Mangetron Sputtering Coater RTSP1215, bakır, alüminyum, plastik, metal devre kartı iletken film tabakası kaplaması için tasarlanmıştır. Nano ince filmi yüzeylere yoğunlaştırabilir. Ag püskürtme dışında, aynı zamanda Ni, Au, Ag, Al, Cr, SS316L depolayabilir.
RTSP1215 makinesi, plazma bombardıman temizliği için PVD film biriktirme ve 1 set Anot Katman İyon kaynağı önce 2 çift MF püskürtmeli katot kata monte edilmiştir.
İyon kaynağı Gencoa şirketten orijinaldir, özellikleri:
1. Standart püskürtme basınçlarında bir eşleşmiş plazma ışını üretmek için optimize edilmiş manyetik alanlar
2. Sabit akım ve voltajı korumak için gaz için otomatik düzenleme - çoklu gaz otomatik kontrol
3. Substratı kirlenmeden korumak ve uzun ömürlü bileşenler sağlamak için grafit anot ve katot
4. Tüm iyon kaynakları üzerinde RF standart elektrik yalıtımı
5. Anot ve katotun doğrudan soğutulması - parçaların hızlı değiştirilmesi
6. Düşük voltaj çalışması veya odaklanmış ışın için birden fazla manyetik tuzak sağlamak için katot parçalarının kolay geçişi
7. Her zaman aynı akımı korumak için gaz ayar geri besleme ile voltaj regüle güç kaynağı
RTSP1215 Sputtering Kaplama Ekipmanları Uygulamaları:
1. Mevcut yüzeyler: Plastik, Polimer, Cam ve seramik levhalar, Paslanmaz çelik, Bakır sac, Alüminyum levha vb.
2. gibi Nano film üretmek için: TiN, TiC, TiCN, Cr, CrC, CrN, Cu, Ag, Au, Ni, Al vb.
RTSP1215 Sputtering Kaplama Ekipmanları Tasarım Özellikleri:
1. Sağlam tasarım, sınırlı oda alanı için iyi
2. Bakım ve onarım için kolay erişim
3. Yüksek verim için hızlı pompalama sistemi
4. CE standart elektrik muhafazası, UL standardı da mevcuttur.
5. Doğru fabrikasyon işçiliği
6. Yüksek kaliteli film üretimi garanti etmek için istikrarlı çalışır.
Buradaki en önemli özellik, Royal'in müşterinin taleplerinden gelen çeşitli talepleri karşılayabilecek özelleştirilmiş operasyon ve kontrol programı ve yazılımıdır. Kontrol sistemi PLC + Dokunmatik ekran:
PLC uzaktan izleme ve kontrol (Yerel Alan Ağı)
1) Uzaktan kumanda Takım Görünümü Programı
2) PLC programı yedekleme + HMI programı yedekleme
3) PC çalışma ortamı
Sistem: Pencere 2000 / Pencere XP / Pencere 7
Ekran Piksel: 1920 * 1080
yapılandırmalar
| MODEL | RTSP1215 |
| MALZEME | Paslanmaz Çelik (S304) |
| CHAMBER SIZE | 001200 * 1500mm (H) |
| CHAMBER TİPİ | 1 kapılı yapı, dikey |
| TEK POMPA PAKETİ | Döner VaneVacuum Pompası |
| Kökler Vakum Pompası | |
| Manyetik Süspansiyon Moleküler Pompası | |
| İki kademeli döner kanatlı vakum pompası | |
| TEKNOLOJİ | MF Magnetron Sputtering, Doğrusal İyon Kaynağı |
| GÜÇ KAYNAĞI | Sputtering güç kaynağı + Önyargı Güç kaynağı + İyon Kaynağı |
| DEPOZYON KAYNAĞI | 2 çift MF Sputtering Katotları + İyon Kaynağı |
| KONTROL | PLC + Dokunmatik Ekran |
| GAZ | Gaz Kütle Akış Ölçerler (Ar, N2, C2H2, O2) Argon, Azot ve Etin, Oksijen |
| GÜVENLİK SİSTEMİ | Operatörleri ve ekipmanları korumak için çeşitli güvenlik kilitleri |
| SOĞUTMA | Soğutma suyu |
| TEMİZLİK | Kızdırma Deşarjı / İyon Kaynağı |
| MAKSİMUM GÜÇ. | 120kW |
| ORTALAMA GÜÇ TÜKETİMİ | 70kW |
Daha fazla özellik için lütfen bizimle iletişime geçin, Royal Technology size toplam kaplama çözümleri sunmaktan onur duyar.
