilir. Bu pilot makine tasarım konseptine dayanarak, ondan sonra başka 3 kaplama sistemi daha geliştirdik:
1. Yakıt Pili Elektrikli Araçlar için Bipolar Plaka Kaplama - FCEV1213,
2. Seramik Doğrudan Kaplama Bakır-DPC1215,
3. Esnek Püskürtme Sistemi - RTSP1215.
Bu 4 model makinenin tümü Octal hazneli, esnek ve güvenilir performanslar çeşitli uygulamalarda yaygın olarak kullanılmaktadır. Kaplama işlemlerinin çok farklı metal katmanları gerektirdiğini karşılamaktadır: Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS ve diğer birçok manyetik olmayan metal;
Ayrıca, İyon kaynaklı ünite, plazma aşındırma performansı ve bazı karbon bazlı tabakaları biriktirmek için PECVD işlemi ile farklı alt tabaka malzemelerine film yapışmasını verimli bir şekilde arttırır.
Multi950, Royal Tech için gelişmiş tasarım kaplama sistemlerinin dönüm noktasıdır. Burada, Şangay Üniversitesi öğrencilerine ve özellikle Süreç Yigang Chen'e teşekkür eder, yaratıcı ve özverili özveri sınırsız değerlerdir ve ekibimize ilham verdi.
2018 yılında, C-60’ın malzeme depozitosu olan Pressor Chen ile bir başka proje işbirliğimiz daha oldu.
Endüktif termal buharlaşma yöntemi. Bay Yimou Yang ve Profesör Chen'in her yenilikçi projedeki liderliğine ve talimatına yürekten teşekkür ediyoruz.
Multi950 - Teknik Özellikler
| Açıklama | Çok 950 |
Biriktirme odası (mm) Genişlik x Derinlik x Yükseklik | 1050 x 950 x 1350 |
Biriktirme Kaynakları | 1 çift MF püskürtme katodu |
| 1 çift PECVD | |
| 8 set ark katot | |
| Doğrusal İyon Kaynağı | 1 takım |
| Plazma Tekdüzelik Bölgesi (mm) | 50650 x H750 |
| atlıkarınca | 6 x φ300 |
Güçler (KW) | Önyargı: 1 x 36 |
| MF: 1 x 36 | |
| PECVD: 1 x36 | |
| Yay: 8 x 5 | |
| İyon Kaynağı: 1 x 5 | |
| Gaz kontrol sistemi | MFC: 4 + 1 |
| Isıtma sistemi | 500 ℃, ısılçift PID kontrolü ile |
| Yüksek Vakum Kapılı Valf | 2 |
| Türbomoleküler pompa | 2 x 2000L / S |
| Kökler Pompası | 1 x 300L / S |
| Döner Kanatlı Pompa | 1 x 90 m³ / s + 1 x 48 m³ / s |
| Ayak izi (L x G x Y) mm | 3000 * 4000 * 3200 |
| Toplam güç (kw) | 150 |
Royal Tech'in servis ve mühendislik ekipleri yerinde müşteri desteği sağlıyor, başvurularınız için bize ulaşın!
