Ni PVD Püskürtme Kaplama Tesisi, Cr Vakum Metalleştirme Sistemi, Sn /Ag Vakum Kaplama Ekipmanları, Bakır Kaplama Tesisi
Ekipman Yapısı:
RTAC1215-SP makinesi, vakum pompaları, 8 ark katot monte edilmiş vakum odası, 1 lineer iyon kaynağı, 2 set DC püskürtme katot ve 1 çift MF püskürtme katottan oluşan sekizli bir tiptir.İyon kaynağı, püskürtme katotları monte edilmiş flanşlar, gerçekte kaplama işleminin talebine göre esnek bir şekilde değiştirilebilen sabitlenmiştir.
Uygulamalar:
1. Seramik sızdırmazlık parçaları için DPC endüstrisi, DPC işlemi, Bakır PVD Püskürtme sistemi, Cooper Kaplamalı LED Seramik Cipsler, Al2Ö3, AlN Seramik Devre Kartları, LED Üzerinde Al2O3 Plakaları, Yarı İletken
2. Gümüş, Ni, Krom, Altın, Alüminyum, In, Sn vb. metal filmler ve TiN, TiAlN, TiC, TiO, CrC, CrCN, CrN vb.
Avantajlar:
1. Uygun maliyetli üretim
2. İş istasyonunun insanlaştırılması (iş istasyonunun ergonomik tasarımı, alan, gürültü ve kaza tehlikesinin en aza indirilmesi)
3. Yüksek kaliteli verim.
4. Güçlü ısıtma cihazı ve plazma kaynağı temizliği ile güçlü yapışma;
5. Kompakt tasarım ve yükseltme ve bakım çalışmaları için kolay erişim.
6. Tam Otomasyon, PLC+Dokunmatik Ekran, tek dokunuşla kontrol sistemi.
7. Daha az güç tüketimi ile yüksek verim, maks.%50 üretim maliyeti tasarrufu.
Teknik özellikler:
1. Nihai Vakum Basıncı: 9.0*10'dan daha iyi-5Pa;
3. Pompalama Süresi: atm'den 1.0×10'a-3Pa≤15 dakika (oda sıcaklığı, kuru, temiz ve boş oda)
4. Biriktirme kaynağı: Gencoa magnetron püskürtme katotları, yönlendirilmiş ark katotları, İyon kaynağı
5. Çalışma Modeli: Tam Otomatik /Yarı-Otomatik/Manuel
6. Isıtma: oda sıcaklığından maks.500 ℃,
9. PECVD ve PA PVD işlemi için iyon kaynağı.
Vakum kaplama makinesi, aşağıda listelenen anahtar tamamlanmış sistemi içerir:
1. Vakum Odası
1.1 Boyut: İç Çap: 1200mm
İç Yükseklik: 1500mm
1.2 Malzeme: Vakum Odası SUS304
Kapı ve flanşlar SUS304
Oda güçlendirme yapısı: SS41 yumuşak çelik, boyalı yüzey işlemeli.
Boyalı yüzey işlemeli kabin kasası SS41 yumuşak çelik.
1.3 Oda Kalkanı: SUS304
1.4 Görünüm Penceresi: 2 kapı üzerinde
1.5 Vakum Odası Havalandırma Valfi (susturucu dahil)
1.6 Kapı: SUS304 malzemesi
2. Kaba Vakum Pompalama Sistemi:
Yağ döner kanatlı vakum pompası + Tutma Pompası
Manyetik Süspansiyonlu Moleküler Pompa - 2 takım
4. Elektrik Kontrol ve İşletim Sistemi- PLC+ Dokunmatik Ekran İşletim Sistemi:
Tedarikçiler:
PLC: Mitsubishi + Dokunmatik Ekran (Çin Malı)
Elektronik Bileşenler: SCHNEIDER,OMRON.
Güvenlik Koruma Sistemi:Operatörleri ve ekipmanı korumak için çok sayıda güvenlik kilidi (su, mevcut gaz, sıcaklık vb.)
Kaplama İşlemleri Sistemi: Proses Otomasyonu ve Kontrolü.
4.1 Ana devre: Sigortasız şalter, elektromanyetik şalter, seri tipte C/T
4.2 Güç Kaynağı: DC/MF püskürtme gücü + DC Ark gücü + Önyargı Güç Kaynağı
4.3 Biriktirme kontrol sistemi
4.4 İşletim Sistemi: Dokunmatik Ekran + PLC, reçete kontrolü ve veri kaydı, Otomatik kapanma, otomatik tahliye, otomatik kaplama
4.5 Ölçüm Sistemi
Vakum Basıncı : Vakum Göstergesi: Pirani + Penning göstergesi + Tam aralıklı vakum ölçer -- Avrupa markası
Sıcaklık ölçüm cihazı: Termokupl
MFC: Kütle Akış Kontrolörü (4 yollu),
4.6 Alarm Sistemi: Basınçlı hava basıncı, Soğutma suyu akışı, Yanlış çalıştırma
4.7 Güç Yükü Göstergesi: Gerilim göstergesi ve yük akımı göstergesi
5.Biriktirme Sistemi
5.1 Biriktirme kaynağı: Püskürtme katotları+ Ark kaynakları + İyon Kaynağı
5.2 Biriktirme malzemesi: Bakır, Alüminyum, Krom, Gümüş, Altın, SS, Titanyum vb.
6.Alt Sistem
6.1 Hava Sıkıştırılmış Valf Kontrol Sistemi
6.2 Soğutma Suyu Sistemi: Su akış borusu ve şalter valf sistemi
Basınçlı Hava: 5~8kg/cm2
Soğutma Suyu: Su Giriş Sıcaklığı: 20~25℃, 200 Litre/dk,
Su Giriş Basıncı: 2~3 kg/cm2,
Güç: 3 Faz 380V 50Hz(60Hz), 130kVA, ortalama güç tüketimi: 60KW
Kurulum Alanı: (U*G*Y)4400*3200*2950mm
Egzoz: Mekanik pompalar için havalandırma
Daha fazla özellik için lütfen bizimle iletişime geçin, Royal Technology toplam kaplama çözümleri ile sizi destekliyor.
