Kraliyet Teknolojisi Multi950
——PVD + PECVD Vakumlu Biriktirme Makinesi
o Multi950 makinesi, Ar-Ge için özelleştirilmiş çok işlevli bir vakumlu biriktirme sistemidir.
Şanghay Üniversitesi'nin Profesör Chen liderliğindeki ekibiyle yoğun fikir alışverişlerinden sonra, sonunda Ar-Ge uygulamalarını yerine getirmek için tasarım ve yapılandırmayı onayladık.Bu sistem, PECVD işlemiyle şeffaf DLC film, aletler üzerinde sert kaplamalar ve püskürtme katotlu optik film biriktirebilir.Bu pilot makine tasarım konseptine dayanarak, daha sonra 3 kaplama sistemi daha geliştirdik:
1. Yakıt Hücreli Elektrikli Araçlar için Bipolar Plaka Kaplama - FCEV1213
2. Seramik Doğrudan Kaplama Bakır- DPC1215
3. Esnek Püskürtme Sistemi - Bakır PCB Altın Kaplama Sistemi
Bu 3 makinenin tümü, çeşitli uygulamalarda esnek ve güvenilir performanslar sağlayan bir Sekizgen hazneye sahiptir.Kaplama işlemlerini karşılar ve birçok farklı metal katmanı gerektirir: Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS ve diğer birçok ferromanyetik olmayan metal.Ayrıca İyon kaynak ünitesi, plazma aşındırma performansı ve bazı karbon bazlı katmanları biriktirmek için PECVD işlemi ile filmlerin farklı alt tabaka malzemeleri üzerindeki yapışmasını verimli bir şekilde artırır.
Multi950, Royal Technology için gelişmiş tasarım kaplama sistemlerinin kilometre taşıdır.Şanghay Üniversitesi öğrencileri ve yaratıcı ve özverili özverisiyle onlara liderlik eden Profesör Yigang Chen sayesinde, onun değerli bilgilerini son teknoloji bir makineye dönüştürebildik.
2018 yılında Profesör Chen ile bir proje işbirliğimiz daha oldu.
Endüktif termal buharlaştırma yöntemiyle C-60 malzeme biriktirme.
Bay Yimou Yang ve Profesör Chen, bu yenilikçi projelerin temelini oluşturdu.
Teknik Avantajlar
Tasarım özellikleri
1. Esneklik: Ark ve püskürtme katotları, İyon kaynağı montaj flanşları, esnek değişim için standartlaştırılmıştır
2. Çok yönlülük: Çeşitli baz metalleri ve alaşımları biriktirebilir;metalik ve metalik olmayan malzemeler üzerinde optik kaplamalar, sert kaplamalar, yumuşak kaplamalar, bileşik filmler ve katı yağlama filmleri
3. Basit tasarım: 2 kapılı yapı, kolay bakım için ön ve arka açıklık
Teknik özellikler
Model: Multi-950
Biriktirme odası (mm)
Çap x Yükseklik: φ950 x 1350
Biriktirme Kaynakları: 1 çift MF püskürtme katotu
1 çift PECVD
8 takım ark katotları
1 takım Doğrusal İyon Kaynağı
Plazma Tekdüzelik Bölgesi (mm): φ650 x H750
Karusel: 6 xφ300
Güçler (KW) Önyargı: 1 x 36
MF Püskürtme Gücü (KW): 1 x 36
PECVD (KW): 1x36
Ark (KW): 8 x 5
İyon Kaynağı (KW): 1 x 5
Gaz Kontrol Sistemi MFC: 4 + 1
Isıtma Sistemi: 18KW, 500℃'ye kadar, termal çift PID kontrollü
Yüksek Vakumlu Sürgülü Vana: 2
Turbo moleküler pompa: 2 x 2000L/S
Kök Pompası: 1 x 300L/S
Döner Kanatlı Pompa: 1 x 90 m³/h + 1 x 48 m³/h
Kaplama Alanı (U x G x Y ) mm: 3000 * 4000 * 3200
Toplam Güç (KW): 150
Düzen
Yapım Süresi: 2015
Yer: Şangay Üniversitesi, Çin