Seramik LED Cipsli Püskürtme Kaplama Tesisi / Ag, Al2O3 üzerinde Cu Depozisyonu, AlN Devre Kartları
performans
1. Ultimate Vakum Basıncı: 5.0 × 10 - 6 Torr'dan daha iyi.
2. Çalışma Vakum Basıncı: 1.0 × 10 - 4 Torr.
3. Pompalama Süresi: 1 atm'den 1.0 × 10 - 4 Torr ≤ 3 dakika (oda sıcaklığı, kuru, temiz ve boş oda)
4. Metalleştirme malzemesi (püskürtme + ark buharlaştırma): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr vb.
5. Çalışma Modeli: Tam Otomatik / Yarı Otomatik / Manuel
yapı
Vakum kaplama makinesi aşağıda listelenen anahtar teslim sistemi içerir:
1. Vakum Odası
2. İlerleyen Vakum Pompa Sistemi (Destek Pompası Paketi)
3. Yüksek Vakum Pompalama Sistemi (Manyetik Süspansiyon Moleküler Pompa)
4. Elektriksel Kontrol ve Çalışma Sistemi
5. Yardımcı Tesis Sistemi (Alt Sistem)
6. Biriktirme Sistemi
Bakır Kaplama Kaplama Makinesi Ana Özellikleri
1. 8 direkli ark katotları ve DC Püskürtme Katotları, MF Püskürtme Katotları, İyon kaynağı ünitesi ile donatılmıştır.
2. Çok tabakalı ve birlikte çökelme kaplaması mevcuttur.
3. Plazma temizleme öncesi iyon kaynağı ve film yapışmasını arttırmak için iyon demeti yardımlı çökelme.
4. Seramik / Al2O3 / AlN yüzey ısıtma ünitesi;
5. Yüzey dönüşü ve devir sistemi, 1 tarafı kaplama ve 2 taraflı kaplama için.
Seramik Yayan Işık Altındaki Cooper Magnetron Püskürtme Kaplama Tesisi
DPC prosesi-Direct Plating Copper, LED / yarı iletken / elektronik endüstrileri ile uygulanan gelişmiş bir kaplama teknolojisidir. Tipik bir uygulama Seramik Radyasyonlu Yüzeydir.
Geleneksel üretim yöntemleri ile karşılaştırıldığında PVD vakum püskürtme teknolojisi ile Al2O3, AlN alt tabakaları üzerine Cooper iletken film çökeltmesi: DBC LTCC HTCC, çok daha düşük üretim maliyeti yüksek özelliğidir.
Royal teknoloji ekibi müşterilerimize PVD püskürtme teknolojisi ile DPC sürecini başarıyla geliştirdi.
RTAC1215-SP makinesi, Seramik çipleri, seramik devre kartı üzerindeki Bakır iletken film kaplaması için özel olarak tasarlanmıştır.
Daha fazla özellik için lütfen bizimle iletişime geçin, Royal Technology size toplam kaplama özümleri sunmaktan onur duyar.
