Ar-Ge Çoklu - Fonksiyonlar Vakum Kaplama Ekipmanları MF / DC Sputtering Katot

Ar-Ge Çoklu Fonksiyonlar Vakum Kaplama Ekipmanları

Anahtar Kelimeler: PVD Sert Kaplamalar, PECVD süreci, DLC film, Elmas gibi Karbon Film, Sputtering Optik film, Gencoa Magnetron Püskürtme Katot, İyon Kaynağı, PA PVD

RTAC950-SP Tasarım Özellikleri:

• Esneklik: ark ve püskürtme kaynakları, lineer iyon kaynağı cihazları montaj flanşları esnek değişim için standartlaştırılmıştır.
• Çok yönlülük: temel metaller ve alaşımlar, optik kaplamalar ve sert kaplamalar, yumuşak kaplamalar çeşitli depozito için kullanılabilir. Metalik ve metalik olmayan malzemeler üzerinde bulunan bileşik filmler ve katı yağlayıcı filmler
• Düz ileri tasarım: Kolay bakım için 2 kapılı yapı, ön ve arka açıklık.

Teknik özellikler

• performans

1. Ultimate Vakum Basıncı: 8.0 * 10 ^{- 4} Pa'dan daha iyi;

• Baz Vakum basıncı: 3.0 * 10 ^{- 2} Pa

3. Pompalama zamanı: atm ila 1,0 × 10 ^{- 3} Pa≤15 dakika (oda sıcaklığı, kuru, temiz ve boş oda)

4. Biriktirme kaynağı: Gencoa magnetron püskürtme katotları, yönlendirilmiş ark katotları, İyon kaynağı

5. Çalışma Modeli: Tam Otomatik / Yarı Otomatik / Manuel

6. Isıtma: oda sıcaklığından maks. 500 ℃,

9. PECVD ve PA PVD işlemi için iyon kaynağı.

• yapı

Vakum kaplama makinesi, aşağıda listelenen anahtar tamamlanmış sistemi içerir:

1. Vakum Odası
1.1 Boyutu: İç Derinlik 950mm

Iç yükseklik: 1350mm

1.2 Malzeme: Vakum Odası SUS304

Kapı ve flanşlar SUS304

Odası güçlendirmek yapısı: boyalı kaplama yüzey işleme ile SS41 hafif çelik.

Odacıklı şasi SS41 hafif çelik boyalı yüzey işlemesi ile.

1.3 Hazne Kalkanı: SUS304

1.4 Görünüm Penceresi: Bölme Kapaklarında -2

1.5 Vakum Odası Havalandırma Vanası (susturucu dahil)

1.6 Kapı: 2 takım, ön ve arka, SUS304 malzemesi

2. Kaba Vakum Pompalama Sistemi:
Yağ döner kanatlı vakum pompası + Holding Pompası

3. Yüksek Vakum Pompalama Sistemi:

Turbo Moleküler Pompa - 2 takım

4. Elektrik Kontrol ve İşletim Sistemi-PLC + Dokunmatik Ekran İşi Sistemi:

Tedarikçiler:

PLC: Mitsubishi, Model: FX-IN60MR-001 SERİSİ

Elektronik Bileşenler: SCHNEIDER, OMRON.

Güvenlik Koruma Sistemi: Operatörleri ve ekipmanları korumak için çok sayıda güvenlik kilidi (su, akım gazı, sıcaklık vb.)

Kaplama Süreçleri Sistemi : Proses Otomasyonu ve Kontrolü. 3 ay süreyle otomatik olarak hafızaya kaydedilir. Seçilmiş kaplama tarifleri verileri: kaplamaların kalitesini arttırmak için bir analiz için hedef operasyon akımı / voltaj, Kütle Akışı, Vakum basıncı, sıcaklık, kaplama süreleri kaydedilir.

4.1 Ana devre: Yok tip sigorta şalteri, elektromanyetik şalter, seri tip C / T

4.2 Güç Kaynağı: MF püskürtme gücü + DC Ark gücü + Önyargı Güç Kaynağı

4.3 Biriktirme kontrol sistemi

4.4 İşletim Sistemi: Dokunmatik Ekran + PLC, reçete kontrolü ve veri kaydı, Otomatik kapanma, otomatik tahliye, otomatik kaplama

4.5 Ölçme Sistemi

Vakum Basıncı: Vakum Ölçer: Pirani + Penning ölçer + Tam aralıklı vakum ölçer - Avrupa markası

Sıcaklık ölçüm cihazı: Termokupl
MFC: Kütle Akış Denetleyicisi (4 yol),

4.6 Alarm Sistemi: Basınçlı hava basıncı, Soğutma suyu akışı, Yanlış kullanım

4.7 Güç Yük Göstergesi: Gerilim göstergesi ve yük akımı göstergesi

5 . Biriktirme Sistemi

5.1 Depozisyon kaynağı: Sputtering katotları + Ark kaynakları + İyon Kaynağı

5.2 Biriktirme malzemesi: ITO, Titanyum, Krom, Alüminyum, Paslanmaz Çelik, TiAl vb.

6. Alt Sistem

6.1 Hava Sıkıştırmalı Valf Kontrol Sistemi

6.2 Soğutma Suyu Sistemi: Su akış borusu ve anahtar vana sistemi

7. Çalışma Ortamı

Sıkıştırılmış Hava: 5 ~ 8kg / cm2

Soğutma Suyu: Su İçinde Sıcaklık: 20 ~ 25 ℃, 200 Litre / dak,
Su-In Basıncı: 2 ~ 3 kg / cm2,

Güç: 3 Faz 380V 50Hz (60Hz), 130kVA, ortalama güç tüketimi: 60KW

Kurulum Alanı: (L * W * H) 4400 * 3200 * 2950mm

Egzoz: Mekanik pompalar için havalandırma

Uygulamalar

Daha fazla özellik için lütfen bizimle iletişime geçin, Royal Technology size toplam kaplama çözümleri sunmaktan onur duyar.