Püskürtme Birikimi
Püskürtme, hedef malzemenin ısı kullanılarak buharlaştırılmadığı, ancak metal atomlarının bombardıman parçacığının çarpışmasıyla fiziksel olarak hedeften çıkarıldığı bir metal biriktirme işlemidir. Püskürtme odasındaki hedeften parçaya olan mesafe vakum birikiminden çok daha kısadır. Püskürtme çok daha yüksek vakum altında da yapılır. Püskürtme kaynağının kendisi elementler, alaşımlar, karışımlar veya bileşiklerden yapılabilir. Bu metal birikimi, yarı iletken üretiminde, mimari cam, yansıtıcı kaplamalar, kompakt diskler CD'leri ve dekoratif kaplamalarda yaygın olarak kullanılır.
Ark Buhar Birikimi
Katodik ark biriktirme veya Arc-PVD, bir katot hedefinden materyali buharlaştırmak için bir elektrik arkının kullanıldığı fiziksel bir buhar biriktirme tekniğidir. Buharlaşan malzeme daha sonra bir substrat üzerinde yoğunlaşarak ince bir film oluşturur. Teknik, metalik, seramik ve kompozit filmlerin çökeltilmesi için kullanılabilir. Ark buharlaştırma işlemi, katot olarak bilinen küçük (genellikle birkaç mikrometre genişliğinde), yüksek enerjili bir yayma alanına yol açan bir katodun yüzeyinde (hedef olarak bilinir) yüksek akım, düşük voltajlı bir arkın vurulması ile başlar. yer. Katot noktasındaki lokalize sıcaklık son derece yüksektir (yaklaşık 15000 ℃), bu da katot yüzeyinde bir krater bırakarak yüksek bir hızda (10km / sn) buharlaştırılmış katot malzemesi jeti ile sonuçlanır.
RTAC-SP serisi PVD vakum metalize ekipmanlarını tasarlayan ve imal eden kraliyet teknolojisi
metal alaşımları, pirinç, Zamak (Çinko alaşımı), plastik, elektronik, boru ve tesisat, tesisatçı armatürleri, sulama sistemi vanaları ve kapaklar için popüler; Tıbbi ve endüstriyel vanalar vb. İşlemin amacı, esas olarak insan ve çevre için tehlikeli olan Krom Elektrokaplamanın yerini almaktır.
Yüksek Vakumlu Metalize Sistem Yapılandırmaları ve Özellikleri:
| model | RTAC1008-SPMF | RTAC1250-SPMF | RTAC1615-SPMF |
| Etkili Oda Boyutu | Φ1000 x H800mm | Φ1250 x H1250mm | Φ1600 x H1500mm |
| Biriktirme Kaynakları | Silindir Ark (isteğe bağlı yönlendirilmiş dairesel ark) + MF Püskürtme Katot + Doğrusal İyon Kaynağı | ||
Vakum Pompalama Sistemi (Leybold Pompalar + Turbo Moleküler Pompa) | SV300B - 1 set (300m³ / saat) | SV300B - 1 set (300m³ / saat) | SV300B - 2 set (300m³ / saat) |
WAU1001-1set (1000m³ / saat) | WAU1001-1set (1000m³ / saat) | WAU2001-1set (1000m³ / saat) | |
| D60T- 1 set (60m³ / saat) | D60T- 1 set (60m³ / saat) | D60T- 1 set (60m³ / saat) | |
Turbo Moleküler Pompalar: 2 takım (3500L / S) | Turbo Moleküler Pompalar: 2 takım (3500L / S) | Turbo Moleküler Pompalar: 3 takım (3500L / S) | |
| Püskürtmeli Güç Kaynağı | 1 * 24KW (MF) | 2 * 36KW (MF), | 3 * 36KW (MF), |
| Ark Güç Kaynağı | 6 * 5KW | 7 * 5KW | 8 * 5KW |
| Önyargı Güç Kaynağı | 1 * 24kW | 1 * 36KW | 1 * 36KW |
| Planet Çubuklar | 6/8 | 12/16 | 20 |
| Isıtıcılar | 6 * 2.5KW | 8 * 2.5KW | 9 * 2.5KW |
| Nihai Vakum | 9.0 * 10-4Pa (boş, temiz, oda sıcaklığı) | 9.0 * 10-4Pa (boş, temiz, oda sıcaklığı) | 9.0 * 10-4Pa (boş, temiz, oda sıcaklığı) |
| Çevrim Süresi (pompaya bağlıdır) | 40 '~ 50' substrat malzemesine ve kaplama tariflerine bağlıdır | ||
| Çalışma Gücü Gereksinimi | 3 Faz 4 hat, AC380V, 50HZ, 35KW | 3 Faz 4 hat, AC380V, 50HZ, 120KW | 3 Faz 4 hat, AC380V, 50HZ, 150KW |
| Soğutma suyu | EVET, endüstriyel su soğutucu | ||
| İşleme Gazı (% 99.99) | 4 yol | 4 yol | 4 yol |
| Kapladığı alan (mm) | * 2000 * 2300 2000 | * 4500 * 3200 4000 | * 5000 * 3600 5500 |
| Toplam Ağırlık (KGS) | 4500 | 7000 | 9000 |
| Toplam Güç Tüketimi (Yaklaşık) | 50kW | 110 Kw | 170KW |
| Gerçek Güç Tüketimi (Yaklaşık) | 30KW | 60KW | 80kW |
Sadece referans amaçlı teknik parametrelerin üstünde, Royaltec belirtilen uygulamalara göre nihai üretim hakkını saklı tutar.
Lütfen Royaltec'ten almak istediğiniz çözümlerle bize danışın, bu uygulamada anahtar teslim kaplama çözümleri sunuyoruz.
