Tantal PVD Püskürtme Kaplama Makinesi, DC Magnetron Püskürtme ile biriktirilen Tantal filmler, PVD Tantal Kaplama
Tantal, erozyona karşı iyi direnci nedeniyle elektronik endüstrisinde ve birçok endüstride koruyucu bir kaplama olarak en yaygın şekilde kullanılmaktadır.
Püskürtme tantal filmler yaygın olarak kullanılmaktadır.
1. Mikroelektronik endüstrisi, filmler reaktif olarak püskürtülebilir ve böylece direnç ve sıcaklık direnci katsayısı kontrol edilebilir;
2. Yüksek düzeyde biyouyumluluk özelliği nedeniyle vücut implantları gibi tıbbi aletler;
3. Termoveller, valf gövdeleri ve bağlantı elemanları gibi korozyona dayanıklı parçalar üzerindeki kaplamalar;
Püskürtme tantal, kaplamanın sürekli olması, kusurlu olması ve alt tabakaya yapışmasının korunması amaçlanıyorsa, etkili bir korozyon direnci bariyeri olarak da kullanılabilir..
RTAS1000 Teknik Avantajları
1. Hızlı kurulum için Plug-in Entegre tasarım sistemi
2. Siemens PLC, CPU;Endüstriyel PC işletim ve kontrol donanımı ile
3. Uzaktan izleme ve teşhis için kullanılabilir.
4. Esnek, yükseltmeye hazır
5. Hızlı biriktirme hızı için çoklu katotlar
Makineden daha fazla fayda:
Sağlam Tasarım, Kararlı Kalite, Hızlı Döngü, Hızlı Döngü Süresi, Yüksek biriktirme hızı
Ana Konfigürasyonlar | |
MODEL | RTAS1000 |
TEKNOLOJİ | DC magnetron püskürtme + Katodik ark kaplama |
ODA MALZEMESİ | Paslanmaz Çelik (S304) |
ODA BOYUTU | Φ1000*1000mm (Y) |
ODA TİPİ | D şekli, silindirik oda |
DÖNDÜRME RAF & JIG SİSTEMİ | Uydu sürüşü veya merkezi sürüş sistemi |
GÜÇ KAYNAKLARI | DC Püskürtme Güç Kaynağı: 2~4 set Bias Güç kaynağı: 1 set Ark Güç kaynağı: 11 set |
DEPOLAMA MALZEMESİ | Ti/Cr/TiAl, Ta, Au, Ag, Cu vb. |
YIKAMA KAYNAĞI |
Düzlemsel Püskürtme Katotları + dairesel ark katotları Açıklama: silindirik DC püskürtme mevcuttur |
KONTROL | PLC(Programmable Logic Controller) + Dokunmatik Ekran (manuel+otomatik+yarı otomatik çalışma modelleri) |
POMPA SİSTEMİ | Döner Kanatlı Pompa: SV300B - 1 set (Leybold) |
Kök Pompası: WAU1001 - 1 set (Leybold) | |
Tutma Pompası: D60C - 1 takım (Leybold) | |
Manyetik Süspansiyonlu Moleküler Pompa: MAG2200 - 2 sest (Leybold) | |
GAZ KİTLE AKIŞ DENETLEYİCİ | 4 kanal, Made in China, Seven Star (CS serisi, ) dijital model (Ar, N2, O2, C2H2) |
VAKUM MONOMETRESİ | Model: ZDF-X-LE, Çin'de Üretildi |
GÜVENLİK SİSTEMİ | Operatörleri ve ekipmanları korumak için çok sayıda güvenlik kilidi |
ISITMA | Isıtıcılar: 20KW.Maks.sıcaklık.: 450 ℃ |
SOĞUTMA | Endüstriyel Chiller (Soğuk Su) |
MAKSİMUM GÜÇ. | 100KW (Yaklaşık) |
ORTALAMA GÜÇ TÜKETİMİ | 45 KW (Yaklaşık) |
BRÜT AĞIRLIK | T (Yaklaşık) |
AYAK İZİ | ( U*G*Y) 4000*4000 *3600 MM |
GÜÇ ELEKTRİK | AC 380V/3 faz/50HZ / 5 hat |
Silindirik püskürtme katotları Düzlemsel püskürtme katotları
Daha fazla özellik için lütfen bizimle iletişime geçin, Royal Technology size toplam kaplama çözümleri sunmaktan onur duyar.
Broşürü indirin, lütfen buraya tıklayın:Magnetron Püskürtme Biriktirme Sistemi.pdf
Magnetron Püskürtme Biriktirme sistemi uygulaması...