Silikon Gofret, Cam Slayt, Seramik Levha On Au Altın Magnetron Sputtering Kaplama Makinası
Silikon Gofretler üzerinde Au Gold Magnetron Sputtering
Özet:
Altın püskürtme tabakası özellikleri:
1. Bağlayıcı tabaka, substratı ve metal film yapışmasını arttırmak için gereklidir. Royal Technology, farklı uygulamalara dayanan bir dizi olgunlaştırılmış kaplama reçetesi geliştirdi, müşterilerimize profesyonel tavsiyelerde destek verdi.
2. Uygulamaların çoğu için pürüzlülük (RMS - kök ortalama karesi) <40Å bekleniyor. Belirli tarama prob uygulamaları için genellikle 1.5 ~ 4 nm, daha düşük bir pürüzlülük gerekebilir.
4. Altın püskürtme tabakası yüzey saflığı: Altın yüzey modifikasyonları kullanan uygulamalar için temiz bir yüzey gereklidir. Kullanılan PVD işlemine bağlı olarak, sistemdeki vakum seviyesi, altın kaynağının orijinal saflığı (genellikle% 99.99'un üzerinde)
Anahtar Kelimeler: Au altın nano-yapı ince film biriktirme, Altın ince film magnetron püskürtme, PVD altın püskürtme, Altın Vakum Metalleme Sistemi
Uygulamalar:
Üniversiteler Laboratuvarı, metal malzemelerin Ar-Ge departmanı üretmektedir, PVD Vakum Kaplama Servis Merkezleri, çoğunlukla iletkenlik tabakası olarak elektronik endüstrisinde ve mikroskop örnekleri için bilimler vb.
Teknik özellikler:
| MODEL | RTAC0808-SP |
| TEKNOLOJİ | DC Sıçrama + İyon kaynağı (seçenek için) |
| MALZEME | Paslanmaz Çelik (S304) |
| CHAMBER SIZE | Φ800 * H800mm |
| CHAMBER TİPİ | Silindir, dikey, 1 kapılı |
| ROTARY RAF SİSTEMİ | Gezegen / Merkezi sürüş |
| DEPOLAMA MALZEMESİ | Altın, Alüminyum, Gümüş, Bakır, Krom, Paslanmaz Çelik, Nikel, Titanyum |
| DEPOZYON KAYNAĞI | Silindirik / Düzlemsel Sputtering Katotları: Seçenek için 2 veya 3 + 3 Ark kaynakları |
| REAKTİF GAZ KONTROLÜ | MFC, 2/4 yol |
| KONTROL | PLC (Programlanabilir Mantık Denetleyici) + Dokunmatik ekran |
| POMPA SİSTEMİ | SV300B - 1 set (Leybold) 300m³ / saat |
| Kökler Pompa - 1 set, 150L / S | |
| Holding Pompa - 1 set, 60m³ / saat | |
| Turbo Moleküler Pompası: - 1 set, 3500L / S | |
| GÜÇ KAYNAĞI | Önyargı güç kaynağı: 1 * 24 KW DC püskürtme gücü: 2 * 24KW |
| GÜVENLİK SİSTEMİ | Operatörleri korumak için çok sayıda güvenlik kilidi ve ekipman |
| SOĞUTMA | Soğutma Suyu Geri Dönüşümü |
| ISITMA | Isıtıcılar, 9KW |
| GÜÇ ELEKTRİK | 480V / 3 faz / 60Hz (ABD uyumlu) |
| 460V / 3 faz / 50HZ (Asya uyumlu) | |
| 380V / 3 faz / 50Hz (AB-CE uyumlu) | |
| AYAK İZİ | L3200 * W2600 * H2000mm |
| TOPLAM AĞIRLIK | 3,0 T |
| DEVİR SÜRESİ | 30 ~ 40 dakika (alt tabaka malzemesine bağlı olarak, substrat geometrisi ve çevresel koşullar) |
| MAKSİMUM GÜÇ.. | 50KW |
| ORTALAMA GÜÇ TÜKETİMİ (APPROX.) | 20KW |
PVD Altın Kaplama Gofretleri
Daha fazla özellik için lütfen bizimle iletişime geçin, Royal Technology size toplam kaplama çözümleri sunmaktan onur duyar.
