Bakır İnce Film Magnetron Püskürtme Kaplama Makinesi / Naylon Tekstil Cu İletken Film Kaplama Ünitesi
Naylon Tekstil BakırMagnetron Püskürtme Vakum Kaplayıcı
1) Film kalınlığı kontrol edilebilirliği ve iyi tekrarlanabilirlik, filmlerin önceden kaplanmış kalınlığının güvenilir bir sistemi olabilir ve daha geniş bir homojen film yüzeyinde püskürtme;
2) Filmin ve alt tabakanın yapışması çok iyidir.Püskürtülen atomların yüksek enerjisinin bir kısmı farklı düzeylerde enjeksiyon fenomeni üretmek için, püskürtülen atomların substrat tabakası üzerinde oluşturulan yalancı difüzyon tabakası ve birbirleriyle kaynaştırılan substrat atomları;
3) Filmin özel malzemesinin hazırlanması, farklı malzemeler ve püskürtme hibrit film, bileşik film kullanabilirsiniz, ayrıca TiN taklit altın filmine püskürtülebilir.
Naylon Tekstil BakırMagnetron Püskürtme Vakum Kaplayıcı Özellikleri
| Magnetron Püskürtme Kaplama Makinası | ||||||
| Verim | RTSP-700 | RTSP-900 | RTSP-1000 | RTSP-1250 | RTSP-1400 | RTSP-1600 |
| Kaplama odasının boyutu | 700*Y900mm | 900*H1100mm | 1000*H1200mm | 1250*H1350mm | 1400*Y1600mm | 1600*H1800mm |
| Güç kaynağı türü | Filament güç kaynağı, darbe önyargı güç kaynağı, DC magnetron güç kaynağı, ara frekans magnetron güç kaynağı, radyo frekansı magnetron güç kaynağı, doğrusal iyonizasyon kaynağı | |||||
| Vakum odasının yapısı | Dikey çift kapı, dikey ön kapı yapısı, arka hava egzoz sistemi | |||||
| Vakum odasının malzemesi | Yüksek kaliteli paslanmaz çelik boşluk | |||||
| Boşluğu sınırla | 6.0*10-4Pa | |||||
| Pompalama süresi (yüksüz) | Atmosferi 8.0*10'a pompalayın-3>Pa ≤15 dakika | |||||
| Vakum toplama sistemi | Difüzyon pompası veya moleküler pompa + Roots pompası + Mekanik pompa + döner kanatlı pompa (özel model müşteri gereksinimlerine göre yapılandırılabilir) | |||||
| Kaplama modu | Magnetron püskürtme kaplama | |||||
| Film tipi | Metal film, reaktif film, bileşik film, çok katmanlı film ve yarı iletken film | |||||
| Magnetron hedef türü | Dikdörtgen magnetron hedefi, silindirik magnetron hedefi ve ikiz magnetron hedefi | |||||
| Magnetron besleme gücü ve magnetron hedeflerinin sayısı | Farklı kaplama işlemine ve müşteri gereksinimlerine göre seçin | |||||
| Önyargılı güç kaynağı | 10KW/1 birim | 20KW/1 birim | 20KW/1 birim | 30KW/1 birim | 40KW/1 birim | 50KW/1birim |
| İş parçası döner tablasının dönme modu | Gezegen dönüşü ve otorotasyon, değişken frekans hız regülasyonu (kontrol edilebilir ve ayarlanabilir) | |||||
| Proses gazı | 3 yollu veya 4 yollu proses gaz akışı kontrol ve görüntüleme sistemi, seçici otomatik gazlama sistemi | |||||
| Soğutma modu | Su sirkülasyonu soğutma modu, soğutma suyu kulesi veya endüstriyel su soğutucusu veya derin soğutma sistemi.(Müşteriler tarafından sağlanır) | |||||
| Kontrol modu | Manuel/otomatik entegrasyon modu, dokunmatik ekran çalışması, PLC veya bilgisayar kontrolü | |||||
| Toplam güç | 30KW | 35KW | 40KW | 50KW | 65KW | 80KW |
| Alarm ve koruma | Su sıkıntısı, aşırı akım ve aşırı voltaj, açık devre ve pompaların, hedeflerin ve benzerlerinin diğer anormal durumlarını alarma geçirin ve ilgili koruyucu önlemleri ve elektrik kilitleme işlevini uygulayın | |||||
| Ekipman alanı | W2m*L3m | W2,5m*L3,5m | W3m*L4m | W4m*L5m | W4.5m*L6m | W5m*L7m |
| Diğer teknik parametreler | Su Basıncı ≥0.2MPa, Su Sıcaklığı ≤25°C, Hava Basıncı: 0.5-0.8MPa | |||||
| Notlar | Kaplama ekipmanının özel konfigürasyonu, kaplama ürünlerinin proses gereksinimlerine göre tasarlanabilir. | |||||
Daha fazla özellik için lütfen bizimle iletişime geçin, Royal Technology size toplam kaplama çözümleri sunmaktan onur duyar.
