PVD veya Vakum Metalizasyonu nedir?
PVD aracılığıyla ince bir film metalik kaplamanın uygulanması, parçanın sızdırmaz bir vakum odasına yerleştirilmesi ve bir hedef malzemenin iyonize edilmesi için elektrik akımı ve voltajı veya inert gazın bombardımanını uygulamaktır (bu, saf metal veya alaşım olabilir). ). Hedef malzeme bir buhar formuna iyonize edildikten sonra, parça yüzeyinde biriktirilir. PVD kaplamaların birkaç popüler türü vardır: Vakum Buharlaşma ve Sputtering ve Ark Buharı Depozisyon (veya Katodik Ark)
Sputter Biriktirme
Sputtering, hedef materyalin ısı kullanılarak buharlaşmadığı bir metal çökeltme işlemidir, ancak metal atomları, bombardıman eden bir parçacığın çarpışmasıyla hedeften fiziksel olarak ayrılır. Hedeften bir püskürtme hücresindeki parçaya olan mesafe, vakumlu depozisyondan çok daha kısadır. Püskürtme de çok daha yüksek vakum altında yapılır. Püskürtme kaynağının kendisi, elementler, alaşımlar, karışımlar veya bileşiklerden yapılabilir. Bu metal biriktirme biçimi, yarı iletken üretimde, mimari cam, yansıtıcı kaplamalar, kompakt CD'ler ve dekoratif kaplamalarda yaygın olarak kullanılmaktadır.
Ark Buharı Biriktirme
Katodik ark biriktirme veya Arc-PVD, bir katot hedefinden malzemeyi buharlaştırmak için bir elektrik arkının kullanıldığı bir fiziksel buhar biriktirme tekniğidir. Buharlaşmış materyal daha sonra ince bir film oluşturan bir substrat üzerinde yoğunlaşır. Teknik, metalik, seramik ve kompozit filmlerin depolanması için kullanılabilir. Ark buharlaşma prosesi, katot olarak bilinen yüksek enerjili yayan bir alanın (genellikle birkaç mikrometre genişliğinde) yükselmesine neden olan bir katodun yüzeyinde (hedef olarak bilinir) yüksek akım, düşük voltaj arkının vurulmasıyla başlar. yer. Katot noktasındaki lokal sıcaklık, son derece yüksek (yaklaşık 15000 ℃) olup, bu da, yüksek kaçaklı (10km / san) buharlaşmış katot malzemesinin püskürtülmesiyle sonuçlanır ve katot yüzeyine bir krater bırakılır.
RTAC-SP serisi PVD vakum metalize ekipmanı tasarlanan ve üretilen Royal teknolojisi
metal alaşımları, pirinç, Zamak (Çinko alaşımı), plastik, elektronik, boru ve su tesisatı, tesisatçı armatürleri, sulama sistemi vanaları ve kapaklar için kullanılır; tıbbi ve endüstriyel vanalar vb. İşlemin amacı, esas olarak insan ve çevre için tehlikeli olan Krom Elektrokaplamanın yerini almaktır.
Yüksek Vakumlu Metalize Sistem Yapılandırmaları ve Özellikleri:
| model | RTAC1008-SPMF | RTAC1250-SPMF | RTAC1615-SPMF |
| Etkili odası boyutu | Φ1000 x H800mm | Φ1250 x H1250mm | Φ1600 x H1500mm |
| Biriktirme Kaynakları | Silindir Ark (seçenek için yönlendirilmiş dairesel yay) + MF Sputtering Katot + Doğrusal İyon Kaynağı | ||
Vakum Pompalama Sistemi (Leybold Pompalar + Turbo Moleküler Pompa) | SV300B - 1 set (300m³ / saat) | SV300B - 1 set (300m³ / saat) | SV300B - 2 set (300m³ / saat) |
WAU1001-1set (1000m³ / saat) | WAU1001-1set (1000m³ / saat) | WAU2001-1set (1000m³ / saat) | |
| D60T- 1 set (60m³ / saat) | D60T- 1 set (60m³ / saat) | D60T- 1 set (60m³ / saat) | |
Turbo Moleküler Pompalar: 2 takım (3500L / S) | Turbo Moleküler Pompalar: 2 takım (3500L / S) | Turbo Moleküler Pompalar: 3 takım (3500L / S) | |
| Sputtering Güç Kaynağı | 1 * 24KW (MF) | 2 * 36KW (MF), | 3 * 36KW (MF), |
| Ark güç kaynağı | 6 * 5KW | 7 * 5KW | 8 * 5KW |
| Önyargı Güç Kaynağı | 1 * 24kW | 1 * 36KW | 1 * 36KW |
| Gezegen Çubukları | 6/8 | 12/16 | 20 |
| Isıtıcılar | 6 * 2.5KW | 8 * 2.5KW | 9 * 2.5KW |
| Ultimate Vakum | 9.0 * 10-4Pa (boş, temiz, oda sıcaklığı) | 9.0 * 10-4Pa (boş, temiz, oda sıcaklığı) | 9.0 * 10-4Pa (boş, temiz, oda sıcaklığı) |
| Çevrim Süresi (pompaya göre değişir) | 40 '~ 50' alt tabaka malzemesine ve kaplama tariflerine bağlıdır | ||
| Çalışma gücü gereksinimi | 3 Fazlı 4 hat, AC380V, 50HZ, 35KW | 3 Fazlı 4 hat, AC380V, 50HZ, 120KW | 3 Fazlı 4 hat, AC380V, 50HZ, 150KW |
| Soğutma suyu | EVET, endüstriyel su soğutucu | ||
| Gaz İşleme (% 99,99) | 4 yol | 4 yol | 4 yol |
| Ayak izi (mm) | * 2000 * 2300 2000 | * 4500 * 3200 4000 | * 5000 * 3600 5500 |
| Toplam Ağırlık (KGS) | 4500 | 7000 | 9000 |
| Toplam Güç Tüketimi (Yaklaşık) | 50KW | 110 Kw | 170KW |
| Gerçek Güç Tüketimi (Yaklaşık) | 30KW | 60KW | 80kW |
Teknik parametreler üzerinde sadece referans için, Royaltec belirtilen uygulamalar temelinde nihai üretim hakkını saklı tutar.
Royaltec'ten almak istediğiniz tahmini çözümleriniz için lütfen bize danışın, bu uygulamada anahtar teslim kaplama çözümleri sunuyoruz.
